[發明專利]一種檢測異形靶材尺寸的檢具及檢測方法

在審

• 申請號: 202210145198.7
• 申請日: 2022-02-17
• 公開（公告）號: CN114485508A
• 公開（公告）日: 2022-05-13
• 發明（設計）人: 姚力軍;潘杰;邊逸軍;王學澤;陳文慶
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: G01B21/00
• 分類號: G01B21/00
• 代理公司: 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659
• 代理人: 韓承志

本發明提供了一種檢測異形靶材尺寸的檢具及檢測方法，所述異形靶材整體呈鍋形，所述檢具呈板狀，包括內檢具和外檢具兩部分，所述內檢具的形狀與異形靶材內部縱截面的形狀相匹配，所述外檢具為一側開口形成凹槽的板狀結構件，所述外檢具中凹槽的形狀與異型靶材外部縱截面的形狀相匹配；所述內檢具和外檢具獨立設置，所述內檢具的尺寸小于外檢具中凹槽的尺寸。本發明所述檢具通過內檢具和外檢具兩部分獨立結構的設計，使其與異形靶材的內、外部結構相匹配，從而能夠對該類靶材的尺寸進行精確檢測，檢測速率快，效率高，相比傳統的三坐標測量機檢測時檢測時間明顯縮短；所述檢具結構簡單，檢測方法操作簡便，成本較低。

技術領域

本發明屬于靶材加工及檢測技術領域，涉及一種檢測異形靶材尺寸的檢具及檢測方法。

背景技術

靶材作為一種重要的鍍膜材料，主要應用于電子及信息產業，在集成電路、信息存儲、液晶顯示屏、激光存儲器、電子控制器件等領域具有廣泛的應用。靶材按形狀分類可分為平面靶材和異形靶材，目前通常使用的是平面靶材，其加工工藝相對成熟，而異形靶材由于結構特殊，加工工藝相對復雜，加工難度也更大。

HCM機臺用濺射靶材屬于異形靶材的一種，整體形狀呈鍋形，其成型過程需要采用車削或沖壓操作，前者加工量較大，且會造成材料浪費嚴重，后者借助于沖壓設備的動力，使板料在模具里直接受到變形力發生形，從而獲得一定形狀、尺寸的結構件，通常可完成靶材的初步加工，成型加工后的靶材需要進行尺寸檢測，然而根據該異形靶材的形狀，尤其是包括弧形段，難以快速實現靶材尺寸的精確檢測，現在有技術中采用三坐標測量機檢測靶材的整體尺寸，但檢測速率較慢，對于部分尺寸，如圓弧尺寸，檢測精度較低，不利于靶材的后續使用。

CN 111421063A公開了一種鍋形靶材加工成型方法，所述方法包括：將待沖壓板坯進行加熱，之后與下模具組裝并安裝上模具得到待沖壓件，所述待沖壓件經沖壓得到鍋形靶材；其中，所述沖壓中加壓的速率為20-50mm/s。該方法重點在于鍋形靶材的加工成型過程，并未提及后續尺寸檢測的過程，對于尺寸檢測所需的檢具及方法也未明確。

CN 105522331A公開了一種金屬帽的成型工藝，所述金屬帽由頂部、折彎成型于頂部邊緣的折彎部一體折彎成型，所述金屬帽的高度為h，壁厚為t，所述頂部的直徑為d，所述頂部上設有一直徑為d′的通孔，所述成型工藝包括以下步驟：選材、剪板、落料、初次成型、整形、沖孔、車端面去毛刺、檢驗、熱鍍鋅、性能檢驗、包裝。該金屬帽的結構同樣具有圓弧段，根據其加工過程也對尺寸精度要求較高，對成型后的金屬帽進行檢驗時，采用的是游標卡尺、百分表、R規等檢驗尺寸，只適用于該種結構的金屬帽，適用范圍較窄。

綜上所述，對于異形靶材，尤其是鍋形靶材的尺寸檢測，還需要根據異形靶材的結構選擇合適的檢具結構，以保證異形靶材尺寸的精確性，提高生產效率和合格率。

發明內容

針對現有技術存在的問題，本發明的目的在于提供一種檢測異形靶材尺寸的檢具及檢測方法，所述檢具通過兩部分結構的設計，使其與異形靶材的內、外部結構相匹配，從而能夠對該類靶材的尺寸進行精準檢測，可有效提高檢測效率，節約時間，降低成本。

為達此目的，本發明采用以下技術方案：

一方面，本發明提供了一種檢測異形靶材尺寸的檢具，所述異形靶材整體呈鍋形，所述檢具呈板狀，包括內檢具和外檢具兩部分，所述內檢具的形狀與異形靶材內部縱截面的形狀相匹配，所述外檢具為一側開口形成凹槽的板狀結構件，所述外檢具中凹槽的形狀與異型靶材外部縱截面的形狀相匹配；所述內檢具和外檢具獨立設置，所述內檢具的尺寸小于外檢具中凹槽的尺寸。