[發明專利]一種半導體晶圓硅片分片裝置

在審

• 申請號: 202210153704.7
• 申請日: 2022-02-19
• 公開（公告）號: CN114474442A
• 公開（公告）日: 2022-05-13
• 發明（設計）人: 藍遠東;藍遠鋒;茹俊銘;藍遠昌
• 申請（專利權）人: 深圳遠東卓越科技有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/00
• 代理公司: 北京盛凡佳華專利代理事務所(普通合伙) 11947
• 代理人: 程文棟

1.一種半導體晶圓硅片分片裝置，包括沖洗箱(1)，其特征在于，所述沖洗箱(1)的內部滑動連接有一塊放置網格(2)，所述放置網格(2)的左右兩端處均固定連接有一塊固定滑塊(3)，所述沖洗箱(1)的左右內側壁上均開設有一個與固定滑塊(3)相對應的豎直設置的固定滑槽(4)，兩個所述固定滑槽(4)的上內壁上均固定連接有一個豎直設置的固定彈簧(5)，兩個所述固定彈簧(5)的另一端分別固定連接在對應的固定滑塊(3)的頂端處，所述沖洗箱(1)的頂端固定連接有一個清洗水箱(8)，所述清洗水箱(8)的底壁上固定連接有多根將其貫穿設置的連接管(9)，多根所述連接管(9)的另一端均貫穿沖洗箱(1)的上內壁伸入到沖洗箱(1)內設置，每根所述連接管(9)的另一端均固定連接有一個噴頭(10)，所述(1)內設置有分片裝置，所述沖洗箱(1)內還設置有清洗裝置。

2.根據權利要求1所述的一種半導體晶圓硅片分片裝置，其特征在于，所述清洗裝置包括驅動器(21)，所述沖洗箱(1)的一側側壁上固定連接有一塊固定板(11)，所述驅動器(21)固定連接在固定板(11)的頂端處，所述固定板(11)的輸出端固定連接有一根旋轉桿(22)，所述旋轉桿(22)的另一端貫穿沖洗箱(1)的側壁伸入到沖洗箱(1)的內部設置，所述旋轉桿(22)位于沖洗箱(1)內部的部分的側壁上固定連接有兩塊壓電陶瓷片(24)，兩塊所述壓電陶瓷片(24)均為弧形設置，且兩塊所述壓電陶瓷片(24)之間通過導線相連接，所述沖洗箱(1)的內側壁上還固定連接有兩根導電柱(25)，兩根所述導電柱(25)的位置分別與兩塊壓電陶瓷片(24)相對應，兩根導電柱(25)分別與電源的正負極相連接。

3.根據權利要求2所述的一種半導體晶圓硅片分片裝置，其特征在于，所述清洗水箱(8)的一側側壁上轉動連接有一根連接軸(13)，所述連接軸(13)靠近驅動器(21)的一端貫穿清洗水箱(8)的側壁設置，所述連接軸(13)的另一端固定連接有一塊轉動盤(15)，所述轉動盤(15)的另一側側壁上固定連接有一根固定桿(16)，所述清洗水箱(8)的內部還設置有一塊活塞板(17)，所述活塞板(17)的寬度與清洗水箱(8)的寬度相同，所述活塞板(17)設置在固定桿(16)的下方處，所述活塞板(17)的頂端處開設有一個連接槽(19)，所述連接槽(19)的位置與固定桿(16)相對應，所述連接槽(19)的左右內側壁之間轉動連接有一根連接軸(20)，所述連接軸(20)上固定套設有一根連接桿(18)，所述連接桿(18)的另一端轉動套設在固定桿(16)上。

4.根據權利要求3所述的一種半導體晶圓硅片分片裝置，其特征在于，所述旋轉桿(22)位于沖洗箱(1)外側的部分上固定套設有一個轉動輪二(23)，所述連接軸(13)位于清洗水箱(8)外側的部分上也固定套設有一個與轉動輪二(23)相對應的轉動輪一(14)，所述轉動輪二(23)與轉動輪一(14)之間通過連接帶(12)相連接。

5.根據權利要求1所述的一種半導體晶圓硅片分片裝置，其特征在于，所述沖洗箱(1)的下內壁上設置有一個收集箱(6)，所述收集箱(6)的內部設置有一層過濾層(7)，所述過濾層(7)通過卡塊卡在收集箱(6)的下內壁上。

6.根據權利要求1所述的一種半導體晶圓硅片分片裝置，其特征在于，其中一個所述固定滑槽(4)的內部設置有一個觸發開關，所述觸發開關與驅動器(21)和噴頭(10)相關聯。