[發明專利]一種防污染便于注液的肖特基二極管制造蝕刻裝置

有效

• 申請號: 202210175715.5
• 申請日: 2022-02-25
• 公開（公告）號: CN114566449B
• 公開（公告）日: 2022-12-20
• 發明（設計）人: 張興杰;程萬坡;卜正林
• 申請（專利權）人: 江蘇韋達半導體有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L29/872
• 代理公司: 北京康達聯禾知識產權代理事務所(普通合伙) 11461
• 代理人: 何浩

本發明屬于蝕刻裝置領域，尤其是一種防污染便于注液的肖特基二極管制造蝕刻裝置，針對現有的蝕刻裝置在使用時，液體沒有進行完全的收集容易造成污染，也不便于對需要蝕刻的二極管進行注液，會造成液體的浪費問題，現提出如下方案，其包括框體，所述框體上轉動連接有蓋板，所述框體的內壁上固定安裝有過濾網，所述蓋板的底部滑動連接有對稱設置的滑動架，所述滑動架的數量為兩個，兩個滑動架相互靠近的一側固定安裝有對稱設置的軌道桿，本發明通過在蓋板上調節噴槍的位置，就可方便噴頭噴射液體對過濾網上的二極管進行蝕刻，調整好外殼的位置后還可自動的對外殼的位置進行定位，大大增加了噴槍在使用時的穩定性。

技術領域

本發明涉及蝕刻裝置技術領域，尤其涉及一種防污染便于注液的肖特基二極管制造蝕刻裝置。

背景技術

蝕刻(etching)是將材料使用化學反應或物理撞擊作用而移除的技術。蝕刻技術可以分為濕蝕刻(wet etching)和干蝕刻(dry etching)兩類。

現有技術中的蝕刻裝置在使用時，液體沒有進行完全的收集容易造成污染，也不便于對需要蝕刻的二極管進行注液，會造成液體的浪費，因此，我們提出一種防污染便于注液的肖特基二極管制造蝕刻裝置。

發明內容

基于背景技術存在蝕刻裝置在使用時，液體沒有進行完全的收集容易造成污染，也不便于對需要蝕刻的二極管進行注液，會造成液體的浪費技術問題，本發明提出了一種防污染便于注液的肖特基二極管制造蝕刻裝置。

本發明提出的一種防污染便于注液的肖特基二極管制造蝕刻裝置，包括框體，所述框體上轉動連接有蓋板，所述框體的內壁上固定安裝有過濾網，所述蓋板的底部滑動連接有對稱設置的滑動架，所述滑動架的數量為兩個，兩個滑動架相互靠近的一側固定安裝有對稱設置的軌道桿，兩個軌道桿上滑動連接有同一個外殼，所述噴槍上固定安裝有導管，所述導管貫穿蓋板，所述外殼內分別設有控制機構和連接機構。

優選的，所述控制機構包括推動桿、矩形塊、對接桿、套管、轉盤、搖把、對接套、滑動桿、拉動桿和配合架，所述推動桿滑動連接在外殼上，所述套管與外殼相配合，所述轉盤與套管固定連接，所述搖把與轉盤固定連接，所述對接桿的外側與套管的內壁滑動連接，所述對接桿與對接套固定連接，所述配合架的內側與搖把的外側滑動連接，所述對接桿與滑動桿滑動連接，所述滑動桿與拉動桿固定連接，控制機構用于控制連接機構，使得連接機構可同時的對帶動齒輪和連接齒輪，然后再選擇控制帶動齒輪和連接齒輪的轉動，就可調節外殼的位置，將就可調節噴頭的位置，方便噴頭噴射液體對過濾網上的二極管進行蝕刻。

優選的，所述連接機構包括傳動桿、定位塊、帶動齒輪、帶動齒條、連接齒輪、傳動齒輪、兩個定位齒條、連接桿、輔助桿、固定齒輪和固定齒條，所述固定齒條固定安裝在蓋板的底部，所述固定齒輪與固定齒條相嚙合，所述帶動齒條固定安裝在左側位置的軌道桿內側，帶動齒條與帶動齒輪相嚙合，所述帶動齒輪固定安裝在套管的頂部，所述對接桿貫穿帶動齒輪，所述連接齒輪與矩形塊固定連接，兩個定位齒輪均滑動連接在外殼的內壁上，兩個定位齒輪均與連接桿固定連接，所述定位塊滑動連接在外殼的內壁上，所述輔助桿分別與下方位置的定位齒條和定位塊相配合，所述傳動桿轉動連接在左側位置的滑動架上，所述傳動桿貫穿外殼，所述傳動桿的右端與固定齒輪固定連接，所述傳動齒輪套設在傳動桿上，所述傳動齒輪的內側與傳動桿的外側滑動連接，定位機構用于同時對帶動齒輪和連接齒輪的位置進行定位，就可在軌道桿上對外殼的位置進行定位，也就實現了對噴槍位置的定位，大大增加了噴槍在使用時的穩定性。

優選的，位于右側位置的軌道桿上開設有等間距排列的多個定位槽，所述定位塊的底部固定安裝有等間距排列的多個定位桿，所述定位桿的外側與定位槽的內壁滑動接觸，在定位桿插入到定位槽內后，定位桿就會阻擋外殼在右側位置的軌道桿上滑動，就可實現將外殼定位在右側位置的軌道桿上。

優選的，所述對接套上開設有矩形凹槽，所述矩形塊的外側與矩形凹槽的內壁滑動接觸，在矩形塊插入到矩形凹槽內時，矩形塊就可將對接桿和連接齒輪連接起來，使得搖把可通過對接桿和矩形塊帶動連接齒輪轉動。