[發(fā)明專(zhuān)利]一種無(wú)死角的視窗

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210156833.1
• 申請(qǐng)日: 2022-02-21
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN114592178B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-09-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 薛蒙曉
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 蘇州佑倫真空設(shè)備科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/52
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/52;C23C14/24
• 代理公司: 蘇州彰尚知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32336
• 代理人: 馬慶戈

本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N無(wú)死角的視窗，包括設(shè)置在真空蒸鍍機(jī)的腔體門(mén)上的觀察窗和設(shè)置在主腔體內(nèi)并與主腔體后面板固定的反射件，所述觀察窗的結(jié)構(gòu)從外向內(nèi)包括：外層玻璃、安裝架和延伸件，外層玻璃和安裝架固定在腔體門(mén)上，延伸件設(shè)置在主腔體內(nèi)并且與安裝架連接，延伸件與腔體門(mén)內(nèi)壁的垂直線(xiàn)之間具有傾斜角a，安裝架具有第一通孔，第一通孔與外層玻璃的位置相對(duì)應(yīng)，延伸件有兩個(gè)，兩個(gè)延伸件上下設(shè)置在第一通孔的上下兩邊，延伸件中的一個(gè)或者兩個(gè)具有反射功能，反射件相對(duì)于腔體門(mén)的一面具有反射功能；主腔室內(nèi)的光線(xiàn)通過(guò)延伸件和/或反射件的反射后穿過(guò)第一通孔到達(dá)外層玻璃而進(jìn)入人眼，延伸件阻擋蒸發(fā)的蒸鍍材料防止蒸鍍材料穿過(guò)第一通孔。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及真空蒸鍍機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，更具體地，涉及一種無(wú)死角的視窗。

背景技術(shù)

真空蒸鍍機(jī)為在真空條件下，通過(guò)電流加熱、電子束轟擊加熱和離子源轟擊等方式，蒸發(fā)鍍膜材料(或稱(chēng)膜料)并使之氣化，再使氣化后的粒子飛至基片表面而凝結(jié)，最后形成薄膜。真空蒸鍍具有成膜方法簡(jiǎn)單、薄膜純度和致密性高、膜結(jié)構(gòu)和性能獨(dú)特等優(yōu)點(diǎn)，因此得到廣泛的應(yīng)用。在真空蒸鍍的加工工藝中，在真空條件下采用坩堝氣化鍍膜材料，坩堝包括：蒸鍍腔室、設(shè)置在蒸鍍腔室內(nèi)的蒸鍍?cè)矗訜嵴翦冊(cè)词拐翦冊(cè)凑魞?nèi)的蒸鍍材料經(jīng)過(guò)加熱發(fā)生汽化，以扇形的結(jié)構(gòu)向上蒸發(fā)，坩堝上方具有用來(lái)承載被鍍膜工件的傘狀結(jié)構(gòu)的鍍鍋，鍍鍋上固定有被鍍膜工件，因此使得蒸鍍材料分子沉積到被鍍膜工件上形成鍍膜。

在鍍膜的過(guò)程中，可以通過(guò)視窗目視觀察真空蒸鍍機(jī)的主腔體內(nèi)的運(yùn)行狀況，坩堝內(nèi)蒸鍍材料的情況、鍍鍋的回轉(zhuǎn)情況、加熱燈的狀態(tài)等。目前的真空蒸鍍機(jī)的視窗從外向內(nèi)包括把手、回轉(zhuǎn)軸、外層玻璃、回轉(zhuǎn)玻璃，回轉(zhuǎn)玻璃跟著回轉(zhuǎn)軸同步旋轉(zhuǎn)，然后通過(guò)防著板上的觀察孔觀察真空蒸鍍機(jī)的腔體內(nèi)的情況。由于回轉(zhuǎn)玻璃對(duì)著觀察孔的地方會(huì)被鍍膜，下一次觀察的時(shí)候?qū)⒒剞D(zhuǎn)玻璃沒(méi)有被鍍膜的地方對(duì)著觀察孔進(jìn)行觀察，應(yīng)用幾次之后回轉(zhuǎn)玻璃被全部鍍膜沒(méi)法再進(jìn)行觀察，就需要經(jīng)常更換腔體門(mén)內(nèi)的回轉(zhuǎn)玻璃。現(xiàn)有技術(shù)的視窗，坩堝內(nèi)的后半部受到坩堝的右側(cè)圍的影響，是觀測(cè)不到的，是觀測(cè)死角。

有鑒于此，本發(fā)明提供一種無(wú)死角的視窗，能夠無(wú)死角的觀察真空蒸鍍機(jī)的主腔體內(nèi)的情況，并且該視窗沒(méi)有因鍍膜而需要更換的部件。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于，提供一種無(wú)死角的視窗，能夠無(wú)死角的觀察真空蒸鍍機(jī)的主腔體內(nèi)的情況，并且該視窗沒(méi)有因鍍膜而需要更換的部件。

本申請(qǐng)的無(wú)死角的視窗，坩堝內(nèi)的光線(xiàn)通過(guò)反射鏡22反射后，再通過(guò)上延伸件131的下表面反射后穿過(guò)第一通孔121到達(dá)外層玻璃11或者直接穿過(guò)第一通孔121到達(dá)外層玻璃11，能夠觀察到坩堝內(nèi)的后半部及右側(cè)圍的情況，消除觀測(cè)死角；同時(shí)，延伸件起到反射光線(xiàn)以方便人眼觀察主腔體內(nèi)情況和阻擋蒸發(fā)的蒸鍍材料穿過(guò)安裝架的第一通孔的雙重作用，沒(méi)有蒸鍍材料穿過(guò)安裝架的第一通孔和腔體門(mén)通孔，外層玻璃不會(huì)被鍍膜，外層玻璃不需要更換，可以用幾年沒(méi)有問(wèn)題，其中，上方延伸件的下表面被鍍膜后會(huì)越鍍?cè)搅粒挥绊懛瓷涞男Ч虼藳](méi)有因鍍膜而需要更換的部件。本申請(qǐng)人在此基礎(chǔ)上完成了本申請(qǐng)。

一種無(wú)死角的視窗，包括設(shè)置在真空蒸鍍機(jī)的腔體門(mén)上的觀察窗1和設(shè)置在主腔體內(nèi)并與主腔體后面板固定的反射件2，所述觀察窗1的結(jié)構(gòu)從外向內(nèi)包括：外層玻璃11、安裝架12和延伸件13，所述外層玻璃11和安裝架12固定在腔體門(mén)上，延伸件13設(shè)置在主腔體內(nèi)并且與安裝架12連接，延伸件13與腔體門(mén)內(nèi)壁的垂直線(xiàn)之間具有傾斜角a，安裝架12具有第一通孔121，第一通孔121與外層玻璃11的位置相對(duì)應(yīng)，延伸件13有兩個(gè)，兩個(gè)延伸件13上下設(shè)置在第一通孔121的上下兩邊，延伸件13中的一個(gè)或者兩個(gè)具有反射功能，反射件2相對(duì)于腔體門(mén)的一面具有反射功能；主腔室內(nèi)的光線(xiàn)通過(guò)延伸件13和/或反射件2的反射后穿過(guò)第一通孔121到達(dá)外層玻璃11而進(jìn)入人眼，設(shè)置在主腔體底板上的坩堝內(nèi)的蒸鍍材料在鍍膜時(shí)以散射角b呈圓錐體形狀向上蒸發(fā)，延伸件13阻擋蒸發(fā)的蒸鍍材料防止蒸鍍材料穿過(guò)第一通孔121。