[發(fā)明專利]一種晶圓生產(chǎn)線智能獲取派工WPH的控制系統(tǒng)和方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210108131.6
• 申請(qǐng)日: 2022-01-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN114444948A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-05-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉欣欣;張峰;何瑜;劉少貴;程杰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號(hào): G06Q10/06
• 分類號(hào): G06Q10/06;G06Q50/04
• 代理公司: 上海思捷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31295
• 代理人: 鐘玉敏

一種晶圓生產(chǎn)線智能獲取派工WPH的控制系統(tǒng)，包括：同步模塊，按派工預(yù)處理程序要求同步設(shè)備每小時(shí)作業(yè)晶圓的生產(chǎn)產(chǎn)能峰值(PWPH)，以自動(dòng)獲取標(biāo)準(zhǔn)基礎(chǔ)數(shù)據(jù)；智能化獲取自動(dòng)派工每小時(shí)作業(yè)晶圓的生產(chǎn)產(chǎn)能(WPH)模塊，以自動(dòng)獲取的設(shè)備每小時(shí)作業(yè)晶圓的生產(chǎn)產(chǎn)能峰值(PWPH)為基礎(chǔ)數(shù)據(jù)，智能化獲取自動(dòng)派工每小時(shí)作業(yè)晶圓的生產(chǎn)產(chǎn)能(WPH)；應(yīng)用模塊，對(duì)終版自動(dòng)派工每小時(shí)作業(yè)晶圓的生產(chǎn)產(chǎn)能(WPH)以可視化界面形式展現(xiàn)，并應(yīng)用在智能派工Q?time模型中，用以計(jì)算下游產(chǎn)能，并根據(jù)計(jì)算結(jié)果判定Q?time起始站點(diǎn)是否放貨。本發(fā)明不僅可精確管控自動(dòng)派工，減少人為干預(yù)，而且降低產(chǎn)品品質(zhì)風(fēng)險(xiǎn)，值得業(yè)界推廣使用。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓生產(chǎn)線智能獲取派工WPH的控制系統(tǒng)和方法。

背景技術(shù)

正如大家所知曉地，半導(dǎo)體晶圓制造由于工藝限制，在關(guān)鍵站點(diǎn)需要設(shè)置最長(zhǎng)等待時(shí)間(Queue Time,Q-time)，若超過(guò)等待時(shí)間未進(jìn)設(shè)備作業(yè)，則晶圓制造單元產(chǎn)品(LOT)存在報(bào)廢風(fēng)險(xiǎn)。因此，在派工時(shí)需要考慮每一站點(diǎn)的產(chǎn)能，即在Q-time起始站點(diǎn)派工時(shí)考慮下游每一站點(diǎn)的產(chǎn)能。

設(shè)備產(chǎn)能與設(shè)備每小時(shí)作業(yè)晶圓的生產(chǎn)產(chǎn)能峰值(Peak WaferPer Hour,PWPH)有關(guān)，但若直接使用每小時(shí)作業(yè)晶圓的生產(chǎn)產(chǎn)能峰值(PWPH)用于指導(dǎo)派工，則勢(shì)必會(huì)導(dǎo)致超Q-time發(fā)生。另一方面，如果僅憑經(jīng)驗(yàn)值或簡(jiǎn)單的收集數(shù)據(jù)來(lái)估算自動(dòng)派工每小時(shí)作業(yè)晶圓的生產(chǎn)產(chǎn)能峰值(PWPH)，則存在準(zhǔn)確性差，智能化不強(qiáng)等問(wèn)題。

尋求一種流程和算法，以自動(dòng)獲取自動(dòng)派工WPH已成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的技術(shù)問(wèn)題之一。

故針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的問(wèn)題，本案設(shè)計(jì)人憑借從事此行業(yè)多年的經(jīng)驗(yàn)，積極研究改良，于是有了本發(fā)明一種晶圓生產(chǎn)線智能獲取派工WPH的控制系統(tǒng)和方法。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明之第一目的是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中，傳統(tǒng)自動(dòng)派工流程和算法存在準(zhǔn)確性差，智能化不強(qiáng)等缺陷提供一種晶圓生產(chǎn)線智能獲取派工WPH的控制系統(tǒng)。

本發(fā)明之第二目的是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中，傳統(tǒng)自動(dòng)派工流程和算法存在準(zhǔn)確性差，智能化不強(qiáng)等缺陷提供一種晶圓生產(chǎn)線智能獲取派工WPH的控制系統(tǒng)之控制方法。

為實(shí)現(xiàn)本發(fā)明之第一目的，本發(fā)明提供一種晶圓生產(chǎn)線智能獲取派工WPH的控制系統(tǒng)和方法，所述晶圓生產(chǎn)線智能獲取派工WPH的控制系統(tǒng)，包括：

同步模塊，按派工預(yù)處理程序要求，從制造執(zhí)行系統(tǒng)服務(wù)器自動(dòng)同步設(shè)備每小時(shí)作業(yè)晶圓的生產(chǎn)產(chǎn)能峰值(Peak Wafer Per Hour,PWPH)到派工預(yù)處理程序所在制造部服務(wù)器，用以自動(dòng)獲取標(biāo)準(zhǔn)基礎(chǔ)數(shù)據(jù)；

智能化獲取自動(dòng)派工每小時(shí)作業(yè)晶圓的生產(chǎn)產(chǎn)能(WPH)模塊，以自動(dòng)獲取的設(shè)備每小時(shí)作業(yè)晶圓的生產(chǎn)產(chǎn)能峰值(PWPH)為基礎(chǔ)數(shù)據(jù)，智能化獲取自動(dòng)派工每小時(shí)作業(yè)晶圓的生產(chǎn)產(chǎn)能(WPH)，并進(jìn)一步包括由控制模塊進(jìn)行控制的預(yù)處理模塊、計(jì)算模塊，以及輸出模塊；

應(yīng)用模塊，對(duì)終版自動(dòng)派工每小時(shí)作業(yè)晶圓的生產(chǎn)產(chǎn)能(WPH)以可視化界面形式展現(xiàn)，并應(yīng)用在智能派工Q-time模型中，用以計(jì)算下游產(chǎn)能，并根據(jù)計(jì)算結(jié)果判定Q-time起始站點(diǎn)是否放貨。

可選地，所述自動(dòng)派工每小時(shí)作業(yè)晶圓的生產(chǎn)產(chǎn)能(WPH)分為整機(jī)自動(dòng)派工WPH與腔體自動(dòng)派工WPH。

可選地，當(dāng)需要同步設(shè)備每小時(shí)作業(yè)晶圓的生產(chǎn)產(chǎn)能峰值(PWPH)時(shí)，有腔體的設(shè)備提供腔體對(duì)應(yīng)每小時(shí)作業(yè)晶圓的生產(chǎn)產(chǎn)能峰值(PWPH)，無(wú)腔體的設(shè)備提供整機(jī)對(duì)應(yīng)每小時(shí)作業(yè)晶圓的生產(chǎn)產(chǎn)能峰值(PWPH)。

可選地，所述同步模塊進(jìn)一步包括即時(shí)更新流程的第一單元和到達(dá)時(shí)間頻度更新流程的第二單元。