[發明專利]單晶或多晶硅料堆積棒料整體轉移水爆裝置及其使用方法

在審

• 申請號: 202210112590.1
• 申請日: 2022-01-29
• 公開（公告）號: CN114505149A
• 公開（公告）日: 2022-05-17
• 發明（設計）人: 左召明;余仲元;許慶剛
• 申請（專利權）人: 合肥開比銳精機科技有限公司
• 主分類號: B02C19/18
• 分類號: B02C19/18;B02C21/00;B02C23/00
• 代理公司: 合肥維可專利代理事務所(普通合伙) 34135
• 代理人: 吳明華

1.一種單晶或多晶硅料堆積棒料整體轉移水爆裝置，其特征在于，包括：

用于容納硅料棒料的水爆槽(1)，所述水爆槽(1)為矩形狀結構，水爆槽(1)的開口朝向上方，且水爆槽(1)的底面以底面向上延伸的四周均為密封狀結構；

用于加熱并轉移硅料棒料的第一裝置部(2)，所述第一裝置部(2)位于水爆槽(1)的一側向，第一裝置部(2)沿水爆槽(1)一側向的長度方向延伸設置，且第一裝置部(2)具有第一輸入端(3)和第一輸出端(4)，所述第一裝置部(2)的第一輸出端(4)朝向水爆槽(1)并對接水爆槽(1)的開口，第一裝置部(2)的第一輸入端(3)遠離水爆槽(1)；

用于加熱并轉移硅料棒料的第二裝置部(5)，所述第二裝置部(5)位于水爆槽(1)的另一側向，第二裝置部(5)沿水爆槽(1)另一側向的長度方向延伸設置，且第二裝置部(5)具有第二輸入端(6)和第二輸出端(7)，所述第二裝置部(5)的第二輸入端(6)朝向水爆槽(1)并對接水爆槽(1)的開口，第二裝置部(5)的第二輸出端(7)遠離水爆槽(1)；

第一裝置部(2)、水爆槽(1)、第二裝置部(5)在同一條水平線上依次排列，硅料棒料自第一裝置部(2)的第一輸入端(3)進入并經過水爆槽(1)，以從第二裝置部(5)的第二輸出端(7)排出。

2.根據權利要求1所述的一種單晶或多晶硅料堆積棒料整體轉移水爆裝置，其特征在于：所述第一裝置部(2)包括：第一機架(8)，所述第一機架(8)垂直立于地面，第一機架(8)上端設有傳送帶機構(10)，傳送帶機構(10)的表面具有多個用于卡合硅料棒料的排座(11)；所述排座(11)包括:四個縱向排列的立板(12)，立板(12)的上端均設有匹配硅料棒料的弧形口，所述硅料棒料放置在排座(11)上時，硅料棒料的下端貼合立板(12)的弧形口；

所述傳送帶機構(10)的首端為第一裝置部(2)的第一輸入端(3)，傳送帶機構(10)的末端為第一裝置部(2)的第一輸出端(4)。

3.根據權利要求2所述的一種單晶或多晶硅料堆積棒料整體轉移水爆裝置，其特征在于：所述第一機架(8)上方的具有第一機罩(9)，第一機罩(9)具有頂面和側面，第一機罩(9)將第一機架(8)的上方包圍，所述第一機架(8)的下方具有第一產熱箱(13)，第一產熱箱(13)輸出熱量的方向為垂直向上；所述第一機罩(9)的外圍具有第一氣管(14)、第二氣管(15)，第一氣管(14)通過多個支管連通第一機罩(9)的側面，第二氣管(15)通過多個支管連通第一機罩(9)的頂面。

4.根據權利要求3所述的一種單晶或多晶硅料堆積棒料整體轉移水爆裝置，其特征在于：所述第一機罩(9)的長度大于第一機架(8)的長度，第一機罩(9)的一端延伸至水爆槽(1)的上方。

5.根據權利要求1所述的一種單晶或多晶硅料堆積棒料整體轉移水爆裝置，其特征在于：所述第二裝置部(5)包括：底座(16)和設置在底座(16)上的第二機架(17)，第二機架(17)的上端與水爆槽(1)的上端面水平，且第二機架(17)的上端固定連接有直板，所述直板沿第二裝置部(5)的長度方向延伸，直板的上端沿直板的長度方向也設有多個用于卡合硅料棒料的排座(11)。

6.根據權利要求5所述的一種單晶或多晶硅料堆積棒料整體轉移水爆裝置，其特征在于：所述第二機架(17)上方的具有第二機罩(18)，第二機罩(18)具有頂面和側面，第二機罩(18)將第二機架(17)的上方包圍，所述第二機架(17)的下方具有第二產熱箱(19)，第二產熱箱(19)輸出熱量的方向為垂直向上；所述第二機罩(18)的頂面設有排氣孔；第二機罩(18)的一端同樣延伸至水爆槽(1)的上方。