[發明專利]電源以及電弧處理方法

有效

• 申請號: 202210111405.7
• 申請日: 2022-01-29
• 公開（公告）號: CN114540774B
• 公開（公告）日: 2022-09-27
• 發明（設計）人: 陳亞梯;趙志浩;王紹煦;羅超
• 申請（專利權）人: 深圳市瀚強科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/32
• 分類號: C23C14/32;C23C16/50;H02H1/00;H02H3/08
• 代理公司: 深圳市慧實專利代理有限公司 44480
• 代理人: 孫東杰

本申請提供了一種電源以及電弧處理方法，該電源包括發電電路、電弧檢測電路和驅動控制電路；電弧檢測電路用于在目標電弧產生時，基于在第一檢測時刻和第二檢測時刻檢測到的發電電路的輸出得到第一電弧檢測功率差，基于在第二檢測時刻和第三檢測時刻檢測到的發電電路的輸出得到第二電弧檢測功率差；電弧檢測電路還用于基于第一電弧檢測功率差、第二電弧檢測功率差和目標檢測時間間隔得到目標電弧的電弧類型；驅動控制電路用于基于目標電弧的電弧類型對應的滅弧響應時長控制發電電路停止向負載輸出電壓和/或電流，以進行滅弧處理。采用本申請，可通過電弧類型確定滅弧時長，在減少誤判率的同時，提高了生產效率，降低生產成本。

技術領域

本申請涉及電子電力技術領域，尤其涉及一種電源以及電弧處理方法。

背景技術

射頻電源是一種可以產生固定頻率(頻率通常在特定射頻范圍(比如300kHz到30GHz))的正弦波電壓、且具有一定輸出功率的電源。射頻電源廣泛應用于半導體和光伏制造設備中，射頻電源是半導體和光伏制造設備的核心構成，適用于半導體、光伏制造設備(例如鍍膜機、光刻機、鍍膜系統等)中等離子鍍膜的供電。然而，等離子鍍膜過程中容易產生等離子電弧，等離子電弧的產生會降低鍍膜產品質量，使得鍍膜產品的不良率升高，甚至損壞射頻電源。在射頻電源為鍍膜機、光刻機、鍍膜系統等設備供電的過程中，當檢測到設備在工作過程中有電弧產生時，需要射頻電源停止向設備供電(例如，切斷射頻電源的輸出電壓和/或輸出電流)以進行滅弧。因此，減少射頻電源停止向設備供電的時長(也即，滅弧時長)，延長射頻電源安全向設備供電的時長，對于鍍膜機、光刻機、鍍膜系統等設備的生產效率的提升至關重要。

發明內容

本申請提供了一種電源以及電弧處理方法，可通過電弧類型確定滅弧時長，在減少誤判率的同時，提高了生產效率，降低生產成本。

第一方面，本申請提供一種電源，該電源可包括發電電路、電弧檢測電路和驅動控制電路，發電電路可通過驅動控制電路連接負載，電弧檢測電路的一端可連接發電電路，電弧檢測電路的另一端可連接驅動控制電路。這里的電弧檢測電路可用于在目標電弧產生時，基于在第一檢測時刻和第二檢測時刻檢測到的發電電路的輸出得到第一電弧檢測功率差，基于在第二檢測時刻和第三檢測時刻檢測到的發電電路的輸出得到第二電弧檢測功率差。這里，第二檢測時刻與第一檢測時刻之間的第一時間間隔和第三檢測時刻與第二檢測時刻之間的第二時間間隔均等于目標檢測時間間隔。這里的電弧檢測電路還可用于基于第一電弧檢測功率差、第二電弧檢測功率差和目標檢測時間間隔得到目標電弧的電弧類型。這里的驅動控制電路可用于基于目標電弧的電弧類型對應的滅弧響應時長控制發電電路停止向負載輸出電壓和/或電流，以進行滅弧處理。

在本申請中，在目標電弧產生時，電弧檢測電路可基于第一電弧檢測功率差、第二電弧檢測功率差和目標檢測時間間隔得到目標電弧的電弧類型。驅動控制電路可基于目標電弧的電弧類型對應的滅弧響應時長控制發電電路停止向負載輸出電壓和/或電流，以進行滅弧處理，通過電弧類型確定滅弧時長，在減少誤判率的同時，提高了生產效率，降低生產成本，提高系統的安全性。

結合第一方面，在第一種可能的實施方式中，電弧檢測電路還可用于在檢測到第一電弧檢測功率差與第二電弧檢測功率差的差值大于或等于功率變化率檢測閾值時，得到目標電弧的電弧類型為第一電弧。這里，變化率檢測閾值可由目標檢測時間間隔和變化率檢測系數得到。這里的驅動控制電路可用于基于第一電弧對應的第一滅弧響應時長控制發電電路停止向負載輸出電壓和/或電流，第一滅弧響應時長為預設響應時長。這里，預設響應時長可以是電源提前設置的時長，也可以是電源根據發電電路的輸出實時確定的時長等時長。