[發明專利]具有調整功能的鍵合機臺

在審

• 申請號: 202210101279.7
• 申請日: 2022-01-27
• 公開（公告）號: CN116564870A
• 公開（公告）日: 2023-08-08
• 發明（設計）人: 林俊成;張容華;張茂展
• 申請（專利權）人: 天虹科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68;H01L21/58
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司 11139
• 代理人: 孫皓晨

1.一種具有調整功能的鍵合機臺，其特征在于，包括：

一第一腔體；

一第二腔體，面對該第一腔體，其中該第一腔體用以連接該第二腔體，并于該第一腔體及該第二腔體之間形成一密閉空間；

一壓合單元，連接該第一腔體；

一載臺，連接該第二腔體，并包括一承載面朝向該壓合單元，其中該承載面用以承載層疊的一第一基板及一第二基板；及

復數個水平調整單元，設置在該第一腔體上，并包括一調整桿，其中該調整桿穿過該第一腔體，并連接該壓合單元，而部分的該調整桿位于該密閉空間外部，并在該第一腔體上形成一調整部。

2.根據權利要求1所述的具有調整功能的鍵合機臺，其特征在于，其中該水平調整單元包括一吊掛桿，該吊掛桿連接該壓合單元。

3.根據權利要求2所述的具有調整功能的鍵合機臺，其特征在于，其中該水平調整單元包括一殼體，連接并固定在該第一腔體上，而該調整桿及該吊掛桿則穿過該殼體及該第一腔體，并連接該壓合單元。

4.根據權利要求3所述的具有調整功能的鍵合機臺，其特征在于，其中該調整桿及該吊掛桿分別經由一軸封單元連接該殼體。

5.根據權利要求1所述的具有調整功能的鍵合機臺，其特征在于，其中該調整桿包括一連接部及一第一彈性部，該連接部的一端連接該壓合單元，而該連接部的另一端則經由該第一彈性部連接該調整部。

6.根據權利要求2所述的具有調整功能的鍵合機臺，其特征在于，包括一第一套管套設在該第一彈性部的外部，該第一套管的一端連接該壓合單元。

7.根據權利要求1所述的具有調整功能的鍵合機臺，其特征在于，包括一壓合單元驅動器連接該壓合單元，用以驅動該壓合單元靠近或遠離該載臺，并以該壓合單元壓合該載臺承載的該第一基板及該第二基板。

8.根據權利要求7所述的具有調整功能的鍵合機臺，其特征在于，包括一腔體驅動器連接該第一腔體，用以驅動該第一腔體靠近或遠離該第二腔體，使得該第一腔體連接該第二腔體，以在兩者之間形成該密閉空間。

9.根據權利要求1所述的具有調整功能的鍵合機臺，其特征在于，包括一抽氣馬達流體連接該密閉空間，并用以抽出該密閉空間內的氣體。

10.根據權利要求1所述的具有調整功能的鍵合機臺，其特征在于，包括復數個對準單元設置在該載臺上，并用以對準放置在該載臺上的該第一基板及該第二基板。