[發(fā)明專利]顯示裝置及其制造方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202210106838.3
• 申請日: 2022-01-28
• 公開（公告）號: CN114843310A
• 公開（公告）日: 2022-08-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 秋秉權(quán);姜勝培;梁熙星;姜奉求;姜泰旭;曹雨辰
• 申請（專利權(quán)）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: H01L27/32
• 分類號: H01L27/32
• 代理公司: 北京銘碩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11286
• 代理人: 習瑞恒;李盛泉

1.一種顯示裝置，包括：

基板；

第一信號線和第二信號線，位于所述基板上；以及

層間絕緣膜，位于所述第一信號線與所述第二信號線之間，

其中，所述層間絕緣膜包括第一部分和第二部分，所述第一部分和所述第二部分的沿與所述基板表面垂直的第一方向從所述基板表面測量的高度不同，

所述層間絕緣膜的所述第一部分的表面是平坦的，所述層間絕緣膜的所述第二部分的表面是平坦的，

所述第一部分的所述高度低于所述第二部分的所述高度，

所述層間絕緣膜具有接觸孔，

所述接觸孔位于所述層間絕緣膜的所述第一部分。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示裝置，其中，

所述層間絕緣膜的所述第一部分與所述第一信號線及所述第二信號線重疊，

所述層間絕緣膜的所述接觸孔使所述第一信號線的一部分暴露。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的顯示裝置，其中，

所述第一部分和所述第二部分通過研磨而形成。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的顯示裝置，其中，

所述層間絕緣膜包括第一層和位于所述第一層上的第二層，

位于所述層間絕緣膜的所述第二部分的所述第二層的一部分的所述高度與位于所述層間絕緣膜的所述第二部分的所述第一層的一部分的所述高度相同。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的顯示裝置，其中，

所述第一層包括硅氮化物，所述第二層包括硅氧化物。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的顯示裝置，其中，還包括：

第一電容器電極和第二電容器電極，將所述層間絕緣膜置于之間而彼此重疊，

其中，所述第一電容器電極和所述第二電容器電極與所述層間絕緣膜的所述第一部分重疊。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的顯示裝置，其中，還包括：

第一層間絕緣膜，位于所述第一信號線和所述第二信號線上；以及

第三信號線，位于所述第一層間絕緣膜上，

其中，所述第一層間絕緣膜包括沿所述第一方向從所述基板表面測量的高度不同的第三部分和第四部分，

所述第一層間絕緣膜的所述第三部分的表面是平坦的，所述第一層間絕緣膜的所述第四部分的表面是平坦的。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的顯示裝置，其中，還包括：

第二層間絕緣膜，位于所述第三信號線上，

其中，所述第二層間絕緣膜包括沿所述第一方向從所述基板表面測量的高度不同的第五部分和第六部分，

所述第二層間絕緣膜的所述第五部分的表面是平坦的，所述第二層間絕緣膜的所述第六部分的表面是平坦的。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示裝置，其中，還包括：

第一電容器電極和第二電容器電極，將所述層間絕緣膜置于之間而彼此重疊，

其中，所述第一電容器電極和所述第二電容器電極與所述層間絕緣膜的所述第一部分重疊。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的顯示裝置，其中，還包括：

第一層間絕緣膜，位于所述第一信號線和所述第二信號線上；以及

第三信號線，位于所述第一層間絕緣膜上，

其中，所述第一層間絕緣膜包括沿所述第一方向從所述基板表面測量的高度不同的第三部分和第四部分，

所述第一層間絕緣膜的所述第三部分的表面是平坦的，所述第一層間絕緣膜的所述第四部分的表面是平坦的。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的顯示裝置，其中，還包括：

第二層間絕緣膜，位于所述第三信號線上，

其中，所述第二層間絕緣膜包括沿所述第一方向從所述基板表面測量的高度不同的第五部分和第六部分，

所述第二層間絕緣膜的所述第五部分的表面是平坦的，所述第二層間絕緣膜的所述第六部分的表面是平坦的。