[發明專利]一種二維運動平臺

在審

• 申請號: 202210117093.0
• 申請日: 2022-02-07
• 公開（公告）號: CN114499102A
• 公開（公告）日: 2022-05-13
• 發明（設計）人: 張振奪;陳強;劉鑫
• 申請（專利權）人: 深圳市德沃先進自動化有限公司
• 主分類號: H02K41/02
• 分類號: H02K41/02;F16F15/067;F16F15/08;H02K11/22;H01L21/687
• 代理公司: 深圳市恒和大知識產權代理有限公司 44479
• 代理人: 肖靜敏

1.一種二維運動平臺，其特征在于，包括底座(10)、X向運動平臺(20)、Y向運動平臺(30)、工作運動平臺(40)、X向驅動直線電機(50)以及Y向驅動直線電機(60)；

所述X向運動平臺(20)通過X向導軌(21)安裝在底座(10)上，所述X向運動平臺(20)用于相對底座(10)沿著X向線性運動；

所述Y向運動平臺(30)通過Y向導軌(31)安裝在底座(10)上，所述Y向運動平臺(30)用于相對底座(10)沿著Y向線性運動；

所述工作運動平臺(40)通過運動平臺導軌(41)安裝在X向運動平臺(20)上，所述工作運動平臺(40)通過解耦導軌(32)與Y向運動平臺上(30)連接，工作運動平臺(40)用于在X向運動平臺(20)和Y向運動平臺(30)的帶動下在XY平面內做線性運動；

所述X向驅動直線電機(50)，用于驅動X向運動平臺(20)運動；所述Y向驅動直線電機(60)用于驅動Y向運動平臺(30)運動；

所述二維線性平臺還包括位置反饋裝置，所述位置反饋裝置包括光柵尺和讀數頭。

2.如權利要求1所述的一種二維運動平臺，其特征在于：所述X向驅動直線電機(50)包括X向直線電機定子(500)和X向直線電機動子(501)，X向直線電機動子(501)通過X向電機安裝夾爪(53)安裝在X向運動平臺(20)上。

3.如權利要求2所述的一種二維運動平臺，其特征在于：所述X向直線電機定子(500)兩端還安裝有X向驅動配重塊(54)。

4.如權利要求3所述的一種二維運動平臺，其特征在于：所述Y向驅動直線電機(60)包括Y向直線電機定子(600)和Y向直線電機動子(601)，Y向直線電機動子(601)通過Y向電機安裝夾爪(63)安裝在Y向運動平臺(30)上。

5.如權利要求4所述的一種二維運動平臺，其特征在于：所述X向直線電機定子(500)通過X向電機安裝板(52)及X向驅動導軌(51)安裝在底座(10)上，Y向直線電機定子(600)通過Y向電機安裝板(62)及Y向驅動導軌(61)安裝在底座(10)上。

6.如權利要求5所述的一種二維運動平臺，其特征在于：所述二維線性平臺還包括：

一對第一彈簧(70)，X向布置安裝在X向直線電機定子(500)兩端面與底座(10)之間；以及

一對第一緩沖器(71)，X向布置安裝在X向直線電機定子(500)兩端面與底座(10)之間。

7.如權利要求5所述的一種二維運動平臺，其特征在于：所述二維線性平臺還包括：

第二彈簧(80)，第二彈簧(80)安裝在Y向直線電機定子(600)后端面與底座之間，用于對Y向直線電機定子(600)施加向前的推力；

第二緩沖器(81)，第二緩沖器(81)安裝在Y向直線電機定子(600)后端面與底座之間，用于在Y向直線電機定子(600)向后運動時對Y向直線電機定子(600)施加向前的阻尼力；

第三彈簧(82)，第三彈簧(82)安裝在Y向直線電機定子(600)后端面與底座(10)之間，用于對Y向直線電機定子(600)施加向后的推力；以及

第三緩沖器(83)，第三緩沖器(83)安裝在Y向直線電機定子(600)后端面與底座(10)之間，用于在Y向直線電機定子(600)向前運動時對Y向直線電機定子(600)施加向后的阻尼力。

8.如權利要求4所述的一種二維運動平臺，其特征在于：所述X向直線電機定子(500)通過X向柔性橡膠減振裝置(90)安裝在底座(10)上，Y向直線電機定子(600)通過Y向柔性橡膠減振裝置(91)安裝在底座(10)上。