[發明專利]過濾裝置及光刻膠廢液再生系統

在審

• 申請號: 202210150461.1
• 申請日: 2022-02-18
• 公開（公告）號: CN114470930A
• 公開（公告）日: 2022-05-13
• 發明（設計）人: 黃政尚;韓永霖;林錦昆;沈軍;鄭義承
• 申請（專利權）人: 福建鈺融科技有限公司
• 主分類號: B01D29/50
• 分類號: B01D29/50;B01D29/60;B01D36/00;G03F7/30
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 李珊珊

本發明提供了一種過濾裝置及廢液再生系統，包括過濾器、進料管、出料管、檢測件和控制件，其中，進料管、過濾器和出料管沿廢液流動的方向依次連通；過濾器包括第一過濾件和第二過濾件，設有第一閥門的第一管道連通第一過濾件和第二過濾件，進料管和出料管均與第一過濾件和第二過濾件連接，進料管上設有進料閥，出料管上設有出料閥；檢測件與控制件電連接，檢測件用于檢測過濾前后廢液的固含量，并將固含量的結果傳送至控制件，控制件與第一閥門、進料閥和出料閥電連接，用于根據固含量的結果控制第一閥門、進料閥和出料閥的開關，通過使過濾裝置滿足上述結構，有利于提升過濾效率且避免雜質堵塞。

技術領域

本發明涉及廢液回收領域，尤其涉及一種過濾裝置及光刻膠廢液再生系統。

背景技術

隨著電子制造產業的迅速發展，在生產過程中產生的廢液也大幅度增加，為了保護環境、節約成本、并有效回收廢液中的有效物質，會對廢液進行收集處理。然而，目前的處理方法一般為使用抽送泵將廢液抽送至過濾器進行簡單的過濾，且在過濾的過程中，無法控制過濾進程，因此無論是否在過濾過程中已達到過濾要求，廢液均需要穿過整個過濾器進行過濾，導致過濾效率低，且廢液中的雜質容易堵塞過濾器。

發明內容

本發明的目的是提供一種過濾裝置及廢液再生系統，解決現有技術中廢液需要穿過整個過濾器進行過濾，導致過濾效率低，且廢液中的雜質容易堵塞過濾器的問題。

為實現本發明的目的，本發明提供了如下的技術方案：

第一方面，本發明提供了一種過濾裝置，所述過濾裝置用于過濾光刻膠廢液，包括過濾器、進料管、出料管、檢測件和控制件；所述進料管、所述過濾器和所述出料管沿廢液流動的方向依次連通；所述過濾器包括第一過濾件和第二過濾件；第一管道連通所述第一過濾件和所述第二過濾件，所述第一管道設有第一閥門，所述第一閥門用于切換所述第一過濾件與所述第二過濾件的連通狀態；所述進料管和所述出料管均與所述第一過濾件和所述第二過濾件連接，所述進料管用于輸送所述廢液，所述出料管用于輸送濾液，所述進料管上設有進料閥，所述出料管上設有出料閥，所述進料閥和所述出料閥分別用于切換所述進料管和所述出料管與所述第一過濾件和所述第二過濾件的連通狀態；所述檢測件與所述控制件電連接，所述檢測件用于檢測所述廢液和所述濾液的固含量，并將所述固含量的結果傳送至所述控制件，所述控制件與所述第一閥門、所述進料閥和所述出料閥電連接，所述控制件用于根據所述固含量的結果控制所述第一閥門、所述進料閥和所述出料閥的開關。

一種實施方式中，所述第一過濾件和所述第二過濾件的過濾精度不同。

一種實施方式中，所述過濾器還包括第三過濾件，所述過濾器還包括第三過濾件，所述進料管和所述出料管均與所述第三過濾件連通，第二管道連通所述第三過濾件與所述第二過濾件，所述第二管道上設有第二閥門，所述第二閥門與所述控制件電連接，所述第二閥門用于切換所述第二過濾件與所述第三過濾件的連通狀態。

一種實施方式中，所述第一管道還連通所述第三過濾件與所述第一過濾件，所述第一閥門用于切換所述第一過濾件與所述第二過濾件和所述第三過濾件的連通狀態。

一種實施方式中，所述第一過濾件、所述第二過濾件和所述第三過濾件的過濾精度均不相同。

一種實施方式中，所述檢測件用于檢測所述進料閥處所述廢液的固含量，所述檢測件還用于檢測所述第一閥門處和所述出料閥處所述濾液的固含量。

一種實施方式中，所述檢測件用于檢測所述進料閥處所述廢液的固含量，所述檢測件還用于檢測所述第一閥門處、所述第二閥門處和所述出料閥處所述濾液的固含量。

一種實施方式中，所述過濾器還包括第三過濾件，所述進料管和所述出料管均與所述第三過濾件連通，第二管道連通所述第三過濾件與所述第二過濾件，所述第二管道上設有第二閥門，所述第二閥門與所述控制件電連接，用于切換所述第二過濾件與所述第三過濾件的連通狀態；所述第一過濾件、所述第二過濾件和所述第三過濾件的過濾精度相同，且溶液處理量均不相同。