[發(fā)明專利]一種檢測(cè)異形靶材尺寸的檢具及檢測(cè)方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210145198.7
• 申請(qǐng)日: 2022-02-17
• 公開（公告）號(hào): CN114485508A
• 公開（公告）日: 2022-05-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姚力軍;潘杰;邊逸軍;王學(xué)澤;陳文慶
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號(hào): G01B21/00
• 分類號(hào): G01B21/00
• 代理公司: 北京遠(yuǎn)智匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11659
• 代理人: 韓承志

1.一種檢測(cè)異形靶材尺寸的檢具，其特征在于，所述異形靶材整體呈鍋形，所述檢具呈板狀，包括內(nèi)檢具和外檢具兩部分，所述內(nèi)檢具的形狀與異形靶材內(nèi)部縱截面的形狀相匹配，所述外檢具為一側(cè)開口形成凹槽的板狀結(jié)構(gòu)件，所述外檢具中凹槽的形狀與異型靶材外部縱截面的形狀相匹配；所述內(nèi)檢具和外檢具獨(dú)立設(shè)置，所述內(nèi)檢具的尺寸小于外檢具中凹槽的尺寸。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢具，其特征在于，所述異形靶材的橫截面呈圓形，過中心軸的縱截面自開口處向下依次包括側(cè)面直線段、弧形連接段和底面弧形段；

優(yōu)選地，所述異形靶材的開口處向外延伸設(shè)有邊沿。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的檢具，其特征在于，所述檢具的材質(zhì)包括不銹鋼，優(yōu)選為與異形靶材相同的材質(zhì)；

優(yōu)選地，所述內(nèi)檢具和外檢具的厚度獨(dú)立地為0.5～1.5mm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的檢具，其特征在于，所述內(nèi)檢具沿豎直方向置于異形靶材內(nèi)部，所述內(nèi)檢具與異形靶材過中心軸的縱截面重合；

優(yōu)選地，所述外檢具沿豎直方向套在異形靶材外側(cè)，所述外檢具與異形靶材過中心軸的縱截面重合。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的檢具，其特征在于，所述內(nèi)檢具包括主體部分和卡接部分，所述主體部分的一端置于異形靶材內(nèi)部檢測(cè)內(nèi)部尺寸，所述卡接部分為主體部分的另一端向兩側(cè)延伸出的凸起部分；

優(yōu)選地，所述凸起部分靠近內(nèi)側(cè)的部分設(shè)有卡槽，所述內(nèi)檢具置于異形靶材內(nèi)部時(shí)，所述卡槽和異形靶材的邊沿卡接將內(nèi)檢具固定。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的檢具，其特征在于，所述外檢具為規(guī)則四邊形從一側(cè)挖設(shè)出凹槽區(qū)域后的結(jié)構(gòu)件；

優(yōu)選地，所述規(guī)則四邊形包括矩形；

優(yōu)選地，所述凹槽區(qū)域的面積占規(guī)則四邊形面積的比例為80～90％。

7.一種采用權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的檢具檢測(cè)異形靶材尺寸的方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟：

根據(jù)待檢測(cè)的異形靶材的結(jié)構(gòu)及尺寸，選擇相應(yīng)的內(nèi)檢具和外檢具；

將內(nèi)檢具置于異形靶材內(nèi)部，觀察并檢測(cè)異形靶材的內(nèi)部尺寸；將外檢具套在異形靶材的外部，觀察并檢測(cè)異形靶材的外部尺寸。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，所述內(nèi)檢具和外檢具的材質(zhì)包括不銹鋼，優(yōu)選為與異形靶材相同的材質(zhì)；

優(yōu)選地，所述內(nèi)檢具和外檢具在使用前，先進(jìn)行拋光、洗滌處理。

9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的方法，其特征在于，所述異形靶材內(nèi)部尺寸和外部尺寸的檢測(cè)順序不分先后；

優(yōu)選地，所述內(nèi)檢具置于異形靶材內(nèi)部時(shí)，內(nèi)檢具的凸起部分卡接在異形靶材的邊沿上，觀察內(nèi)檢具主體部分的邊緣與異形靶材內(nèi)壁的貼合情況；

優(yōu)選地，根據(jù)內(nèi)檢具主體部分的邊緣與異形靶材內(nèi)壁之間的間隙大小，判斷異形靶材的內(nèi)部尺寸是否合適；

優(yōu)選地，所述間隙大于0.2mm時(shí)，所述異形靶材需要重新加工；

優(yōu)選地，采用所述內(nèi)檢具對(duì)異形靶材中多個(gè)內(nèi)部縱截面的尺寸進(jìn)行檢測(cè)。

10.根據(jù)權(quán)利要求7-9任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述外檢具套在異形靶材外部時(shí)，所述外檢具沿豎直方向設(shè)置，與異形靶材過中心軸的縱截面重合，觀察外檢具的凹槽邊緣與異形靶材外壁的貼合情況；

優(yōu)選地，根據(jù)外檢具的凹槽邊緣與異形靶材外壁之間的間隙大小，判斷異形靶材的外部尺寸是否合適；

優(yōu)選地，所述間隙大于0.2mm時(shí)，所述異形靶材需要重新加工；

優(yōu)選地，采用所述外檢具對(duì)異形靶材中多個(gè)外部縱截面的尺寸進(jìn)行檢測(cè)。