[發(fā)明專利]組合測量儀、校準(zhǔn)裝置及蒸鍍系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210095822.7
• 申請日: 2022-01-26
• 公開（公告）號: CN114481037A
• 公開（公告）日: 2022-05-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 侯佳森;劉全寶;趙姍
• 申請（專利權(quán)）人: 合肥維信諾科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/54
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 楊文娟;臧建明

本申請?zhí)峁┮环N組合測量儀、校準(zhǔn)裝置及蒸鍍系統(tǒng)，涉及蒸鍍技術(shù)領(lǐng)域，用于解決現(xiàn)有的校準(zhǔn)裝置校準(zhǔn)效率低的技術(shù)問題，該組合測量儀包括水平桿、探針和固定桿；固定桿沿垂向布置，固定桿的一端插裝在蒸鍍腔室的底壁中心孔內(nèi)，固定桿的另一端與水平桿連接，水平桿能夠水平轉(zhuǎn)動；探針的一端連接在水平桿上，探針相對水平桿在水平方向及垂向上位置可調(diào)，固定桿與探針之間的水平距離設(shè)定為蒸鍍時蒸發(fā)源蓋子的中心與中心孔之間的預(yù)設(shè)水平距離；探針的底端用于與蒸發(fā)源蓋子的頂面接觸，探針的底端相對蒸鍍腔室的底壁高度設(shè)定為符合蒸鍍時蒸發(fā)源蓋子與待蒸鍍基板之間的預(yù)設(shè)高度所對應(yīng)的高度。本申請?zhí)峁┑慕M合測量儀用于對蒸發(fā)源蓋子進(jìn)行快速校準(zhǔn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請涉及蒸鍍技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種組合測量儀、校準(zhǔn)裝置及蒸鍍系統(tǒng)。

背景技術(shù)

在顯示器件的制作過程中，通常采用蒸發(fā)鍍膜工藝在待蒸鍍基板上形成膜層；蒸發(fā)鍍膜工藝的原理是將蒸鍍材料放置于蒸鍍裝置的蒸發(fā)源中加熱蒸發(fā)，形成的蒸鍍材料的氣體分子沉積到待蒸鍍基板上形成膜層。

為了保證蒸鍍效果，例如成膜均一性；蒸鍍時蒸發(fā)源蓋子蓋設(shè)在蒸發(fā)源上，對于蒸發(fā)源蓋子與蒸鍍腔室的底壁中心的水平距離、蒸發(fā)源蓋子與待蒸鍍基板之間的高度具有嚴(yán)格的要求。因此，在進(jìn)行蒸鍍前通常需對蒸發(fā)源蓋子的位置進(jìn)行校準(zhǔn)；然而利用現(xiàn)有的校準(zhǔn)裝置對蒸發(fā)源蓋子的位置進(jìn)行校準(zhǔn)時，其校準(zhǔn)效率低。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于上述問題，本申請實(shí)施例提供一種組合測量儀、校準(zhǔn)裝置及蒸鍍系統(tǒng)，能夠提升對蒸發(fā)源蓋子的校準(zhǔn)效率。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本申請實(shí)施例提供如下技術(shù)方案：

本申請實(shí)施例第一方面提供了一種組合測量儀，用于校準(zhǔn)蒸發(fā)源蓋子在所述蒸鍍腔室內(nèi)的位置，其中所述蒸發(fā)源蓋子蓋設(shè)在蒸發(fā)源上，所述組合測量儀包括水平桿以及分別設(shè)置在所述水平桿的兩端的探針和固定桿；其中，所述固定桿沿垂向布置，所述固定桿遠(yuǎn)離所述水平桿的一端插裝在所述蒸鍍腔室的底壁中心孔內(nèi)，所述固定桿的另一端與所述水平桿連接，且所述水平桿能夠相對所述蒸鍍腔室的底壁水平轉(zhuǎn)動；所述探針沿垂向布置，所述探針的一端連接在所述水平桿上，所述探針相對所述水平桿在水平方向及垂向上位置可調(diào)，所述固定桿之間的水平距離設(shè)定為蒸鍍時所述蒸發(fā)源蓋子的中心與蒸鍍腔室的底壁中心孔之間的預(yù)設(shè)水平距離；所述探針的底端用于與蒸發(fā)源蓋子的頂面接觸，所述探針的底端相對所述蒸鍍腔室的底壁高度設(shè)定為符合蒸鍍時所述蒸發(fā)源蓋子與所述蒸鍍腔室的底壁之間的預(yù)設(shè)高度所對應(yīng)的高度。

在一種可選的實(shí)施例中，所述水平桿與所述固定桿活動連接，且所述水平桿在所述固定桿上的安裝高度可調(diào)。

在一種可選的實(shí)施例中，所述水平桿用于測量所述探針與所述固定桿之間的水平距離，并且所述水平桿沿其延伸方向設(shè)置有刻度，所述探針用于測量所述蒸發(fā)源蓋子與所述水平桿之間的高度，且所述探針沿其延伸方向設(shè)置有刻度；所述固定桿用于測量所述水平桿與所述蒸鍍腔室的底壁之間的高度，且所述固定桿沿其延伸方向設(shè)置有刻度。

在一種可選的實(shí)施例中，所述水平桿的第一端設(shè)置有開口槽，所述開口槽的開口大小可調(diào)；所述固定桿夾設(shè)在所述開口槽內(nèi)。

在一種可選的實(shí)施例中，所述開口槽的長度方向與所述水平桿的延伸方向一致；所述開口槽設(shè)置有緊固螺栓，用于調(diào)整所述開口槽的開口大小。

在一種可選的實(shí)施例中，所述組合測量儀還包括高度可調(diào)的伸縮支腳；所述伸縮支腳安裝在所述蒸鍍腔室的底壁上，所述伸縮支腳位于所述探針和所述固定桿之間，且所述伸縮支腳的頂端與所述水平桿抵接。

在一種可選的實(shí)施例中，所述水平桿的第二端設(shè)置有水平移動孔，所述水平移動孔與所述探針間隙配合，所述探針插裝在所述水平移動孔內(nèi)。

本申請實(shí)施例第二方面提供了一種校準(zhǔn)裝置，包括水平儀和第一方面所述的組合測量儀，所述水平儀設(shè)置在所述組合測量儀的水平桿的上表面上。