[發(fā)明專利]一種多坩堝分段真空鍍膜室

在審

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• 申請日: 2022-02-18
• 公開（公告）號: CN114481044A
• 公開（公告）日: 2022-05-13
• 發(fā)明（設計）人: 曹蔚琦;金湛;駱中濤;秦琴;馮歡
• 申請（專利權）人: 重慶諾獎二維材料研究院有限公司
• 主分類號: C23C14/30
• 分類號: C23C14/30
• 代理公司: 廣州市華學知識產(chǎn)權代理有限公司 44245
• 代理人: 黃宗波

本發(fā)明屬于鍍膜設備技術領域，具體涉及一種多坩堝分段真空鍍膜室，包括真空箱體，所述真空箱體內(nèi)安裝有電機和用于加熱待鍍材料的電子槍，所述真空箱體前端設有觀察機構，所述真空箱體內(nèi)還轉(zhuǎn)動安裝有轉(zhuǎn)動盤，所述電機的輸出端與轉(zhuǎn)動盤傳動連接，所述轉(zhuǎn)動盤上安裝有多個坩堝。其目的是：通過多個坩堝對不同的待鍍材料進行承接，并由電機對安裝有坩堝的轉(zhuǎn)動盤進行旋轉(zhuǎn)，可避免在分段鍍膜時，只能通過打開鍍膜室，對坩堝內(nèi)被加熱的待鍍材料進行更換的方式進行，破壞了鍍膜室的真空度，若要繼續(xù)鍍膜，只能重新對鍍膜室進行真空抽取，使用不便的問題。

技術領域

本發(fā)明屬于鍍膜設備技術領域，具體涉及一種多坩堝分段真空鍍膜室。

背景技術

眾所周知，在某些材料的表面上，只要鍍上一層薄膜，就能使材料具有許多新的、良好的物理和化學性能。20世紀70年代，在物體表面上鍍膜的方法主要有電鍍法和化學鍍法。前者是通過通電，使電解液電解，被電解的離子鍍到作為另一個電極的基體表面上，因此這種鍍膜的條件，基體必須是電的良導體，而且薄膜厚度也難以控制。后者是采用化學還原法，必須把膜材配制成溶液，并能迅速參加還原反應，這種鍍膜方法不僅薄膜的結(jié)合強度差，而且鍍膜既不均勻也不易控制，同時還會產(chǎn)生大量的廢液，造成嚴重的污染。因此，這兩種被人們稱之為濕式鍍膜法的鍍膜工藝受到了很大的限制。

而真空鍍膜技術就是置待鍍材料和被鍍基板于真空室內(nèi)，采用一定方法加熱待鍍材料，使之蒸發(fā)，并飛行濺射到被鍍基板表面凝聚成膜的工藝。

現(xiàn)有一種真空鍍膜機，采用在真空室內(nèi)，通過電子槍對坩堝內(nèi)的待鍍材料進行加熱，使待鍍材料蒸發(fā)，并飛行濺射到被鍍基板表面凝聚成膜。

上述真空鍍膜機在實際使用過程中，對于被鍍基板進行分段鍍膜時，只能通過打開鍍膜室，對坩堝內(nèi)被加熱的待鍍材料進行更換的方式進行，破壞了鍍膜室的真空度，若要繼續(xù)鍍膜，只能重新對鍍膜室進行真空抽取，使用不便。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是：旨在提供一種多坩堝分段真空鍍膜室，通過多個坩堝對不同的待鍍材料進行承接，并由電機對安裝有坩堝的轉(zhuǎn)動盤進行旋轉(zhuǎn)，可避免在分段鍍膜時，只能通過打開鍍膜室，對坩堝內(nèi)被加熱的待鍍材料進行更換的方式進行，破壞了鍍膜室的真空度，若要繼續(xù)鍍膜，只能重新對鍍膜室進行真空抽取，使用不便的問題。

為實現(xiàn)上述技術目的，本發(fā)明采用的技術方案如下：

一種多坩堝分段真空鍍膜室，包括真空箱體，所述真空箱體內(nèi)安裝有電機和用于加熱待鍍材料的電子槍，所述真空箱體前端設有觀察機構，所述真空箱體內(nèi)還轉(zhuǎn)動安裝有轉(zhuǎn)動盤，所述電機的輸出端與轉(zhuǎn)動盤傳動連接，所述轉(zhuǎn)動盤上安裝有多個坩堝。

進一步限定，所述真空箱體內(nèi)還轉(zhuǎn)動安裝有擋板。這樣的結(jié)構設計，在對轉(zhuǎn)動盤進行轉(zhuǎn)動時，可把擋板轉(zhuǎn)動至轉(zhuǎn)動盤正上方，對轉(zhuǎn)動盤進行遮擋，以避免坩堝內(nèi)剩余的待鍍材料，在殘余溫度下，繼續(xù)蒸發(fā)后，繼續(xù)濺射到被鍍基板上，影響鍍膜質(zhì)量的問題。

進一步限定，所述擋板和轉(zhuǎn)動盤之間安裝有傳動結(jié)構。這樣的結(jié)構設計，通過傳動結(jié)構對擋板和轉(zhuǎn)動盤進行連接，可減小電機的使用數(shù)量，節(jié)約成本。

進一步限定，所述傳動結(jié)構包括齒輪、齒條、第一轉(zhuǎn)動件和往復架，所述往復架滑動安裝在真空箱體上，所述電機帶動往復架來回運動，所述齒條固定安裝在往復架上，所述齒輪與齒條嚙合，所述齒輪和第一轉(zhuǎn)動件均轉(zhuǎn)動安裝在真空箱體上，所述齒輪邊緣固定安裝有第一耳板，所述第一耳板上固定安裝有第一轉(zhuǎn)軸，所述第一轉(zhuǎn)動件上固定安裝有連接柱，所述連接柱上端徑向安裝有連接臂，所述擋板固定安裝在連接臂的末端，所述第一轉(zhuǎn)動件上還徑向開設有第一條形槽，所述第一轉(zhuǎn)軸穿設在第一條形槽內(nèi)。這樣的結(jié)構設計，通過電機帶動往復架來回運動，即可帶動齒輪進行正轉(zhuǎn)和反轉(zhuǎn)，進而帶動第一轉(zhuǎn)動件進行正轉(zhuǎn)和反轉(zhuǎn)，實現(xiàn)擋板對轉(zhuǎn)動盤的遮擋和打開，并在遮擋和打開的過程之中，隨著第一轉(zhuǎn)動件的轉(zhuǎn)動，當?shù)谝晦D(zhuǎn)軸脫離第一條形槽后，齒輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，不對擋板進行移動，實現(xiàn)擋板的懸停。