[發明專利]組合測量儀、校準裝置及蒸鍍系統

在審

• 申請號: 202210095822.7
• 申請日: 2022-01-26
• 公開（公告）號: CN114481037A
• 公開（公告）日: 2022-05-13
• 發明（設計）人: 侯佳森;劉全寶;趙姍
• 申請（專利權）人: 合肥維信諾科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/54
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 楊文娟;臧建明

1.一種組合測量儀，用于校準蒸發源蓋子在蒸鍍腔室內的位置，其中所述蒸發源蓋子蓋設在蒸發源上，其特征在于，

所述組合測量儀包括水平桿以及設置在所述水平桿的兩端的探針和固定桿；

所述固定桿沿垂向布置，所述固定桿遠離所述水平桿的一端插裝在所述蒸鍍腔室的底壁中心孔內，所述固定桿的另一端與所述水平桿連接，且所述水平桿能夠相對所述蒸鍍腔室的底壁水平轉動；

所述探針沿垂向布置，所述探針的一端連接在所述水平桿上，所述探針相對所述水平桿在水平方向及垂向上位置可調；所述固定桿與所述探針之間的水平距離設定為蒸鍍時所述蒸發源蓋子的中心與所述蒸鍍腔室的底壁中心孔之間的預設水平距離；

所述探針的底端用于與所述蒸發源蓋子的頂面接觸，所述探針的底端相對所述蒸鍍腔室的底壁高度設定為符合蒸鍍時所述蒸發源蓋子與所述蒸鍍腔室的底壁之間的預設高度所對應的高度。

2.根據權利要求1所述的組合測量儀，其特征在于，所述水平桿與所述固定桿活動連接，且所述水平桿在所述固定桿上的安裝高度可調。

3.根據權利要求2所述的組合測量儀，其特征在于，所述水平桿用于測量所述探針與所述固定桿之間的水平距離，并且所述水平桿沿其延伸方向設置有刻度；

所述探針用于測量所述蒸發源蓋子的中心與所述水平桿之間的高度，且所述探針沿其延伸方向設置有刻度；

所述固定桿用于測量所述水平桿與所述蒸鍍腔室的底壁之間的高度，且所述固定桿沿其延伸方向設置有刻度。

4.根據權利要求2所述的組合測量儀，其特征在于，所述水平桿的第一端設置有開口槽，所述開口槽的開口大小可調，所述固定桿夾設在所述開口槽內；

優選地，所述開口槽的長度方向與所述水平桿的延伸方向一致；

所述開口槽設置有緊固螺栓，用于調整所述開口槽的開口大小。

5.根據權利要求2所述的組合測量儀，其特征在于，所述組合測量儀還包括高度可調的伸縮支腳；

所述伸縮支腳安裝在所述蒸鍍腔室的底壁上，所述伸縮支腳位于所述探針和所述固定桿之間，且所述伸縮支腳的頂端與所述水平桿抵接。

6.根據權利要求1所述的組合測量儀，其特征在于，所述水平桿的第二端設置有水平移動孔；

所述水平移動孔與所述探針間隙配合，所述探針插裝在所述水平移動孔內。

7.一種校準裝置，其特征在于，包括水平儀以及權利要求1至6中任一項所述的組合測量儀；

所述水平儀設置在所述組合測量儀的水平桿的上表面上。

8.根據權利要求7所述的校準裝置，其特征在于，所述校準裝置還包括蒸發源蓋子；

所述蒸發源蓋子為圓形蓋，所述蒸發源蓋子沿其徑向設置有多條刻度線，各所述刻度線均過所述蒸發源蓋子的中心。

9.根據權利要求8所述的校準裝置，其特征在于，所述校準裝置還包括激光定位器；

所述激光定位器包括激光發射管及安裝架，所述安裝架固定在蒸鍍腔室的內壁上，所述激光發射管設置在所述安裝架上；

所述激光發射管射出的激光照射至所述蒸發源蓋子的上表面，并形成光斑；

所述組合測量儀根據所述光斑與所述蒸發源蓋子的中心之間的位置偏差，調整所述蒸發源蓋子的高度和/或水平位置；

優選地，所述蒸鍍腔室的內壁設置有水晶振蕩器，所述水晶振蕩器安裝在所述蒸鍍腔室的內壁上，所述水晶振蕩器包括晶振本體及多個晶振片，所述安裝架安裝在所述晶振本體上；

所述激光發射管覆蓋其中一個所述晶振片，且所述激光發射管射出的激光的傳輸方向垂直于所述晶振本體，并在所述蒸發源蓋子上形成所述光斑。

10.一種蒸鍍系統，其特征在于，包括蒸鍍腔室及設置在所述蒸鍍腔室內的蒸鍍裝置及權利要求7至9中任一項所述的校準裝置；

所述蒸鍍裝置包括承載背板及承載臺，所述承載背板與所述蒸鍍腔室的頂部轉動連接；

所述承載臺位于所述承載背板的下方，所述承載臺設置有多個點源蒸發源，多個點源蒸發源沿所述承載臺的周向等間隔分布。