[發明專利]一種光譜共焦檢測方法、裝置及電子設備

在審

• 申請號: 202210099456.2
• 申請日: 2022-01-27
• 公開（公告）號: CN114485422A
• 公開（公告）日: 2022-05-13
• 發明（設計）人: 蘇勝飛;楊灝;金少鋒
• 申請（專利權）人: 深圳市深視智能科技有限公司
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02;G01B11/06;G01B11/30
• 代理公司: 深圳市六加知識產權代理有限公司 44372
• 代理人: 許銓芬

1.一種光譜共焦檢測方法，其特征在于，所述方法運行于光譜共焦檢測設備中，所述光譜共焦檢測設備至少包括檢測平臺、光源、光纖組件、光譜儀、鏡頭組件、控制組件以及驅動組件，所述檢測平臺用于放置待檢測物，所述檢測平臺的中心為基準原點，所述光纖組件用于接收所述光源發出的光以及所述待檢測物反射的光，所述光譜儀與所述光纖組件連接，所述光譜儀用于分析所述待檢測物反射的光，所述驅動組件分別與所述控制組件和所述鏡頭組件連接，所述控制組件用于控制所述驅動組件運動，以驅動所述鏡頭組件對所述待檢測物進行掃描采樣，所述方法包括：

啟動所述光譜共焦檢測設備，在所述控制組件中設置檢測維度、檢測類型以及檢測參數；

校準所述光譜共焦檢測設備；

驅動所述鏡頭組件運動以對待檢測物進行掃描采樣，得到全部采樣數據；

根據所述全部采樣數據，分析檢測結果。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述校準所述光譜共焦檢測設備的步驟，進一步包括：

獲取檢測指令；

根據所述檢測指令，判斷所述驅動組件是否正常；

若所述驅動組件正常，則判斷所述鏡頭組件是否正常；

若所述鏡頭組件正常，則確認所述光譜共焦檢測設備校準完成；

若所述鏡頭組件不正常，則確認所述光譜共焦檢測設備校準失敗，并發出警報；

若所述驅動組件不正常，則確認所述光譜共焦檢測設備校準失敗，并發出警報。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述驅動所述鏡頭組件運動以對待檢測物進行掃描采樣，得到全部采樣數據的步驟，進一步包括：

控制所述驅動組件驅動所述鏡頭組件運動，使得從所述鏡頭組件出射的光斑沿X軸方向對所述待檢測物進行掃描采樣，得到若干第一采樣數據；

完成一次沿X軸方向的掃描采樣后，控制所述驅動組件驅動所述鏡頭組件運動，使得從所述鏡頭組件出射的光斑沿Y軸方向運動第一預設距離；

重復上述步驟，直至對所述待檢測物完成X軸方向和Y軸方向的掃描采樣，匯集所述若干第一采樣數據，得到全部采樣數據。

4.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，所述根據所述全部采樣數據，分析檢測結果的步驟，進一步包括：

獲取與第一采樣數據相對應的光譜；

識別所述光譜的峰值；

根據所述峰值，計算所述第一采樣數據的參數；

根據所述參數，分析所述待檢測物的結果。

5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，在所述驅動所述鏡頭組件運動以對待檢測物進行掃描采樣，得到全部采樣數據的步驟之前，所述方法還包括：

控制所述驅動組件驅動所述鏡頭組件運動，使得從所述鏡頭組件出射的光斑從所述基準原點沿X軸正方向，對所述待檢測物進行掃描采樣，以識別所述待檢測物的第一邊緣點；

計算所述基準原點與所述第一邊緣點的距離，得到當前距離；

控制所述驅動組件以所述基準原點為圓心，所述當前距離為半徑，驅動所述鏡頭組件的出射光斑圓周運動；

判斷所述出射光斑圓周運動過程中是否存在下一邊緣點；

若存在；則控制所述驅動組件驅動所述鏡頭組件運動，以使得所述出射光斑向外運動第二預設距離，更新當前距離并且返回所述控制所述驅動組件以所述基準原點為圓心，所述當前距離為半徑，驅動所述鏡頭組件的出射光斑圓周運動的步驟；

若不存在，則確定以所述基準原點為圓心，所述當前距離為半徑的圓為所述待檢測物的初步輪廓范圍。

6.根據權利要求1或5所述的方法，其特征在于，

所述檢測維度至少包括二維輪廓和三維形貌；

所述檢測類型至少包括檢測長度、高度差以及粗糙度。

7.根據權利要求1或5所述的方法，其特征在于，

所述檢測參數至少包括檢測精度、第一預設距離以及第二預設距離。