[發明專利]用于電弧蒸發裝置的陰極弧蒸發源以及電弧蒸發裝置在審
| 申請號： | 202210093594.X | 申請日： | 2022-01-26 |
| 公開（公告）號： | CN114411101A | 公開（公告）日： | 2022-04-29 |
| 發明（設計）人： | 溫振偉;沈學忠;朱國朝;李慶超;賀林青;朗清凱 | 申請（專利權）人： | 納獅新材料有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/32 | 分類號： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287 | 代理人： | 林斯凱 |
| 地址： | 314200 浙江省嘉興市*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 電弧 蒸發 裝置 陰極 以及 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于電弧蒸發裝置的陰極弧蒸發源，其特征在于，包括：
靶材，其中所述靶材的表面包括凹槽結構，所述凹槽結構經配置以限制陰極弧弧斑的移動并限制陰極弧弧斑產生的液滴逸出所述靶材的表面。
2.如權利要求1所述的陰極弧蒸發源，其特征在于，所述凹槽結構包括U型槽。
3.如權利要求2所述的陰極弧蒸發源，其特征在于，所述U型槽在所述靶材的表面形成封閉圓環。
4.如權利要求2所述的陰極弧蒸發源，其特征在于，所述U型槽的數量為多個，多個所述U型槽在所述靶材的表面形成同心圓。
5.如權利要求4所述的陰極弧蒸發源，其特征在于，所述U型槽的深度占所述陰極弧蒸發源的厚度的1/4到2/3。
6.如權利要求5所述的陰極弧蒸發源，其特征在于，所述U型槽的深度占所述陰極弧蒸發源的厚度的一半。
7.如權利要求4所述的陰極弧蒸發源，其特征在于，所述U型槽的寬度與深度比在1/2到3/2的范圍。
8.如權利要求4所述的陰極弧蒸發源，其特征在于，相鄰兩個所述U型槽的間距和所述U型槽的寬度比在1/2到3/2的范圍。.
9.如權利要求4所述的陰極弧蒸發源，其特征在于，相鄰兩個U型槽的間距和U型槽的寬度的和小于陰極弧蒸發源的直徑的一半。
10.一種電弧蒸發裝置，其特征在于，包括如權利要求1-9所述的陰極弧蒸發源。
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