[發明專利]一種多坩堝分段真空鍍膜室

在審

• 申請號: 202210153513.0
• 申請日: 2022-02-18
• 公開（公告）號: CN114481044A
• 公開（公告）日: 2022-05-13
• 發明（設計）人: 曹蔚琦;金湛;駱中濤;秦琴;馮歡
• 申請（專利權）人: 重慶諾獎二維材料研究院有限公司
• 主分類號: C23C14/30
• 分類號: C23C14/30
• 代理公司: 廣州市華學知識產權代理有限公司 44245
• 代理人: 黃宗波

1.一種多坩堝分段真空鍍膜室，包括真空箱體(20)，所述真空箱體(20)內安裝有電機和用于加熱待鍍材料的電子槍，其特征在于：所述真空箱體(20)前端設有觀察機構，所述真空箱體(20)內還轉動安裝有轉動盤(1)，所述電機的輸出端與轉動盤(1)傳動連接，所述轉動盤(1)上安裝有多個坩堝(11)。

2.根據權利要求1所述的一種多坩堝分段真空鍍膜室，其特征在于：所述真空箱體(20)內還轉動安裝有擋板(2)。

3.根據權利要求2所述的一種多坩堝分段真空鍍膜室，其特征在于：所述擋板(2)和轉動盤(1)之間安裝有傳動結構。

4.根據權利要求3所述的一種多坩堝分段真空鍍膜室，其特征在于：所述傳動結構包括齒輪(31)、齒條(30)、第一轉動件(6)和往復架，所述往復架滑動安裝在真空箱體(20)上，所述電機帶動往復架來回運動，所述齒條(30)固定安裝在往復架上，所述齒輪(31)與齒條(30)嚙合，所述齒輪(31)和第一轉動件(6)均轉動安裝在真空箱體(20)上，所述齒輪(31)邊緣固定安裝有第一耳板(311)，所述第一耳板(311)上固定安裝有第一轉軸(312)，所述第一轉動件(6)上固定安裝有連接柱(601)，所述連接柱(601)上端徑向安裝有連接臂(602)，所述擋板(2)固定安裝在連接臂(602)的末端，所述第一轉動件(6)上還徑向開設有第一條形槽(61)，所述第一轉軸(312)穿設在第一條形槽(61)內。

5.根據權利要求4所述的一種多坩堝分段真空鍍膜室，其特征在于：所述第一轉動件(6)于第一條形槽(61)兩側均開設有第一扇形缺口(62)，所述齒輪(31)上固定安裝有第一限位圓盤(63)，所述第一限位圓盤(63)的直徑尺寸與第一扇形缺口(62)的直徑尺寸相同，所述第一限位圓盤(63)上還開設有第一避讓缺口(630)。

6.根據權利要求4所述的一種多坩堝分段真空鍍膜室，其特征在于：所述傳動結構還包括轉動安裝在真空箱體(20)上的第二轉動件(4)和連接板(50)，所述連接板(50)的邊緣固定安裝有第二耳板(501)，所述第二耳板(501)上固定安裝有第三轉軸(502)，所述第二轉動件(4)固定安裝于轉動盤(1)的下方，所述第二轉動件(4)上均勻開設有多根第二條形槽(401)，所述往復架包括橫桿(41)和縱桿(42)，所述橫桿(41)端部與縱桿(42)的中部固定連接，所述齒條(30)固定安裝在橫桿(41)上，所述縱桿(42)上開設有滑動槽(420)，所述連接板(50)與電機的動力輸出軸固定連接，所述連接板(50)上固定安裝有擺臂(51)，所述擺臂(51)自由端固定安裝有第二轉軸(52)，所述第二轉軸(52)穿設在滑動槽(420)內。

7.根據權利要求6所述的一種多坩堝分段真空鍍膜室，其特征在于：所述第二轉動件(4)于相鄰兩個第二條形槽(401)之間開設有第二扇形缺口(402)，所述連接板(50)上還固定安裝有第二限位圓盤(5)，所述第二限位圓盤(5)的直徑尺寸與第二扇形缺口(402)的直徑尺寸相同，所述第二限位圓盤(5)上還開設有第二避讓缺口(503)。

8.根據權利要求6所述的一種多坩堝分段真空鍍膜室，其特征在于：所述橫桿(41)和縱桿(42)之間還傾斜安裝有多根斜桿(43)。

9.根據權利要求6所述的一種多坩堝分段真空鍍膜室，其特征在于：所述第一轉軸(312)、第二轉軸(52)和第三轉軸(502)上均套設有軸套。