[發(fā)明專利]一種硅片激光打標方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210187541.4
• 申請日: 2022-02-28
• 公開（公告）號: CN114952014A
• 公開（公告）日: 2022-08-30
• 發(fā)明（設計）人: 張宏杰;劉園;劉建偉;武衛(wèi);孫晨光;王彥君
• 申請（專利權）人: 天津中環(huán)領先材料技術有限公司;中環(huán)領先半導體材料有限公司
• 主分類號: B23K26/362
• 分類號: B23K26/362;B23K26/70
• 代理公司: 天津諾德知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 12213
• 代理人: 欒志超

1.一種硅片激光打標方法，其特征在于，包括步驟：

開啟冷卻系統(tǒng)；

設定打標內容；

硅片掃描；

上載機械手取片；

對所述硅片進行定位；

打標；

下載機械手放片。

2.根據權利要求1所述的一種硅片激光打標方法，其特征在于：

在所述開啟冷卻系統(tǒng)步驟中，冷卻水的溫度設定為20-30℃。

3.根據權利要求1或2所述的一種硅片激光打標方法，其特征在于：

在所述開啟冷卻系統(tǒng)步驟中，壓縮氣體的壓強設定為6-9kpa。

4.根據權利要求3所述的一種硅片激光打標方法，其特征在于：

在所述打標步驟中，激光器的脈沖數(shù)為5-9，打標深度為35-85um。

5.根據權利要求1或2或4所述的一種硅片激光打標方法，其特征在于：

在所述打標步驟中，打標角度為-3～-7°。

6.根據權利要求5所述的一種硅片激光打標方法，其特征在于：

在所述打標步驟中，所述打標角度以所述硅片中心點與V槽連線為參考線。

7.根據權利要求1或2或4或6所述的一種硅片激光打標方法，其特征在于：

在所述上載機械手取片和所述下載機械手放片步驟中，所述機械手的末端設置有傳感器。

8.根據權利要求7所述的一種硅片激光打標方法，其特征在于：

在所述設定打標內容步驟中，打標碼包括OCR或T7 code。

9.根據權利要求1或2或4或6或8所述的一種硅片激光打標方法，其特征在于：

在所述設定打標內容步驟中,包括手動設定打標內容或自動設定打標內容。

10.根據權利要求9所述的一種硅片激光打標方法，其特征在于：

所述手動設定打標內容為手動選擇打標內容并進行設定；

所述自動設定打標內容包括：掃描片籃籃號，將所述片籃籃號信息傳遞給控制系統(tǒng)，確定單晶信息；確定打標內容并進行設定。