[發明專利]一種晶圓生產線智能獲取派工WPH的控制系統和方法

在審

• 申請號: 202210108131.6
• 申請日: 2022-01-28
• 公開（公告）號: CN114444948A
• 公開（公告）日: 2022-05-06
• 發明（設計）人: 劉欣欣;張峰;何瑜;劉少貴;程杰
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G06Q10/06
• 分類號: G06Q10/06;G06Q50/04
• 代理公司: 上海思捷知識產權代理有限公司 31295
• 代理人: 鐘玉敏

1.一種晶圓生產線智能獲取派工WPH的控制系統，其特征在于，所述晶圓生產線智能獲取派工WPH的控制系統，包括：

同步模塊，按派工預處理程序要求，從制造執行系統服務器同步設備每小時作業晶圓的生產產能峰值(Peak Wafer Per Hour,PWPH)到派工預處理程序所在制造部服務器，用以自動獲取標準基礎數據；

智能化獲取自動派工每小時作業晶圓的生產產能(WPH)模塊，以自動獲取的設備每小時作業晶圓的生產產能峰值(PWPH)為基礎數據，智能化獲取自動派工每小時作業晶圓的生產產能(WPH)，并進一步包括由控制模塊進行控制的預處理模塊、計算模塊，以及輸出模塊；

應用模塊，對終版自動派工每小時作業晶圓的生產產能(WPH)以可視化界面形式展現，并應用在智能派工Q-time模型中，用以計算下游產能，并根據計算結果判定Q-time起始站點是否放貨。

2.如權利要求1所述晶圓生產線智能獲取派工WPH的控制系統，其特征在于，所述自動派工每小時作業晶圓的生產產能(WPH)分為整機自動派工WPH與腔體自動派工WPH。

3.如權利要求2所述晶圓生產線智能獲取派工WPH的控制系統，其特征在于，當需要同步設備每小時作業晶圓的生產產能峰值(PWPH)時，有腔體的設備提供腔體對應每小時作業晶圓的生產產能峰值(PWPH)，無腔體的設備提供整機對應每小時作業晶圓的生產產能峰值(PWPH)。

4.如權利要求1所述晶圓生產線智能獲取派工WPH的控制系統，其特征在于，所述同步模塊進一步包括即時更新流程的第一單元和到達時間頻度更新流程的第二單元。

5.如權利要求4所述晶圓生產線智能獲取派工WPH的控制系統，其特征在于，所述即時更新流程的第一單元觸發條件包括新增設備，新增生產能力，生產能力變更，設備改善導致每小時作業晶圓的生產產能峰值(PWPH)≥10％，設備有損導致每小時作業晶圓的生產產能峰值(PWPH)≤10％的至少其中之一。

6.如權利要求4所述晶圓生產線智能獲取派工WPH的控制系統，其特征在于，所述到達時間頻度更新流程的第二單元觸發條件為每月固定時間。

7.一種如權利要求1所述晶圓生產線智能獲取派工WPH的控制系統之控制方法，其特征在于，所述線智能獲取派工WPH的控制系統之控制方法，包括：

執行步驟S1：同步模塊按派工預處理程序要求，從制造執行系統服務器同步設備每小時作業晶圓的峰值(Peak Wafer Per Hour,PWPH)生產能力到派工預處理程序所在制造部服務器，用以自動獲取標準基礎數據；

執行步驟S2：智能化獲取自動派工每小時作業晶圓的生產產能(WPH)模塊以自動獲取的設備每小時作業晶圓的生產產能峰值(PWPH)為基礎數據，智能化獲取自動派工每小時作業晶圓的生產產能(WPH)；

執行步驟S3：由控制模塊控制，并通過輸出模塊對經過生產線人員與自動派工人員根據生產線實際情況及產能管控再進行調整的終版自動派工每小時作業晶圓的生產產能(WPH)進行輸出；

執行步驟S4：應用模塊對終版自動派工每小時作業晶圓的生產產能(WPH)以可視化界面形式展現，并應用在智能派工Q-time模型中，用以計算下游產能，并根據計算結果判定Q-time起始站點是否放貨。

8.如權利要求7所述晶圓生產線智能獲取派工WPH的控制系統之控制方法，其特征在于，所述智能化獲取自動派工每小時作業晶圓的生產產能(WPH)，進一步包括：

執行步驟S21：通過預處理模塊篩選設備有效綜合效率(Overall EquipmentEffectiveness,OEE)，篩選有效流程(Flow)，篩選涉及Q-time的生產能力對應道次比值M_i并加權平均道次比值C；

執行步驟S22：根據步驟S21的數據，通過計算模塊進行計算獲得初版自動派工每小時作業晶圓的生產產能(WPH)，生產線人員與自動派工人員根據生產線實際情況及產能管控再進行調整獲得終版自動派工每小時作業晶圓的生產產能(WPH)。