[發明專利]一種光譜共焦檢測方法、裝置及電子設備

在審

• 申請號: 202210099456.2
• 申請日: 2022-01-27
• 公開（公告）號: CN114485422A
• 公開（公告）日: 2022-05-13
• 發明（設計）人: 蘇勝飛;楊灝;金少鋒
• 申請（專利權）人: 深圳市深視智能科技有限公司
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02;G01B11/06;G01B11/30
• 代理公司: 深圳市六加知識產權代理有限公司 44372
• 代理人: 許銓芬

本發明實施例涉及光學設備技術領域，公開了一種光譜共焦檢測方法、裝置及電子設備,所述方法運行于光譜共焦檢測設備中，所述光譜共焦檢測設備至少包括檢測平臺、光源、光纖組件、光譜儀、鏡頭組件、控制組件以及驅動組件，所述方法包括：啟動所述光譜共焦檢測設備，在所述控制組件中設置檢測維度、檢測類型以及檢測參數；校準所述光譜共焦檢測設備；驅動所述鏡頭組件運動以對待檢測物進行掃描采樣，得到全部采樣數據；根據所述全部采樣數據，分析檢測結果。通過上述方式，本發明實施例能夠直接對待檢測物進行掃描采樣，不需要在檢測過程中人工移動待檢測物的位置，提高檢測效率以及減小檢測結果的誤差。

技術領域

本發明實施例涉及光學設備技術領域，特別是涉及一種光譜共焦檢測方法、裝置及電子設備。

背景技術

光譜共焦測量技術的工作原理為由白光光源發射出一束寬光譜的復色光，通過色散鏡頭發生光譜色散，其中只存在某一特定波長的單色光聚焦在被測物體表面，并同時反射回光學系統。經過光譜分析得到該單色光的波長值，由波長值可換算出被測物體的距離值。光譜共焦傳感器具有分辨率高、測量角度大、背影干擾小的特點，因此在光譜共焦測量中被優先使用。

發明人在實施本發明實施例的過程中發現：目前，市面上存在的光譜共焦傳感器大部分是點光譜共焦傳感器，當需要對一整個物體表面進行高度測量時，需要平移樣品來實現表面的測量，具有一定的不方便性。

發明內容

本發明實施例主要解決的技術問題是提供一種光譜共焦檢測方法、裝置及電子設備，能夠直接對待檢測物進行掃描采樣，不需要在檢測過程中人工移動待檢測物的位置，提高檢測效率以及減小檢測結果的誤差。

為解決上述技術問題，本發明實施例采用的一個技術方案是：提供一種光譜共焦檢測方法，所述方法運行于光譜共焦檢測設備中，所述光譜共焦檢測設備至少包括檢測平臺、光源、光纖組件、光譜儀、鏡頭組件、控制組件以及驅動組件，所述檢測平臺用于放置待檢測物，所述檢測平臺的中心為基準原點，所述光纖組件用于接收所述光源發出的光以及所述待檢測物反射的光，所述光譜儀與所述光纖組件連接，所述光譜儀用于分析所述待檢測物反射的光，所述驅動組件分別與所述控制組件和所述鏡頭組件連接，所述控制組件用于控制所述驅動組件運動，以驅動所述鏡頭組件對所述待檢測物進行掃描采樣，所述方法包括：啟動所述光譜共焦檢測設備，在所述控制組件中設置檢測維度、檢測類型以及檢測參數；校準所述光譜共焦檢測設備；驅動所述鏡頭組件運動以對待檢測物進行掃描采樣，得到全部采樣數據；根據所述全部采樣數據，分析檢測結果。

可選地，所述校準所述光譜共焦檢測設備的步驟，進一步包括：獲取檢測指令；根據所述檢測指令，判斷所述驅動組件是否正常；若所述驅動組件正常，則判斷所述鏡頭組件是否正常；若所述鏡頭組件正常，則確認所述光譜共焦檢測設備校準完成；若所述鏡頭組件不正常，則確認所述光譜共焦檢測設備校準失敗，并發出警報；若所述驅動組件不正常，則確認所述光譜共焦檢測設備校準失敗，并發出警報。

可選地，所述驅動所述鏡頭組件運動以對待檢測物進行掃描采樣，得到全部采樣數據的步驟，進一步包括：控制所述驅動組件驅動所述鏡頭組件運動，使得從所述鏡頭組件出射的光斑沿X軸方向對所述待檢測物進行掃描采樣，得到若干第一采樣數據；完成一次沿X軸方向的掃描采樣后，控制所述驅動組件驅動所述鏡頭組件運動，使得從所述鏡頭組件出射的光斑沿Y軸方向運動第一預設距離；重復上述步驟，直至對所述待檢測物完成X軸方向和Y軸方向的掃描采樣，匯集所述若干第一采樣數據，得到全部采樣數據。

可選地，所述根據所述全部采樣數據，分析檢測結果的步驟，進一步包括：獲取與第一采樣數據相對應的光譜；識別所述光譜的峰值；根據所述峰值，計算所述第一采樣數據的參數；根據所述參數，分析所述待檢測物的結果。