[發(fā)明專利]一種硅反應(yīng)裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210216131.8
• 申請(qǐng)日: 2022-03-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN114602401A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-06-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 項(xiàng)習(xí)飛;田才忠;林保璋;余先煒
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 盛吉盛半導(dǎo)體科技（北京）有限公司;盛吉盛（寧波）半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號(hào): B01J19/00
• 分類號(hào): B01J19/00;B01J4/00;H01L21/67
• 代理公司: 北京市競(jìng)天公誠(chéng)律師事務(wù)所 11770
• 代理人: 陳果

1.一種硅反應(yīng)裝置，其特征在于，包括腔體以及抽氣部，所述抽氣部設(shè)置于所述腔體的底部的中央并與所述腔體連通，所述抽氣部包括閥板、連桿、抽氣管道以及驅(qū)動(dòng)組件，所述連桿的第一端與所述閥板固定連接，所述驅(qū)動(dòng)組件與所述連桿的第二端連接以驅(qū)動(dòng)所述連桿做升降運(yùn)動(dòng)，所述閥板用于在所述連桿的作用下開(kāi)啟或關(guān)閉所述抽氣管道。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅反應(yīng)裝置，其特征在于，所述閥板包括主體以及連接板，所述主體被構(gòu)造成凹形結(jié)構(gòu)，以用于與所述抽氣管道配合，所述連接板連接于所述主體的兩側(cè)，所述連接板與所述連桿固定連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅反應(yīng)裝置，其特征在于，所述主體與所述連接板一體成型。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅反應(yīng)裝置，其特征在于，所述抽氣部還包括密封板，所述密封板設(shè)置于所述驅(qū)動(dòng)組件的上方。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅反應(yīng)裝置，其特征在于，所述抽氣部還包括用于固定所述驅(qū)動(dòng)組件的固定部，所述固定部將所述驅(qū)動(dòng)組件固定于所述抽氣管道的側(cè)部。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的硅反應(yīng)裝置，其特征在于，所述硅反應(yīng)裝置還包括多個(gè)進(jìn)氣部，多個(gè)所述進(jìn)氣部設(shè)置在所述腔體的頂部，所述進(jìn)氣部具有主體，所述主體上設(shè)置有凹部，在所述凹部上開(kāi)設(shè)有多個(gè)進(jìn)氣孔，所述進(jìn)氣孔與所述腔體連通。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的硅反應(yīng)裝置，其特征在于，所述硅反應(yīng)裝置還包括上蓋板，所述進(jìn)氣部與所述上蓋板固定連接，所述上蓋板蓋合于所述腔體的頂部。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的硅反應(yīng)裝置，其特征在于，所述上蓋板還開(kāi)設(shè)有多個(gè)通孔，多個(gè)所述通孔與所述凹部上的所述進(jìn)氣孔連通。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的硅反應(yīng)裝置，其特征在于，所述進(jìn)氣部的所述主體的上表面設(shè)置有第一配合部，所述上蓋板的下表面設(shè)置有第二配合部，所述第一配合部被設(shè)置成環(huán)繞所述凹部的外周，所述第二配合部被設(shè)置成環(huán)繞多個(gè)所述通孔。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的硅反應(yīng)裝置，其特征在于，所述第一配合部上設(shè)置有多個(gè)第一凸起，所述第二配合部上設(shè)置有多個(gè)第二凸起，所述多個(gè)第一凸起與所述多個(gè)第二凸起成角度配合。