[發明專利]一種無死角的視窗

有效

• 申請號: 202210156833.1
• 申請日: 2022-02-21
• 公開（公告）號: CN114592178B
• 公開（公告）日: 2023-09-15
• 發明（設計）人: 薛蒙曉
• 申請（專利權）人: 蘇州佑倫真空設備科技有限公司
• 主分類號: C23C14/52
• 分類號: C23C14/52;C23C14/24
• 代理公司: 蘇州彰尚知識產權代理事務所(普通合伙) 32336
• 代理人: 馬慶戈

1.一種無死角的視窗，其特征在于，包括設置在真空蒸鍍機的腔體門上的觀察窗(1)和設置在主腔體內并與主腔體后面板固定的反射件(2)，所述觀察窗(1)的結構從外向內包括：外層玻璃(11)、安裝架(12)和延伸件(13)，所述外層玻璃(11)和安裝架(12)固定在腔體門上，延伸件(13)設置在主腔體內并且與安裝架(12)連接，延伸件(13)與腔體門內壁的垂直線之間具有傾斜角a，安裝架(12)具有第一通孔(121)，第一通孔(121)與外層玻璃(11)的位置相對應，延伸件(13)有兩個，兩個延伸件(13)上下設置在第一通孔(121)的上下兩邊，延伸件(13)中的一個或者兩個具有反射功能，反射件(2)相對于腔體門的一面具有反射功能；主腔室內的光線通過延伸件(13)和/或反射件(2)的反射后穿過第一通孔(121)到達外層玻璃(11)而進入人眼，設置在主腔體底板上的坩堝內的蒸鍍材料在鍍膜時以散射角b呈圓錐體形狀向上蒸發，坩堝為碗狀的形狀，坩堝內的蒸鍍材料的表面低于坩堝的上表面，延伸件(13)阻擋蒸發的蒸鍍材料防止蒸鍍材料穿過第一通孔(121)；鍍膜時坩堝內的蒸鍍材料的表面與主腔體底板之間的距離為H，坩堝內的蒸鍍材料的表面中心點與腔體門之間的距離為L，設置在上方的延伸件(13)為上方延伸件(131)，設置在下方的延伸件(13)為下方延伸件(132)，當觀察窗(1)的上方延伸件(131)的最低點與主腔體底板之間的距離大于H+L×cotb時，需同時滿足，以坩堝內蒸鍍材料表面中心點和下方延伸件(132)的最高點之間連線，該連接線與腔體門內壁的垂直線之間的夾角為d,下方延伸件(132)的長度為M，上方延伸件(131)和下方延伸件(132)在安裝架(12)上的間距小于等于M×cosa+M×sina×cotd，延伸件(13)起到反射光線和阻擋蒸發的蒸鍍材料穿過第一通孔(121)的雙重作用；當觀察窗(1)的上方延伸件(131)的最低點與主腔體底板之間的距離小于等于H+L×cotb時，需同時滿足，以坩堝內蒸鍍材料表面最左側點和坩堝上沿最右側點之間連線，該連接線與腔體門內壁的垂直線之間的夾角為c,坩堝內的蒸鍍材料的表面最左側點與腔體門之間的距離為L1，觀察窗(1)的上方延伸件(131)的最高點與主腔體底板之間的距離大于H+L1×cotc，延伸件(13)起到反射光線的作用；所述反射件(2)包括反射固定部(21)和反射鏡(22),反射固定部(21)與主腔體的后面板固定，反射鏡(22)與反射固定部(21)連接，反射鏡(22)與主腔體的后面板具有傾斜角度，傾斜角度為10°-80°，坩堝內的光線通過反射鏡(22)反射后，再通過上方延伸件(131)的下表面反射后穿過第一通孔(121)到達外層玻璃(11)或者直接穿過第一通孔(121)到達外層玻璃(11)，能夠觀察到坩堝內的后半部及右側圍的情況；所述反射件(2)位于主腔體的后面板的中下部；光線通過上方延伸件(131)的下表面反射到下方延伸件(132)的上表面，下方延伸件(132)的上表面反射后穿過第一通孔(121)到達外層玻璃(11)，上方延伸件(131)的下表面和下方延伸件(132)的上表面均具有反射功能，或者光線通過上方延伸件(131)的下表面反射后直接穿過第一通孔(121)到達外層玻璃(11)，上方延伸件(131)的下表面具有反射功能，觀察坩堝內的前半部的情況；觀察主腔體內上方的鍍鍋時，光線通過下方延伸件(132)的上表面反射后直接穿過第一通孔(121)到達外層玻璃(11)，或/和光線直接穿過第一通孔(121)到達外層玻璃(11)，下方延伸件(132)的上表面均具有反射功能；所述觀察窗(1)具有多個，多個觀察窗(1)有規律的分布在腔體門上，根據實際需要調整觀察窗(1)的位置、延伸件(13)的長度、延伸件(13)的傾斜角a、延伸件(13)的反射功能及上方延伸件(131)和下方延伸件(132)在安裝架(12)上的間距。

2.如權利要求1所述的無死角的視窗，其特征在于，所述腔體門上設置有通孔，外層玻璃(11)固定在腔體門通孔相對應的位置，外層玻璃(11)固定在腔體門通孔外側的腔體門外壁上、或者固定在腔體門通孔內側的腔體門內壁上、或者固定在腔體門通孔的內部。

3.如權利要求1所述的無死角的視窗，其特征在于，所述觀察窗(1)還包括中空固定件(14)，中空固定件(14)用于將外層玻璃(11)與腔體門固定，中空固定件(14)通過螺絲與腔體門固定，中空固定件(14)的中空部分的形狀與外層玻璃(11)的形狀相同。

4.如權利要求1所述的無死角的視窗，其特征在于，所述安裝架(12)還包括腔體門固定部(122)和延伸件固定部(123)，第一通孔(121)設置在腔體門固定部(122)上，腔體門固定部(122)與腔體門固定，延伸件固定部(123)位于主腔體內，延伸件固定部(123)與延伸件(13)連接。