[發(fā)明專利]CsPbBr3

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210086516.7
• 申請(qǐng)日: 2022-01-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN114447153A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-05-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李林;公維強(qiáng);閆珺
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 哈爾濱師范大學(xué)
• 主分類號(hào): H01L31/18
• 分類號(hào): H01L31/18;H01L31/032;H01L31/0352;H01L31/09
• 代理公司: 北京酷愛(ài)智慧知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11514
• 代理人: 劉志剛

1.CsPbBr₃:ZnO QDs基MSM結(jié)構(gòu)探測(cè)器的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

S1、清洗襯底：將襯底切割成預(yù)設(shè)形狀和大小，清洗并吹干后待用；

S2、制備電極：在步驟S1處理后的襯底上制備多對(duì)叉指電極；

S3、制備CsPbBr₃鈣鈦礦前體溶液：取CsBr與PbBr₂粉末混合后，加入到二甲基亞砜溶液中，配置成CsPbBr₃鈣鈦礦前體溶液；

S4、制備ZnO QDs溶液：取二水合乙酸鋅溶于無(wú)水乙醇中，待二水合乙酸鋅溶解后加入氫氧化鉀乙醇溶液并攪拌后倒出，再加入過(guò)量正己烷，靜置50～60分鐘，離心分離出沉淀物ZnO粉末，將該ZnO粉末溶解在無(wú)水乙醇中，配置成ZnO QDs溶液；

S5、制備CsPbBr₃:ZnO QDs混合溶液：將步驟S3和步驟S4獲得的CsPbBr₃鈣鈦礦溶液以及ZnO QDs溶液按體積比100：5～10混合，配置成CsPbBr₃:ZnO QDs混合溶液；

S6、制備光電探測(cè)器：對(duì)步驟S2獲得的具有叉指電極的襯底進(jìn)行紫外臭氧處理，處理后，將步驟S5獲得的CsPbBr₃:ZnO QDs混合溶液旋涂在襯底上并退火處理，獲得CsPbBr₃:ZnOQDs基MSM結(jié)構(gòu)的光電探測(cè)器。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的CsPbBr₃:ZnO QDs基MSM結(jié)構(gòu)探測(cè)器的制備方法，其特征在于，所述叉指電極為對(duì)稱叉指電極或非對(duì)稱叉指電極。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的CsPbBr₃:ZnO QDs基MSM結(jié)構(gòu)探測(cè)器的制備方法，其特征在于，所述襯底為高透雙拋藍(lán)寶石襯底。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的CsPbBr₃:ZnO QDs基MSM結(jié)構(gòu)探測(cè)器的制備方法，其特征在于，所述步驟S1具體為，

S11、將高透雙拋藍(lán)寶石襯底切割成1.5cm×1.5cm大小的正方形；

S12、將切割好的藍(lán)寶石襯底依次使用丙酮、酒精、去離子水各超聲清洗15min；

S13、采用高純氮?dú)鈱⑶逑春玫囊r底吹干。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的CsPbBr₃:ZnO QDs基MSM結(jié)構(gòu)探測(cè)器的制備方法，其特征在于，所述步驟S2具體為，

S21、在處理好后的襯底上旋涂一層紫外光刻膠，然后將旋涂有紫外光刻膠的襯底置于100℃熱盤上退火處理1min，將紫外光刻膠烘干；

S22、將制備好叉指電極圖形的光刻板經(jīng)紫外燈光曝光10s以后轉(zhuǎn)移到旋涂有紫外光刻膠的襯底上，所述叉指電極為12對(duì)；

S23、通過(guò)濕法剝離技術(shù)將曝光后的襯底浸泡在顯影液中顯影6s，獲取所需要叉指電極圖形，再迅速轉(zhuǎn)移到去離子水中以清洗掉殘留顯影液，然后將處理好的襯底用高純氮?dú)獯蹈珊蟠茫?/p>

S24、將光刻好的襯底放置在離子濺射儀中，濺射上一層50nm厚的Au電極；

S24、將濺射后的襯底浸泡在裝有丙酮的燒杯中，超聲清洗后形成所述叉指電極。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的CsPbBr₃:ZnO QDs基MSM結(jié)構(gòu)探測(cè)器的制備方法，其特征在于，所述對(duì)稱叉指電極的指寬均為5μm，兩指寬之間的道寬為10μm，長(zhǎng)度為500μm。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的CsPbBr₃:ZnO QDs基MSM結(jié)構(gòu)探測(cè)器的制備方法，其特征在于，所述非對(duì)稱叉指電極包括成對(duì)設(shè)置的第一電極和第二電極，第一電極的指寬為5μm，第二電極的指寬為50μm，第一電極與第二電極之間的道寬為10μm，第一電極與第二電極的長(zhǎng)度為500μm。