[發(fā)明專利]一種轉(zhuǎn)移納米森林結(jié)構(gòu)的方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210143474.6
• 申請(qǐng)日: 2022-02-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN116639647A
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-08-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李茂;毛海央;周娜
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所
• 主分類號(hào): B82B3/00
• 分類號(hào): B82B3/00;B82Y40/00
• 代理公司: 北京辰權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11619
• 代理人: 張曉玲

1.一種轉(zhuǎn)移納米森林結(jié)構(gòu)的方法，其特征在于，包括以下步驟：

提供原始基底，所述原始基底的上表面設(shè)置有納米森林結(jié)構(gòu)，所述納米森林結(jié)構(gòu)由光刻膠形成；

在所述納米森林結(jié)構(gòu)的上表面形成磁性金屬層；

將可釋放型膠帶粘附在所述磁性金屬層的上表面，并使所述納米森林結(jié)構(gòu)與所述原始基底分離，從而得到粘附在所述可釋放型膠帶上的納米森林結(jié)構(gòu)；

處理所述可釋放型膠帶，從而釋放上表面具有所述磁性金屬層的所述納米森林結(jié)構(gòu)；

提供目標(biāo)基底；以及

在所述目標(biāo)基底的第一表面施加磁場(chǎng)，從而將上表面具有所述磁性金屬層的所述納米森林結(jié)構(gòu)吸附至所述目標(biāo)基底的第二表面，以完成轉(zhuǎn)移。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述目標(biāo)基底的第二表面設(shè)置有柔性膠帶；施加所述磁場(chǎng)后，上表面具有所述磁性金屬層的所述納米森林結(jié)構(gòu)被吸附至所述柔性膠帶上。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，還包括：在完成轉(zhuǎn)移后，撤銷所述磁場(chǎng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于，

所述可釋放型膠帶為熱釋放膠帶；

通過(guò)加熱來(lái)處理所述熱釋放膠帶；

將所釋放的上表面具有所述磁性金屬層的所述納米森林結(jié)構(gòu)放入液體中，并且將所述目標(biāo)基底以其第二表面與水平面平行的方式放入所述液體中，從而提供所述目標(biāo)基底。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，

所述可釋放型膠帶為熱釋放膠帶；

通過(guò)加熱來(lái)處理所述熱釋放膠帶；

將所釋放的上表面具有所述磁性金屬層的所述納米森林結(jié)構(gòu)放入液體中，并且將所述目標(biāo)基底以其第二表面與水平面成α角度的方式傾斜地放入所述液體中，從而提供所述目標(biāo)基底。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于，通過(guò)在所述目標(biāo)基底的第一表面設(shè)置磁性基底來(lái)施加磁場(chǎng)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述原始基底的上表面面積、所述目標(biāo)基底的第二表面面積以及所述磁性基底的下表面面積均相同。

8.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的方法，其特征在于，所述液體為水。

9.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述磁性金屬層通過(guò)濺射形成；所述磁性金屬層為磁性材料。

10.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述納米森林結(jié)構(gòu)包括多個(gè)納米柱，所述納米柱的高度為1-5μm，直徑為50-300nm，間距為50-300nm。