[發(fā)明專利]一種提高外延用襯底單晶氧沉淀析出缺陷系統(tǒng)及控制方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210165178.6
• 申請日: 2022-02-23
• 公開（公告）號: CN114438601B
• 公開（公告）日: 2023-04-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 馬成;王忠保;芮陽
• 申請（專利權(quán)）人: 杭州中欣晶圓半導(dǎo)體股份有限公司;寧夏中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號: C30B33/02
• 分類號: C30B33/02;C30B29/06;C30B33/00
• 代理公司: 杭州融方專利代理事務(wù)所(普通合伙) 33266
• 代理人: 沈相權(quán)

1.一種提高外延用襯底單晶氧沉淀析出缺陷系統(tǒng)，包括加熱爐（1），所述加熱爐（1）的側(cè)面固定設(shè)置有控制面板（2），其特征在于：所述加熱爐（1）的內(nèi)腔設(shè)置有自動輸送機構(gòu)（4），所述自動輸送機構(gòu)（4）的頂部設(shè)置有提高缺陷系統(tǒng)（6）；

所述提高缺陷系統(tǒng)（6）包括隔離箱體（61），所述隔離箱體（61）的表面活動套接有外封門（62），所述隔離箱體（61）頂部的中間對稱設(shè)置有自動潤滑機構(gòu)（63），所述隔離箱體（61）的頂部分別固定連接有套筒（68）和外殼（69），所述外殼（69）的一側(cè)固定連接有第二電機（610），所述外殼（69）的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動套接有蝸桿（614），所述蝸桿（614）的表面和第二電機（610）的輸出端均固定套接有錐齒輪（615），所述套筒（68）的內(nèi)腔固定套接有套環(huán)（613），所述套環(huán)（613）的底部轉(zhuǎn)動套接有蝸輪（612），所述蝸輪（612）和套筒（68）的內(nèi)腔螺紋套接有第二絲桿（67），所述第二絲桿（67）的頂部轉(zhuǎn)動套接有第三連接板（66），所述第三連接板（66）的一端固定連接有伸縮板（64），所述伸縮板（64）的表面固定連接有快中子輻照照射器（65），使第二絲桿（67）帶動擋板（611）進行下移，使擋板（611）將加熱爐（1）表面的進料口堵上，可以避免加熱爐（1）內(nèi)腔的高溫散熱出來；

所述自動潤滑機構(gòu)（63）包括固定板（631），所述固定板（631）的內(nèi)腔固定套接有固定套管（632），所述固定套管（632）的內(nèi)腔滑動套接有滑動桿（633），所述固定板（631）的表面轉(zhuǎn)動套接有轉(zhuǎn)動板（634），所述固定板（631）的表面固定連接有第一連接板（635），所述轉(zhuǎn)動板（634）和第一連接板（635）相對的一面固定連接有第一彈簧（636），所述固定板（631）的頂部固定連接有儲存盒（639），所述儲存盒（639）的頂部活動套接有外蓋（6310），所述儲存盒（639）的表面固定連接有第二連接板（6311），所述固定板（631）的表面對稱固定連接有套塊（638），所述套塊（638）的表面滑動套接有滑動板（637），所述滑動板（637）的上端固定連接有齒輪條（6316），所述第二連接板（6311）和滑動板（637）相對的一面固定連接有第二彈簧（6314），所述儲存盒（639）的一側(cè)固定連通有連接管（6315），所述連接管（6315）的內(nèi)腔通過轉(zhuǎn)動桿（6312）轉(zhuǎn)動套接有封堵板（6317），且轉(zhuǎn)動桿（6312）的一端延伸至儲存盒（639）的側(cè)面外，所述轉(zhuǎn)動桿（6312）的一端固定套接有齒輪（6313）；

所述自動輸送機構(gòu)（4）包括驅(qū)動鋼板（41），所述驅(qū)動鋼板（41）的表面固定開設(shè)有滑槽（43），所述滑槽（43）的內(nèi)腔轉(zhuǎn)動套接有第一絲桿（44），所述第一絲桿（44）的表面螺紋套接有滑動鋼板（45），所述滑動鋼板（45）的表面固定開設(shè)有放置槽（46），所述驅(qū)動鋼板（41）的一端固定連接有第一電機（42）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高外延用襯底單晶氧沉淀析出缺陷系統(tǒng)，其特征在于：所述驅(qū)動鋼板（41）的底部固定連接有支撐桿（5），所述驅(qū)動鋼板（41）固定在加熱爐（1）的內(nèi)腔中，所述第一電機（42）的輸出端貫穿驅(qū)動鋼板（41）的一端，并與滑槽（43）的一端固定連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高外延用襯底單晶氧沉淀析出缺陷系統(tǒng)，其特征在于：所述隔離箱體（61）固定連接在驅(qū)動鋼板（41）的頂部上，所述第二電機（610）的底部固定連接在隔離箱體（61）的頂部，所述伸縮板（64）滑動套接在固定板（631）的內(nèi)腔中。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高外延用襯底單晶氧沉淀析出缺陷系統(tǒng)，其特征在于：所述擋板（611）的表面與隔離箱體（61）的內(nèi)壁相互吻合，所述蝸桿（614）與蝸輪（612）的表面相互嚙合連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高外延用襯底單晶氧沉淀析出缺陷系統(tǒng)，其特征在于：所述固定板（631）的底部固定連接在隔離箱體（61）的頂部上，所述伸縮板（64）的兩端滑動套接在固定板（631）的內(nèi)腔中。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高外延用襯底單晶氧沉淀析出缺陷系統(tǒng)，其特征在于：所述第二絲桿（67）的一端貫穿隔離箱體（61）的頂部，并延伸至隔離箱體（61）的內(nèi)腔中。