[發明專利]自動輪換式太陽能電池制備用氧化硅膜成型機

在審

• 申請號: 202210218473.3
• 申請日: 2022-03-08
• 公開（公告）號: CN114695219A
• 公開（公告）日: 2022-07-01
• 發明（設計）人: 桑利安
• 申請（專利權）人: 桑利安
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種自動輪換式太陽能電池制備用氧化硅膜成型機，包括有反應箱（1）、支撐架（2）、紫外光燈（3）和隔離罩（4）；反應箱（1）左方設置有支撐架（2）；反應箱（1）內底壁固定連接有紫外光燈（3）；反應箱（1）內底壁固定連接有隔離罩（4）；紫外光燈（3）位于隔離罩（4）內；其特征在于，還包括有輪換上料系統和氣泡驅散系統；支撐架（2）右側連接有輪換上料系統；輪換上料系統用于對硅片輪換上料；反應箱（1）內連接有氣泡驅散系統；氣泡驅散系統用于驅散硅片下表面的氣泡。

2.根據權利要求1所述的一種自動輪換式太陽能電池制備用氧化硅膜成型機，其特征在于，隔離罩（4）為透明材質。

3.根據權利要求2所述的一種自動輪換式太陽能電池制備用氧化硅膜成型機，其特征在于，輪換上料系統包括有電動滑軌（201）、電動滑塊（202）、L型板（203）、第一連接板（204）、第一連接轉軸（205）、第一平齒輪（206）、銜接板（207）、第一彈簧桿（208）、第一固定板（209）、聯動條（210）、第一輪齒板（211）、十字輪換架（212）、物料固定組件、銜接座（218）和撥板（219）；支撐架（2）右側固定連接有電動滑軌（201）；電動滑軌（201）上滑動連接有電動滑塊（202）；電動滑塊（202）右側固定連接有L型板（203）；L型板（203）右側固定連接有第一連接板（204）；L型板（203）和第一連接板（204）上共同轉動連接有第一連接轉軸（205）；第一連接轉軸（205）上固定連接有第一平齒輪（206），并且第一平齒輪（206）位于L型板（203）和第一連接板（204）之間；支撐架（2）前側固定連接有銜接板（207）；銜接板（207）右側連接有兩個第一彈簧桿（208）；兩個第一彈簧桿（208）右側連接有第一固定板（209）；第一固定板（209）右側前部固定連接有聯動條（210）；第一固定板（209）右側后部固定連接有第一輪齒板（211）；第一連接轉軸（205）上固定連接有十字輪換架（212），并且十字輪換架（212）位于第一連接板（204）右方；十字輪換架（212）右側連接有物料固定組件；第一連接板（204）左側前部固定連接有銜接座（218）；銜接座（218）上通過扭力彈簧桿連接有撥板（219）。

4.根據權利要求3所述的一種自動輪換式太陽能電池制備用氧化硅膜成型機，其特征在于，聯動條（210）右側下部為斜面設置。

5.根據權利要求3所述的一種自動輪換式太陽能電池制備用氧化硅膜成型機，其特征在于，物料固定組件包括有第一固定柱（213）、連接座（214）、連接框（215）、電動吸盤（216）和配重塊（217）；十字輪換架（212）右側轉動連接有四個第一固定柱（213）；每個第一固定柱（213）下側各轉動連接有兩個連接座（214），并且兩個連接座（214）下側固定連接有一個連接框（215）；四個連接框（215）下側各固定連接有四個電動吸盤（216）；四個連接框（215）上側各固定連接有兩個配重塊（217），并且兩個配重塊（217）前后對稱。