[發明專利]薄膜電路外觀檢測設備和薄膜電路外觀檢測結構

有效

• 申請號: 202210085319.3
• 申請日: 2022-01-25
• 公開（公告）號: CN114441532B
• 公開（公告）日: 2022-12-06
• 發明（設計）人: 覃楊;鄒巍
• 申請（專利權）人: 廣州諾頂智能科技有限公司
• 主分類號: G01N21/84
• 分類號: G01N21/84;G01N21/01
• 代理公司: 廣州駿思知識產權代理有限公司 44425
• 代理人: 潘桂生

本發明提供薄膜電路外觀檢測設備和薄膜電路外觀檢測結構，薄膜電路外觀檢測裝置包括底座、面板、負壓裝置、光源和外觀檢測機構；底座設置有第一安裝槽；面板設置于底座上方，并與第一安裝槽圍合形成一密閉腔體；面板包括透光面板以及環狀設置于透光面板邊緣外的真空面板；真空面板貫穿開設有若干吸附孔，若干吸附孔沿真空面板周向排布，且每一吸附孔均與密閉腔體相連通；負壓裝置與密閉腔體相連通；光源以及外觀檢測機構分別設置于透光面板的兩側；薄膜電路置于面板遠離底座的一面，并蓋設于吸附孔的上方。薄膜電路可被平整展開，且光源可為薄膜電路補光，外觀檢測機構可得到更清晰的圖像。

技術領域

本發明屬薄膜電路檢測技術領域，具體涉及一種薄膜電路外觀檢測設備和薄膜電路外觀檢測結構。

背景技術

薄膜電路是將整個電路的晶體管、二極管、電阻、電容和電感等元件以及它們之間的互連引線，全部用厚度在1微米以下的金屬、半導體、金屬氧化物、多種金屬混合相、合金或絕緣介質薄膜，并通過真空蒸發、濺射和電鍍等工藝制成的集成電路。薄膜電路制備完成后需要進行視覺檢測，用于檢測薄膜電路的裝置通常包括真空吸附板，真空吸附板上開設有大量矩陣排列的微小孔洞，在真空吸附板下方設置有負壓裝置，在負壓作用下，通過微小孔洞將薄膜電路吸附于真空吸附板上方。由于真空吸附板是采用不透明的金屬材料制成，因此無法在真空吸附板背面打光以提高檢測時薄膜電路的亮度。

發明內容

本發明的目的在于克服現有技術中的缺點與不足，提供一種薄膜電路外觀檢測設備，薄膜電路可被平整展開，且光源可為薄膜電路補光，外觀檢測機構可得到更清晰的圖像。

本發明是通過以下技術方案實現的：

一種薄膜電路外觀檢測裝置，包括底座、面板、負壓裝置、光源和外觀檢測機構；

所述底座開設有第一安裝槽；

所述面板設置于所述底座上方，并與所述第一安裝槽圍合形成一密閉腔體；

所述面板包括透光面板以及環狀設置于所述透光面板邊緣外的真空面板；

所述真空面板貫穿開設有若干吸附孔，若干所述吸附孔沿所述真空面板周向排布，且每一所述吸附孔均與所述密閉相連通；

所述負壓裝置與所述密閉腔體相連通；所述光源以及所述外觀檢測機構分別設置于所述透光面板的兩側；

薄膜電路置于所述面板遠離所述底座的一面，并蓋設于所述吸附孔的上方。

本發明提供一種薄膜電路外觀檢測裝置，其利用面板與第一安裝槽圍合形成一密閉腔體，并在所述真空面板上貫穿開設形成吸附孔，薄膜電路置于所述面板上，所述薄膜電路蓋合于所述吸附孔上時能夠使所述密閉腔體重新封閉，利用所述負壓裝置的抽吸使所述密閉腔體內的空氣減少以形成負壓，外部大氣壓能將所述薄膜電路壓合于所述面板表面，達到對所述薄膜電路進行吸附固定的目的。同時，位于所述真空面板中心處的透光面板能夠透過光線，位于所述透光面板一側的光源所發出的光線能夠順利透出，為所述薄膜電路進行背部打光，使得位于所述透光面板另一側的外觀檢測機構能夠對所述薄膜電路的外觀進行檢測。

本發明實施例所述薄膜電路外觀檢測裝置，其利用壓力差實現對薄膜電路的吸附固定，不會對薄膜電路產生損壞，且通過所述負壓裝置的抽氣放氣即可改變薄膜電路的固定狀態，操作簡單，同時該吸附固定方式不會對薄膜電路的外觀檢測區域造成任何遮擋，不影響所述光源的打光以及所述外觀檢測機構的外觀檢測工作。

進一步，所述透光面板的端面的水平高度低于所述真空面板的端面所處的水平高度?？刂扑鐾腹饷姘宓亩嗣娴陀谒稣婵彰姘宓亩嗣?，所述薄膜電路得以平整展開。

進一步，所述透光面板的端面的水平高度比所述真空面板的端面所處的水平高度低0.1mm?？刂扑鐾腹饷姘宓亩嗣媾c所述真空面板的端面的高度差，使所述薄膜電路得以平整展開，不影響所述吸附孔對所述薄膜電路的吸附效果。