[發明專利]方便取放晶粒的半導體晶片高效封裝設備在審
| 申請號: | 202210086787.2 | 申請日: | 2022-01-25 |
| 公開(公告)號: | CN114566446A | 公開(公告)日: | 2022-05-31 |
| 發明(設計)人: | 洪鴻 | 申請(專利權)人: | 洪鴻 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 杭州寒武紀知識產權代理有限公司 33271 | 代理人: | 殷篩網 |
| 地址: | 247100 安徽省蚌*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 方便 晶粒 半導體 晶片 高效 封裝 設備 | ||
1.方便取放晶粒的半導體晶片高效封裝設備,其特征在于,包括
箱體(100),所述箱體(100)內滑動設置有底座(110);
升降機構(300),所述升降機構(300)安裝在所述箱體(100)內,所述升降機構(300)的升降端與所述底座(110)連接;
旋轉組件(500),所述旋轉組件(500)包括轉臺(510)和第二電機(530),所述轉臺(510)轉動安裝在所述底座(110)上表面,所述第二電機(530)與所述底座(110)固定連接,所述第二電機(530)的驅動軸與所述轉臺(510)傳動連接,所述轉臺(510)上表面安裝有定位柱(511)。
2.根據權利要求1所述的方便取放晶粒的半導體晶片高效封裝設備,其特征在于,所述箱體(100)頂部設置有輸送軌道(130),所述箱體(100)頂部的兩側均固定連接有支撐架(101),所述輸送軌道(130)的兩端與所述支撐架(101)固定連接。
3.根據權利要求2所述的方便取放晶粒的半導體晶片高效封裝設備,其特征在于,兩個所述支撐架(101)相對的一側固定連接有固定卡扣(103),所述輸送軌道(130)的兩端分別與相對應的所述固定卡扣(103)卡接固定。
4.根據權利要求1所述的方便取放晶粒的半導體晶片高效封裝設備,其特征在于,所述箱體(100)內壁開設有滑槽,所述底座(110)側壁固定有與所述滑槽相匹配的凸起,該凸起與所述滑槽滑動接觸。
5.根據權利要求1所述的方便取放晶粒的半導體晶片高效封裝設備,其特征在于,所述底座(110)表面開設有限位孔(111),兩個所述限位孔(111)對稱設置在所述底座(110)的兩端,所述限位孔(111)內滑動插接有滑桿(113),所述滑桿(113)下端與所述箱體(100)固定連接。
6.根據權利要求1所述的方便取放晶粒的半導體晶片高效封裝設備,其特征在于,所述箱體(100)的兩側分別固定有把手(105),所述箱體(100)下表面貼合有防滑墊(107)。
7.根據權利要求1所述的方便取放晶粒的半導體晶片高效封裝設備,其特征在于,所述箱體(100)的兩側下端分別固定有安裝耳(109),所述底座(110)的上表面延伸至所述箱體(100)的外部。
8.根據權利要求1所述的方便取放晶粒的半導體晶片高效封裝設備,其特征在于,所述升降機構(300)包括螺桿(310)、第一電機(330)和推桿(350),所述螺桿(310)表面螺紋連接有螺紋套(311),所述推桿(350)的上端與所述底座(110)下表面鉸接,所述推桿(350)下端與所述螺紋套(311)鉸接;
所述螺桿(310)轉動安裝在所述箱體(100)底部,所述第一電機(330)固定安裝在所述箱體(100)底部,所述第一電機(330)的驅動軸與所述螺桿(310)的一端固定連接。
9.根據權利要求8所述的方便取放晶粒的半導體晶片高效封裝設備,其特征在于,所述螺桿(310)為雙頭螺桿,所述雙頭螺桿為兩端螺紋方向相反的螺紋柱,所述螺紋套(311)設置有兩個,且兩個所述螺紋套(311)對稱設置在所述雙頭螺桿的兩端。
10.根據權利要求9所述的方便取放晶粒的半導體晶片高效封裝設備,其特征在于,所述推桿(350)上端固定有銷軸,所述底座(110)底部固定有滑套,所述銷軸轉動插接在所述滑套內,所述推桿(350)下端通過銷釘與所述螺紋套(311)轉動連接。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





