[發明專利]電極組件和半導體工藝設備

在審

• 申請號: 202210202124.2
• 申請日: 2022-03-02
• 公開（公告）號: CN114695061A
• 公開（公告）日: 2022-07-01
• 發明（設計）人: 余江浦
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;H01L21/67
• 代理公司: 北京國昊天誠知識產權代理有限公司 11315
• 代理人: 高東

1.一種電極組件，其特征在于，包括線圈(700)和匹配器(800)，所述線圈(700)和所述匹配器(800)至少一者的連接端上設有導電彈片(300)，且所述線圈(700)通過所述導電彈片(300)選擇性的與所述匹配器(800)相連。

2.根據權利要求1所述的電極組件，其特征在于，所述線圈(700)和所述匹配器(800)至少一者的連接端部具有安裝槽(100)，所述導電彈片(300)位于所述安裝槽(100)，且所述導電彈片(300)止抵于所述安裝槽(100)的內側壁，所述導電彈片(300)的頂部的表面高于所述安裝槽(100)的側壁的頂面。

3.根據權利要求2所述的電極組件，其特征在于，所述導電彈片(300)的頂部的表面為背離與其對應設置的所述安裝槽(100)的槽底，且凸出于所述安裝槽(100)的弧形曲面。

4.根據權利要求3所述的電極組件，其特征在于，所述導電彈片(300)包括連接部(310)和抵接部(320)，所述連接部(310)環繞所述抵接部(320)設置，所述連接部(310)遠離所述抵接部(320)的一側止抵于所述安裝槽(100)的內側壁，所述線圈(700)通過所述抵接部(320)與所述匹配器(800)相連。

5.根據權利要求4所述的電極組件，其特征在于，所述連接部(310)包括多個子連接部(312)，相鄰兩個所述子連接部(312)相互拼接形成所述連接部。

6.根據權利要求5所述的電極組件，其特征在于，所述連接部(310)和所述抵接部(320)為一體結構。

7.根據權利要求4所述的電極組件，其特征在于，所述安裝槽(100)的深度為1mm至2mm；所述抵接部(320)的中心距離所述安裝槽(100)的底面的距離為2mm至4mm。

8.根據權利要求4所述的電極組件，其特征在于，所述連接部(310)具有安裝部(311)，所述安裝部(311)沿所述連接部(310)的邊緣向外延伸，所述安裝槽(100)的內側壁設有定位槽(110)，所述安裝部(311)至少部分位于所述定位槽(110)。

9.根據權利要求1所述的電極組件，其特征在于，所述線圈(700)和所述匹配器(800)的連接端均包括連接柱(200)和連接頭(500)，所述導電彈片(300)設置于所述連接頭(500)的背離所述連接柱(200)的一端，所述連接頭(500)的橫截面積大于所述連接柱(200)的橫截面積。

10.一種半導體工藝設備，其特征在于，包括權利要求1至9中任意一項所述的電極組件，所述工藝設備還包括反應腔室(600)，所述反應腔室(600)包括腔體(610)和設置于所述腔體(610)上方的介質窗(620)，所述線圈(700)設置于所述介質窗(620)的背離所述腔體(610)的一側，所述電極組件用以向所述反應腔室(600)加載射頻能量。