[發(fā)明專利]電極組件和半導(dǎo)體工藝設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210202124.2
• 申請日: 2022-03-02
• 公開（公告）號: CN114695061A
• 公開（公告）日: 2022-07-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 余江浦
• 申請（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;H01L21/67
• 代理公司: 北京國昊天誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11315
• 代理人: 高東

本發(fā)明公開一種電極組件和半導(dǎo)體工藝設(shè)備，涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域。該電極組件包括線圈和匹配器，線圈和匹配器至少一者的連接端上設(shè)有導(dǎo)電彈片，且線圈通過導(dǎo)電彈片選擇性的與匹配器相連。該方案能解決半導(dǎo)體工藝設(shè)備合腔困難的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種電極組件和半導(dǎo)體工藝設(shè)備。

背景技術(shù)

在集成電路制造工藝中，刻蝕機一般用于在晶圓表面通過等離子體轟擊的方式刻出各式各樣的溝槽。在刻蝕過程中，需要在工藝腔室內(nèi)形成強電場，以使工藝腔室內(nèi)的工藝氣體可以在強電場的作用下被電離分解，以產(chǎn)生等離子體。產(chǎn)生的等離子體在電場及流場的作用下高速移動，轟擊晶圓表面。

為了產(chǎn)生理想強度和方向的電場，相關(guān)技術(shù)中，工藝腔室包括匹配器、多個射頻連接柱和線圈。具體的，匹配器通過多個射頻連接柱與線圈相連，以通過匹配器向線圈輸入一定強度的電流，使得線圈產(chǎn)生的電場可以穿過介質(zhì)窗進入工藝腔室內(nèi)部。射頻連接柱包括上連接柱和下連接柱，其中，上連接柱設(shè)置有插頭，下連接柱設(shè)置有插槽。上連接柱通過插頭插入插槽與下連接柱相連。

在對工藝腔室進行維護的過程中，需要打開工藝腔室，通過分離上連接柱和下連接柱進而將匹配器和線圈分離。維護結(jié)束后合腔過程當(dāng)中，上、下連接柱的連接處又需要接合在一起，但是多個射頻連接柱難以同時完美對中，合腔較為困難。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明公開一種電極組件和半導(dǎo)體工藝設(shè)備，以解決半導(dǎo)體工藝設(shè)備合腔困難的問題。

為了解決上述問題，本發(fā)明采用下述技術(shù)方案：

本發(fā)明所述的電極組件包括線圈和匹配器，線圈和匹配器至少一者的連接端上設(shè)有導(dǎo)電彈片，且線圈通過導(dǎo)電彈片選擇性的與匹配器相連。

基于本發(fā)明所述的電極組件，本發(fā)明還提供一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備。該半導(dǎo)體工藝設(shè)備本發(fā)明所述的電極組件。半導(dǎo)體工藝設(shè)備還包括反應(yīng)腔室，反應(yīng)腔室包括腔體和設(shè)置于腔體上方的介質(zhì)窗，線圈設(shè)置于介質(zhì)窗的背離腔體的一側(cè)，電極組件用以向反應(yīng)腔室加載射頻能量。

本發(fā)明采用的技術(shù)方案能夠達到以下有益效果：

本發(fā)明實施例公開的電極組件中，線圈和匹配器中至少一者的連接段設(shè)置有導(dǎo)電彈片，以使線圈的連接端和匹配器的連接端可以通過導(dǎo)電彈片抵觸相連。在半導(dǎo)體工藝設(shè)備合腔的過程中，無需線圈的連接端和匹配器的連接端相互對中，也能夠?qū)崿F(xiàn)線圈的連接端和匹配器的連接端相連，進而可以降低線圈的連接端與匹配器的連接端連接的難度。進而降低半導(dǎo)體工藝設(shè)備合腔的難度。

附圖說明

此處所說明的附圖用來提供對本發(fā)明的進一步理解，構(gòu)成本發(fā)明的一部分，本發(fā)明的示意性實施例及其說明用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對本發(fā)明的不當(dāng)限定。在附圖中：

圖1為本發(fā)明一種實施例公開的線圈的連接端和匹配器的連接端分離的示意圖；

圖2為本發(fā)明一種實施例公開的線圈的連接端和匹配器的連接端連接的示意圖；

圖3為本發(fā)明第一種實施例公開的線圈的連接端的俯視圖；

圖4為本發(fā)明第一種實施例公開的線圈的連接端的局部示意圖；

圖5為本發(fā)明第一種實施例公開的線圈的連接端或匹配器的連接端與導(dǎo)電彈片的裝配示意圖；

圖6為本發(fā)明第二種實施例公開的線圈的連接端或匹配器的連接端的局部示意圖；

圖7為本發(fā)明第二種實施例公開的線圈的連接端或匹配器的連接端與導(dǎo)電彈片的裝配示意圖；

圖8為本發(fā)明一種實施例公開的導(dǎo)電彈片的連接部展開后的示意圖；

圖9為本發(fā)明一種實施例公開的導(dǎo)電彈片的連接部彎折后的示意圖；