[發明專利]一種柔性基材的撕膜方法及裝置在審
| 申請號： | 202210193440.8 | 申請日： | 2022-03-01 |
| 公開（公告）號： | CN115816979A | 公開（公告）日： | 2023-03-21 |
| 發明（設計）人： | 斯迎軍;姬臻杰;于亮亮 | 申請（專利權）人： | 思恩半導體科技（蘇州）有限公司 |
| 主分類號： | B32B38/10 | 分類號： | B32B38/10 |
| 代理公司： | 上海索源知識產權代理有限公司 31431 | 代理人： | 李燕 |
| 地址： | 215537 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 柔性 基材 方法 裝置 | ||
1.一種柔性基材的撕膜裝置，包括真空吸附載臺(1)、撕膜機械手(2)和膜片(3)，其特征在于：所述真空吸附載臺(1)包括上臺板(101)和下臺板(102)，上臺板(101)和下臺板(102)構成密封區域，所述下臺板(102)上固定安裝有旋轉氣缸(103)和定位塊(104)；所述撕膜機械手(2)包括Z向驅動模組(201)、X向驅動模組(202)、夾指(203)和框架(204)，所述Z向驅動模組(201)在X向驅動模組(202)上滑動連接，所述夾指(203)固定安裝在Z向驅動模組(201)的下端，所述框架(204)連接在X向驅動模組(202)的背面。
2.根據權利要求1所述的一種柔性基材的撕膜裝置，其特征在于：所述膜片(3)包括PET膜(301)和柔性基材體(302)，所述PET膜(301)與柔性基材體(302)粘合連接。
3.根據權利要求1所述的一種柔性基材的撕膜裝置，其特征在于：所述上臺板(101)的上端表面開設有吸附孔，且吸附孔呈矩陣排列狀設計；所述柔性基材體(302)固定在上臺板(101)的上端表面。
4.根據權利要求1所述的一種柔性基材的撕膜裝置，其特征在于：所述上臺板(101)和下臺板(102)構成的密封區域與真空發生器連接。
5.根據權利要求1所述的一種柔性基材的撕膜裝置，其特征在于：所述定位塊(104)通過氣缸與下臺板(102)連接。
6.根據權利要求1所述的一種柔性基材的撕膜裝置，其特征在于：所述夾指(203)置于柔性基材體(302)的表面正上方。
7.根據權利要求1-6任意一項所述的一種柔性基材的撕膜方法，包括以下步驟：
S1、將膜片(3)放置到上臺板(101)上，定位塊(104)從四邊向中心移動，實現膜片(3)的定位；定位動作完成后，利用真空發生器產生的負壓將膜片(3)固定；
S2、膜片(3)固定后，Z向驅動模組(201)與X向驅動模組(202)同時移動，使夾指(203)移動至上臺板(101)臺階附近；
S3、X向驅動模組(202)向料片靠近，使PET膜(301)的一角進入夾指(203)的夾持范圍內。夾指(203)到位后，夾緊PET膜(301)，并向上移動一段距離；
S4、Z向驅動模組(201)移動到位后，X向驅動模組(202)向膜片(3)的中心移動一段距離，使PET膜(301)的一角構成“S”形；
S5、“S”形形成后，Z向驅動模組(201)需要進一步向下移動，減小彎曲半徑；
S6、Z向驅動模組(201)在保持PET膜(301)較小的彎曲半徑狀態下，X向驅動模組(202)沿著膜片(3)對角線方向移動，實現PET膜(301)與柔性基材體(302)的分離。
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