[發明專利]一種防污染便于注液的肖特基二極管制造蝕刻裝置

有效

• 申請號: 202210175715.5
• 申請日: 2022-02-25
• 公開（公告）號: CN114566449B
• 公開（公告）日: 2022-12-20
• 發明（設計）人: 張興杰;程萬坡;卜正林
• 申請（專利權）人: 江蘇韋達半導體有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L29/872
• 代理公司: 北京康達聯禾知識產權代理事務所(普通合伙) 11461
• 代理人: 何浩

1.一種防污染便于注液的肖特基二極管制造蝕刻裝置，包括框體(1)，其特征在于，所述框體(1)上轉動連接有蓋板(2)，所述框體(1)的內壁上固定安裝有過濾網(9)，所述蓋板(2)的底部滑動連接有對稱設置的滑動架(6)，所述滑動架(6)的數量為兩個，兩個滑動架(6)相互靠近的一側固定安裝有對稱設置的軌道桿(7)，兩個軌道桿(7)上滑動連接有同一個外殼(3)，所述外殼(3)的底部固定安裝有噴槍，所述噴槍上固定安裝有導管(5)(4)，所述導管(5)(4)貫穿蓋板(2)，所述外殼(3)內分別設有控制機構和連接機構；

所述控制機構包括推動桿(20)、矩形塊(21)、對接桿(22)、套管(23)、轉盤(24)、搖把(25)、對接套(26)、滑動桿(27)、拉動桿(28)和配合架(31)，所述推動桿(20)滑動連接在外殼(3)上，所述套管(23)與外殼(3)相配合，所述轉盤(24)與套管(23)固定連接，所述搖把(25)與轉盤(24)固定連接，所述對接桿(22)的外側與套管(23)的內壁滑動連接，所述對接桿(22)與對接套(26)固定連接，所述配合架(31)的內側與搖把(25)的外側滑動連接，所述對接桿(22)與滑動桿(27)滑動連接，所述滑動桿(27)與拉動桿(28)固定連接；

所述連接機構包括傳動桿(8)、定位塊(11)、帶動齒輪(12)、帶動齒條(13)、連接齒輪(14)、傳動齒輪(15)、兩個定位齒條(16)、連接桿(17)、輔助桿(19)、固定齒輪(29)和固定齒條(30)，所述固定齒條(30)固定安裝在蓋板(2)的底部，所述固定齒輪(29)與固定齒條(30)相嚙合，所述帶動齒條(13)固定安裝在左側位置的軌道桿(7)內側，帶動齒條(13)與帶動齒輪(12)相嚙合，所述帶動齒輪(12)固定安裝在套管(23)的頂部，所述對接桿(22)貫穿帶動齒輪(12)，所述連接齒輪(14)與矩形塊(21)固定連接，兩個定位齒輪均滑動連接在外殼(3)的內壁上，兩個定位齒輪均與連接桿(17)固定連接，所述定位塊(11)滑動連接在外殼(3)的內壁上，所述輔助桿(19)分別與下方位置的定位齒條(16)和定位塊(11)相配合，所述傳動桿(8)轉動連接在左側位置的滑動架(6)上，所述傳動桿(8)貫穿外殼(3)，所述傳動桿(8)的右端與固定齒輪(29)固定連接，所述傳動齒輪(15)套設在傳動桿(8)上，所述傳動齒輪(15)的內側與傳動桿(8)的外側滑動連接。

2.根據權利要求1所述的一種防污染便于注液的肖特基二極管制造蝕刻裝置，其特征在于，位于右側位置的軌道桿(7)上開設有等間距排列的多個定位槽，所述定位塊(11)的底部固定安裝有等間距排列的多個定位桿，所述定位桿的外側與定位槽的內壁滑動接觸。

3.根據權利要求2所述的一種防污染便于注液的肖特基二極管制造蝕刻裝置，其特征在于，所述對接套(26)上開設有矩形凹槽，所述矩形塊(21)的外側與矩形凹槽的內壁滑動接觸。

4.根據權利要求3所述的一種防污染便于注液的肖特基二極管制造蝕刻裝置，其特征在于，所述框體(1)的右側底部開設有出料口，所述框體(1)的右側底部固定安裝有出料管(10)。

5.根據權利要求4所述的一種防污染便于注液的肖特基二極管制造蝕刻裝置，其特征在于，所述輔助桿(19)的左端和右端分別與位于下方位置的定位齒條(16)的前側和定位塊(11)的前側轉動連接。

6.根據權利要求5所述的一種防污染便于注液的肖特基二極管制造蝕刻裝置，其特征在于，所述外殼(3)的內壁上固定安裝有轉動架(32)，所述傳動齒輪(15)與轉動架(32)轉動連接，所述傳動桿(8)的外側貫穿轉動架(32)。

7.根據權利要求6所述的一種防污染便于注液的肖特基二極管制造蝕刻裝置，其特征在于，所述外殼(3)的內壁上固定安裝有連接架(18)，所述連接架(18)的底部與連接齒輪(14)的頂部轉動連接。

8.根據權利要求7所述的一種防污染便于注液的肖特基二極管制造蝕刻裝置，其特征在于，所述外殼(3)上開設有轉動通孔，所述套管(23)的外側與轉動通孔的內壁轉動連接。