[發明專利]過濾裝置及光刻膠廢液再生系統

在審

• 申請號: 202210150461.1
• 申請日: 2022-02-18
• 公開（公告）號: CN114470930A
• 公開（公告）日: 2022-05-13
• 發明（設計）人: 黃政尚;韓永霖;林錦昆;沈軍;鄭義承
• 申請（專利權）人: 福建鈺融科技有限公司
• 主分類號: B01D29/50
• 分類號: B01D29/50;B01D29/60;B01D36/00;G03F7/30
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 李珊珊

1.一種過濾裝置，其特征在于，所述過濾裝置用于過濾光刻膠廢液；

所述過濾裝置包括過濾器、進料管、出料管、檢測件和控制件；

所述進料管、所述過濾器和所述出料管沿廢液流動的方向依次連通；

所述過濾器包括第一過濾件和第二過濾件；第一管道連通所述第一過濾件和所述第二過濾件，所述第一管道設有第一閥門，所述第一閥門用于切換所述第一過濾件與所述第二過濾件的連通狀態；

所述進料管和所述出料管均與所述第一過濾件和所述第二過濾件連接，所述進料管用于輸送所述廢液，所述出料管用于輸送濾液，所述進料管上設有進料閥，所述出料管上設有出料閥，所述進料閥和所述出料閥分別用于切換所述進料管和所述出料管與所述第一過濾件和所述第二過濾件的連通狀態；

所述檢測件與所述控制件電連接，所述檢測件用于檢測所述廢液和所述濾液的固含量，并將所述固含量的結果傳送至所述控制件，所述控制件與所述第一閥門、所述進料閥和所述出料閥電連接，所述控制件用于根據所述固含量的結果控制所述第一閥門、所述進料閥和所述出料閥的開關。

2.如權利要求1所述的過濾裝置，其特征在于，所述第一過濾件和所述第二過濾件的過濾精度不同。

3.如權利要求2所述的過濾裝置，其特征在于，所述過濾器還包括第三過濾件，所述進料管和所述出料管均與所述第三過濾件連通，第二管道連通所述第三過濾件與所述第二過濾件，所述第二管道上設有第二閥門，所述第二閥門與所述控制件電連接，所述第二閥門用于切換所述第二過濾件與所述第三過濾件的連通狀態。

4.如權利要求3所述的過濾裝置，其特征在于，所述第一管道還連通所述第三過濾件與所述第一過濾件，所述第一閥門用于切換所述第一過濾件與所述第二過濾件和所述第三過濾件的連通狀態。

5.如權利要求3或4所述的過濾裝置，其特征在于，所述第一過濾件、所述第二過濾件和所述第三過濾件的過濾精度均不相同。

6.如權利要求1所述的過濾裝置，其特征在于，所述檢測件用于檢測所述進料閥處所述廢液的固含量，所述檢測件還用于檢測所述第一閥門處和所述出料閥處所述濾液的固含量。

7.如權利要求3或4所述的過濾裝置，其特征在于，所述檢測件用于檢測所述進料閥處所述廢液的固含量，所述檢測件還用于檢測所述第一閥門處、所述第二閥門處和所述出料閥處所述濾液的固含量。

8.如權利要求1所述的過濾裝置，其特征在于，所述過濾器還包括第三過濾件，所述進料管和所述出料管均與所述第三過濾件連通，第二管道連通所述第三過濾件與所述第二過濾件，所述第二管道上設有第二閥門，所述第二閥門與所述控制件電連接，用于切換所述第二過濾件與所述第三過濾件的連通狀態；

所述第一過濾件、所述第二過濾件和所述第三過濾件的過濾精度相同，且廢液處理量均不相同。

9.如權利要求8所述的過濾裝置，其特征在于，所述檢測件用于檢測所述進料閥處所述廢液的固含量，所述檢測件還用于檢測所述出料閥處所述濾液的固含量。

10.一種光刻膠廢液再生系統，其特征在于，包括儲罐、精餾塔和如權利要求1-9任一項所述的過濾裝置，所述儲罐、所述過濾裝置和所述精餾塔沿廢液流動的方向依次連通，所述儲罐和所述精餾塔分別用于儲存和提純需要再生的廢液。