[發明專利]一種二維運動平臺

在審

• 申請號: 202210117093.0
• 申請日: 2022-02-07
• 公開（公告）號: CN114499102A
• 公開（公告）日: 2022-05-13
• 發明（設計）人: 張振奪;陳強;劉鑫
• 申請（專利權）人: 深圳市德沃先進自動化有限公司
• 主分類號: H02K41/02
• 分類號: H02K41/02;F16F15/067;F16F15/08;H02K11/22;H01L21/687
• 代理公司: 深圳市恒和大知識產權代理有限公司 44479
• 代理人: 肖靜敏

本發明涉及半導體封裝制造技術領域，提供了一種二維運動平臺，包括底座、X向運動平臺、Y向運動平臺、工作運動平臺、X向驅動直線電機以及Y向驅動直線電機。X向及Y向驅動直線電機可分別驅動X向運動平臺及Y向運動平臺線性運動，并最終驅動工作運動平臺在XY平面內做二維線性運動,本發明的二維線性平臺的直線電機定子通過柔性裝置安裝到運動平臺底座上，從而減小了直線電機定子對運動平臺底座的沖擊力，減小運動平臺的振動，提升了運動平臺運行的穩定性和定位精度；本發明可明顯降低電機定子對運動平臺底座的沖擊，減小運動平臺及底座的振動，使得運動平臺運行更加穩定，停止時穩定時間明顯加快，振動時間縮短，定位精度提高。

技術領域

本發明涉及半導體封裝制造技術領域，特別是涉及到一種引線鍵合設備運動平臺，具體涉及一種二維運動平臺。

背景技術

由于機械加工特別是半導體封裝領域對加工速度和精度的要求不斷提高，目前高速二維運動平臺普遍采用大推力直線電機驅動及較輕的運動部件實現高速高加速運動。但是當運動平臺的速度及加速度提高到一定程度時，運動平臺的機械振動開始變得明顯。特別是在半導體封裝領域使用的二維線性運動平臺，往往需要高加速、頻繁啟停換向、短行程往復運動，此時運動平臺振動顯著，直接影響了平臺的定位精度和平臺定位進入穩定的時間。

通過分析這是由于電機施加動力驅動運動平臺運動時，運動平臺對電機定子產生反作用力。而目前的二維運動平臺電機定子普遍采用剛性連接直接固定在運動平臺底座上，電機定子受到的反作用力會直接傳遞給運動平臺底座，使運動平臺底座產生振動，運動平臺底座的振動又會傳遞到運動平臺，使運動平臺振動，最后影響運動平臺的定位精度和穩定速度。特別是要繼續提高運動平臺速度和加速度時，電機傳遞給運動平臺底座的反作用力也會加大，振動會變得更加劇烈，使運動平臺的定位精度進一步下降。

因此，電機對運動平臺底座的反作用力引起的振動嚴重制約了運動平臺進一步的提速，需要開發高速高加速運動平臺必須要解決電機傳遞給運動平臺底座的反作用力引起的平臺振動。

發明內容

針對上述現有技術的不足，本發明提供一種二維運動平臺，減小了電機定子對底座的沖擊引起的振動，底座及整個運動平臺運動時更加穩定，使運動平臺振動時間縮短，定位精度提高。

本發明采用的技術方案如下：

第一方面，在本發明提供的一個實施例中，提供了一種二維運動平臺，包括底座、X向運動平臺、Y向運動平臺、工作運動平臺、X向驅動直線電機以及Y向驅動直線電機；所述X向運動平臺通過X向導軌安裝在底座上，所述X向運動平臺用于相對底座沿著X向線性運動；所述Y向運動平臺通過Y向導軌安裝在底座上，所述Y向運動平臺用于相對底座沿著Y向線性運動；所述工作運動平臺通過運動平臺導軌安裝在X向運動平臺上，所述工作運動平臺通過解耦導軌與Y向運動平臺相連接，工作運動平臺用于在X向運動平臺和Y向運動平臺的帶動下在XY平面內做線性運動；所述X向驅動直線電機，用于驅動X向運動平臺運動；所述Y向驅動直線電機用于驅動Y向運動平臺運動，所述二維線性平臺還包括位置反饋裝置，所述位置反饋裝置包括光柵尺和讀數頭。

作為本發明的進一步方案，所述X向驅動直線電機包括X向直線電機定子和X向直線電機動子，X向直線電機動子通過X向電機安裝夾爪安裝在X向運動平臺上。

作為本發明的進一步方案，所述X向直線電機定子兩端還安裝有X向驅動配重塊。

作為本發明的進一步方案，所述Y向驅動直線電機包括Y向直線電機定子和Y向直線電機動子，Y向直線電機動子通過Y向電機安裝夾爪安裝在Y向運動平臺上。

作為本發明的進一步方案，所述X向直線電機定子通過X向電機安裝板及X向驅動導軌安裝在底座上，Y向直線電機定子通過Y向電機安裝板及Y向驅動導軌安裝在底座上。