[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體視覺檢測快速部署和運(yùn)維的方法、系統(tǒng)及存儲介質(zhì)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210168459.7
• 申請日: 2022-02-24
• 公開（公告）號: CN114237635B
• 公開（公告）日: 2022-07-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 別曉輝;梁千柱;別偉成;單書暢
• 申請（專利權(quán)）人: 視睿（杭州）信息科技有限公司
• 主分類號: G06F8/60
• 分類號: G06F8/60;G06F8/71;G06F11/36
• 代理公司: 杭州華知專利事務(wù)所(普通合伙) 33235
• 代理人: 張德寶

本申請?zhí)峁┝艘环N半導(dǎo)體視覺檢測快速部署和運(yùn)維方法、系統(tǒng)和存儲介質(zhì)。本申請采用低代碼的思想，通過配置的方式快速的實現(xiàn)機(jī)器視覺算法的調(diào)試可視化和邏輯流程，并以解決方案包的形式進(jìn)行快速的部署；通過將半導(dǎo)體封裝和晶圓檢測領(lǐng)域中大量人為操作的功能場景集成在一套軟件平臺中，對機(jī)臺的配置參數(shù)，訓(xùn)練數(shù)據(jù)，訓(xùn)練模型進(jìn)行暫存和版本的管理，通過可視化圖表實時監(jiān)測模型訓(xùn)練的過程，使得模型數(shù)據(jù)準(zhǔn)確快速，解決了需求復(fù)雜多變引發(fā)的開發(fā)響應(yīng)速度慢，現(xiàn)場生產(chǎn)過程中維護(hù)成本高，調(diào)試迭代的復(fù)雜度高等問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請屬于半導(dǎo)體檢測技術(shù)領(lǐng)域，更具體的，涉及一種半導(dǎo)體視覺檢測快速部署和運(yùn)維的方法、系統(tǒng)及存儲介質(zhì)。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為現(xiàn)代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)，已成為社會發(fā)展和國民經(jīng)濟(jì)的基礎(chǔ)性、戰(zhàn)略性和先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè)，是現(xiàn)代日常生活和未來科技進(jìn)步必不可少的重要組成部分。隨著半導(dǎo)體產(chǎn)品的加工面積成倍縮小帶來加工難度不斷擴(kuò)大，未來生產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)品的制造設(shè)備將越來越精細(xì)化。近幾年的一些新型技術(shù)更是推生出更多種類的半導(dǎo)體芯片，例如：AI芯片，5G芯片、物聯(lián)網(wǎng)芯片、存儲芯片、光芯片以及MEMS芯片等。隨著芯片種類的增多，加之同種芯片在越發(fā)嚴(yán)格的要求下,對于質(zhì)檢的要求也越來越嚴(yán)格。

半導(dǎo)體芯片檢測的方式多種多樣，包括從傳統(tǒng)的圖像算法、機(jī)器學(xué)習(xí)算法，到不斷發(fā)展中的AI神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)算法。而且不同的芯片制程階段，不同的芯片類型，對檢測的要求也都不同，需要開發(fā)大量的檢測算法來應(yīng)對繁多復(fù)雜的需求。為了應(yīng)對這些變化，也急需一套較為標(biāo)準(zhǔn)的軟件流程來加速芯片質(zhì)檢過程中的開發(fā)，部署，運(yùn)維等各個階段。

針對不同芯片的檢測需求開發(fā)出來的算法，在部署到現(xiàn)場檢測軟件過程中往往需要進(jìn)行編程上的改動來適配。之后還需要進(jìn)行參數(shù)的調(diào)試來獲得較好的結(jié)果，而對于可視化的結(jié)果展示往往也需要軟件編程的輔助來實現(xiàn)。整個過程會隨著需求的增多而不斷重復(fù)。

隨著芯片尺寸的不斷精密化，在一個相機(jī)視圖下會有多個芯片實例，所以在對單個芯片進(jìn)行檢測前往往需要對整圖進(jìn)行切割。如果使用AI算法進(jìn)行檢測，還需要將切割后的小料進(jìn)行標(biāo)注和分類。之后將標(biāo)注好的數(shù)據(jù)集傳回進(jìn)行模型訓(xùn)練。整個流程需要很多的人為介入，如切割結(jié)果是否正確，分類過程中的命名及規(guī)范，數(shù)據(jù)拷貝過程中的校驗，模型迭代過程中的管理等。其中某一個環(huán)節(jié)出現(xiàn)問題將會導(dǎo)致最終的結(jié)果錯誤并且難以排查，因此存在開發(fā)響應(yīng)速度慢，現(xiàn)場生產(chǎn)過程中維護(hù)成本高，調(diào)試迭代的復(fù)雜度高等問題。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本申請?zhí)峁┝艘环N半導(dǎo)體視覺檢測快速部署和運(yùn)維的方法、系統(tǒng)及存儲介質(zhì)，結(jié)合行業(yè)經(jīng)驗規(guī)范一套標(biāo)準(zhǔn)的流程和管理方式，再通過軟件自動化的方式進(jìn)行部署和運(yùn)維，解決了需求復(fù)雜多變引發(fā)的開發(fā)響應(yīng)速度慢，現(xiàn)場生產(chǎn)過程中維護(hù)成本高，調(diào)試迭代的復(fù)雜度高等問題。

本申請的具體技術(shù)方案如下：

本申請第一方面提供一種半導(dǎo)體視覺檢測快速部署和運(yùn)維的方法，包括如下步驟：

按照預(yù)定的數(shù)據(jù)類型和格式解析算法函數(shù)的輸入?yún)?shù)和輸出結(jié)果，將算法函數(shù)的輸入?yún)?shù)和輸出結(jié)果進(jìn)行可視化處理；

根據(jù)可視化處理的部署結(jié)果對算法函數(shù)的邏輯關(guān)系進(jìn)行歸納，并對目標(biāo)解決方案中的多個算法函數(shù)的邏輯關(guān)系進(jìn)行重新配置，生成調(diào)試算法庫；

利用調(diào)試算法庫對半導(dǎo)體芯片的圖像坐標(biāo)與物理坐標(biāo)進(jìn)行視覺定位以及切割制作，并實時輸出調(diào)試數(shù)據(jù)；

對切割后的小圖進(jìn)行標(biāo)注分類生成算法函數(shù)可以解析的訓(xùn)練集，利用訓(xùn)練集生成并迭代調(diào)試模型。

優(yōu)選的，解析算法函數(shù)的輸入?yún)?shù)和輸出結(jié)果，將算法函數(shù)的輸入?yún)?shù)和輸出結(jié)果進(jìn)行可視化處理具體為：

分別對算法函數(shù)的輸入?yún)?shù)和輸出結(jié)果按照數(shù)據(jù)類型和格式進(jìn)行注冊和定義；

解析算法函數(shù)輸入?yún)?shù)的數(shù)據(jù)類型生成對應(yīng)的UI輸入控件，根據(jù)UI輸入控件采用圖像交互模式加載算法函數(shù)的輸出結(jié)果；