[發(fā)明專利]自動(dòng)輪換式太陽能電池制備用氧化硅膜成型機(jī)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210218473.3
• 申請(qǐng)日: 2022-03-08
• 公開（公告）號(hào): CN114695219A
• 公開（公告）日: 2022-07-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 桑利安
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 桑利安
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677;H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明涉及太陽能電池領(lǐng)域，尤其涉及一種自動(dòng)輪換式太陽能電池制備用氧化硅膜成型機(jī)。技術(shù)問題為：人工取放耗費(fèi)大量時(shí)間，生產(chǎn)效率隨之降低，并且氫氣會(huì)形成氣泡聚集在硅片的下表面，氣泡的存在會(huì)影響到硅片與反應(yīng)液的充分反應(yīng)。技術(shù)方案為：一種自動(dòng)輪換式太陽能電池制備用氧化硅膜成型機(jī)，包括有反應(yīng)箱和支撐架等；反應(yīng)箱左方設(shè)置有支撐架。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了對(duì)硅片的自動(dòng)輪換，使下一塊硅片快速替換到反應(yīng)位置，提高整體生產(chǎn)效率，并且將形成的硅片下表面的氣泡驅(qū)散，使得硅片的反應(yīng)不會(huì)受到氣泡影響，同時(shí)將散開的氣泡聚攏刺破，使反應(yīng)液內(nèi)不會(huì)留存過多氣泡，避免氣泡的存在影響到二氧化鈦粒子的分散狀態(tài)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及太陽能電池領(lǐng)域，尤其涉及一種自動(dòng)輪換式太陽能電池制備用氧化硅膜成型機(jī)。

背景技術(shù)

現(xiàn)有技術(shù)中國專利CN103594557A針對(duì)現(xiàn)有的制備氧化硅膜層的方法需要采用PECVD或其他沉積設(shè)備，一方面此類設(shè)備價(jià)格昂貴，同時(shí)為保證膜層厚度和質(zhì)量需要復(fù)雜的沉積工藝。因此，需要尋找一種操作簡(jiǎn)單的氧化硅膜層的制備工藝的問題，公開了一種制備晶體硅太陽能電池氧化硅膜的方法，其通過利用納米二氧化鈦在紫外光下的強(qiáng)氧化性，使置于納米TiO2水分散液中的硅片表面氧化生成厚度可控的氧化硅膜，克服了現(xiàn)有的制備氧化硅膜層的方法需要采用PECVD或其他沉積設(shè)備，一方面此類設(shè)備價(jià)格昂貴，同時(shí)為保證膜層厚度和質(zhì)量需要復(fù)雜的沉積工藝。因此，需要尋找一種操作簡(jiǎn)單的氧化硅膜層的制備工藝的問題，但是由于缺少對(duì)硅片的間歇性輪換設(shè)備，使得一組硅片反應(yīng)完成后，需要工人取下，接著再將下一組硅片放上，然后再繼續(xù)下一組的反應(yīng)，這一過程中就耗費(fèi)了大量取放硅片的時(shí)間，而這一時(shí)間內(nèi)反應(yīng)液沒有起到反應(yīng)的作用，生產(chǎn)效率隨之降低，并且由于在硅片下表面反應(yīng)時(shí)會(huì)生成氫氣，氫氣一部分滲透到氧化硅膜中提高質(zhì)量，而另一部分則會(huì)形成氣泡聚集在硅片的下表面，氣泡的存在會(huì)影響到硅片與反應(yīng)液的充分接觸，同時(shí)也會(huì)影響到紫外光的照射，而且由于反應(yīng)液長(zhǎng)時(shí)間保持靜止?fàn)顟B(tài)，內(nèi)部的二氧化鈦粒子會(huì)發(fā)生沉降，導(dǎo)致反應(yīng)液上層與硅片接觸位置的二氧化鈦粒子數(shù)量減少，進(jìn)一步影響氧化硅膜成型的質(zhì)量。

綜上，亟需一種自動(dòng)輪換式太陽能電池制備用氧化硅膜成型機(jī)，來解決上述問題。

發(fā)明內(nèi)容

為了克服人工取放耗費(fèi)大量時(shí)間，生產(chǎn)效率隨之降低，并且氫氣會(huì)形成氣泡聚集在硅片的下表面，氣泡的存在會(huì)影響到硅片與反應(yīng)液的充分反應(yīng)的缺點(diǎn)，本發(fā)明提供一種自動(dòng)輪換式太陽能電池制備用氧化硅膜成型機(jī)。

技術(shù)方案為：一種自動(dòng)輪換式太陽能電池制備用氧化硅膜成型機(jī)，包括有反應(yīng)箱、支撐架、紫外光燈、隔離罩、輪換上料系統(tǒng)和氣泡驅(qū)散系統(tǒng)；反應(yīng)箱左方設(shè)置有支撐架；反應(yīng)箱內(nèi)底壁固定連接有紫外光燈；反應(yīng)箱內(nèi)底壁固定連接有隔離罩；紫外光燈位于隔離罩內(nèi)；支撐架右側(cè)連接有輪換上料系統(tǒng)；輪換上料系統(tǒng)用于對(duì)硅片輪換上料；反應(yīng)箱內(nèi)連接有氣泡驅(qū)散系統(tǒng)；氣泡驅(qū)散系統(tǒng)用于驅(qū)散硅片下表面的氣泡。

進(jìn)一步的，隔離罩為透明材質(zhì)。

進(jìn)一步的，輪換上料系統(tǒng)包括有電動(dòng)滑軌、電動(dòng)滑塊、L型板、第一連接板、第一連接轉(zhuǎn)軸、第一平齒輪、銜接板、第一彈簧桿、第一固定板、聯(lián)動(dòng)條、第一輪齒板、十字輪換架、物料固定組件、銜接座和撥板；支撐架右側(cè)固定連接有電動(dòng)滑軌；電動(dòng)滑軌上滑動(dòng)連接有電動(dòng)滑塊；電動(dòng)滑塊右側(cè)固定連接有L型板；L型板右側(cè)固定連接有第一連接板；L型板和第一連接板上共同轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第一連接轉(zhuǎn)軸；第一連接轉(zhuǎn)軸上固定連接有第一平齒輪，并且第一平齒輪位于L型板和第一連接板之間；支撐架前側(cè)固定連接有銜接板；銜接板右側(cè)連接有兩個(gè)第一彈簧桿；兩個(gè)第一彈簧桿右側(cè)連接有第一固定板；第一固定板右側(cè)前部固定連接有聯(lián)動(dòng)條；第一固定板右側(cè)后部固定連接有第一輪齒板；第一連接轉(zhuǎn)軸上固定連接有十字輪換架，并且十字輪換架位于第一連接板右方；十字輪換架右側(cè)連接有物料固定組件；第一連接板左側(cè)前部固定連接有銜接座；銜接座上通過扭力彈簧桿連接有撥板。

進(jìn)一步的，聯(lián)動(dòng)條右側(cè)下部為斜面設(shè)置。