[發明專利]缺陷檢查方法及缺陷檢查裝置

在審

• 申請號: 202210198556.0
• 申請日: 2022-03-01
• 公開（公告）號: CN115015281A
• 公開（公告）日: 2022-09-06
• 發明（設計）人: 小林信次;松田俊介
• 申請（專利權）人: 住友化學株式會社
• 主分類號: G01N21/896
• 分類號: G01N21/896;G01N21/89
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 朱丹

1.一種缺陷檢查方法，是以具有直線偏振板的光學膜作為被檢物的所述直線偏振板的缺陷檢查方法，

所述光學膜依次具有剝離膜、所述直線偏振板和防護膜，

所述防護膜具有取向軸，且被層疊為所述取向軸與所述直線偏振板的吸收軸所成的角度為0°±30°的范圍，

所述缺陷檢查方法具有：

配置工序，沿著光軸依次配置具有第1偏振片的第1濾光片、相位差補償板、所述光學膜以及具有第2偏振片的第2濾光片，并且將所述光學膜以使所述剝離膜側的表面與所述相位差補償板相面對的方向配置；

檢測工序，從所述第1濾光片側及所述第2濾光片側的任一方沿著所述光軸射入光，檢測從另一方射出的光；以及

判斷工序，基于所述檢測工序中的檢測結果，判斷所述光學膜的缺陷，

在所述配置工序中，滿足下述的條件a及條件b1地配置：

(a)所述第1偏振片的吸收軸與所述直線偏振板的吸收軸所成的角度為90°±5°的范圍內；

(b1)所述第2偏振片的吸收軸與所述防護膜的所述取向軸所成的角度為90°±5°的范圍內，

在所述檢測工序中，所述相位差補償板補償所述剝離膜所具有的雙折射。

2.一種缺陷檢查方法，是以具有直線偏振板的光學膜作為被檢物的所述直線偏振板的缺陷檢查方法，

所述光學膜依次具有剝離膜、所述直線偏振板和防護膜，

所述防護膜具有取向軸，且被層疊為所述取向軸與所述直線偏振板的吸收軸所成的角度為90°±30°的范圍，

所述缺陷檢查方法具有：

配置工序，沿著光軸依次配置具有第1偏振片的第1濾光片、相位差補償板、所述光學膜以及具有第2偏振片的第2濾光片，并且將所述光學膜以使所述剝離膜側的表面與所述相位差補償板相面對的方向配置；

檢測工序，從所述第1濾光片側及所述第2濾光片側的任一方沿著所述光軸射入光，檢測從另一方射出的光；以及

判斷工序，基于所述檢測工序中的檢測結果，判斷所述光學膜的缺陷，

在所述配置工序中，滿足下述的條件a及條件b2地配置：

(a)所述第1偏振片的吸收軸與所述直線偏振板的吸收軸所成的角度為90°±5°的范圍內；

(b2)所述第2偏振片的吸收軸與所述防護膜的所述取向軸所成的角度為0°±5°的范圍內，

在所述檢測工序中，所述相位差補償板補償所述剝離膜所具有的雙折射。

3.根據權利要求1或2所述的缺陷檢查方法，其中，

所述剝離膜包含聚對苯二甲酸乙二醇酯系樹脂。

4.根據權利要求1～3中任一項所述的缺陷檢查方法，其中，

所述防護膜包含聚對苯二甲酸乙二醇酯系樹脂。

5.根據權利要求1～4中任一項所述的缺陷檢查方法，其中，

所述直線偏振板具有包含聚合性液晶化合物的固化物的偏振片。

6.根據權利要求1～5中任一項所述的缺陷檢查方法，其中，

所述光學膜在所述直線偏振板與所述剝離膜之間還具有λ/4相位差層，

在所述配置工序中，在所述第1濾光片與所述光學膜之間配置λ/4相位差板。