[發(fā)明專利]一種掩膜版框架及掩膜版組件

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210076291.7
• 申請(qǐng)日: 2022-01-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN114438444A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-05-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 匡友元
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/04
• 分類號(hào): C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56
• 代理公司: 深圳紫藤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44570
• 代理人: 方世棟

本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N掩膜版框架及掩膜版組件，包括框架本體，所述框架本體開(kāi)設(shè)有開(kāi)窗，所述框架本體開(kāi)設(shè)有至少兩個(gè)間隔設(shè)置的安裝部，所述安裝部用于固定掩膜版，所述開(kāi)窗位于至少兩個(gè)所述安裝部的最內(nèi)側(cè)的所述安裝部的內(nèi)側(cè)。本申請(qǐng)?zhí)峁┑难谀ぐ婵蚣芗把谀ぐ娼M件，由于在所述框架本體上開(kāi)設(shè)有至少兩個(gè)間隔的安裝部，每個(gè)安裝部用于固定一個(gè)掩膜版，當(dāng)所述框架本體與掩膜版配合時(shí)，由現(xiàn)有技術(shù)的一個(gè)框架本體與一個(gè)掩膜版配合變成一個(gè)框架本體能搭配至少兩個(gè)具不同開(kāi)口尺寸的掩膜版使用，也即節(jié)省了框架本體的數(shù)量，從而節(jié)省了掩膜版組件的成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種成膜用的掩膜版框架及包括所述掩膜版框架的掩膜版組件。

背景技術(shù)

目前，在大尺寸Inline OLED(有機(jī)發(fā)光二極管)成膜過(guò)程中，往往需要兩種掩膜版(Mask)進(jìn)行配合成膜。一種為形成OLED的有機(jī)發(fā)光層的掩膜版，一種為形成OLED金屬陰極層的掩膜版，為保證連續(xù)生產(chǎn)性，至少一種類型的掩膜版需要一用一備兩套，整條線至少需要4套掩膜版。從而，導(dǎo)致掩膜版需求量巨大，由于掩膜版的特殊材質(zhì)，決定了掩膜版的單價(jià)高，增加了成膜的成本。

因此，現(xiàn)有技術(shù)存在缺陷，急需解決。

發(fā)明內(nèi)容

本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N掩膜版框架，能夠解決掩膜版的成本過(guò)高的問(wèn)題。

為解決上述問(wèn)題，本申請(qǐng)?zhí)峁┑募夹g(shù)方案如下：

一種掩膜版框架，其包括：

框架本體，所述框架本體開(kāi)設(shè)有開(kāi)窗，所述框架本體開(kāi)設(shè)有至少兩個(gè)間隔設(shè)置的安裝部，所述開(kāi)窗位于至少兩個(gè)所述安裝部的最內(nèi)側(cè)的所述安裝部的內(nèi)側(cè)。

在本發(fā)明的其中一些實(shí)施例中，所述安裝部為環(huán)狀，且所述開(kāi)窗的中心與所述安裝部的中心同心。

在本發(fā)明的其中一些實(shí)施例中，所述安裝部為相對(duì)設(shè)置的兩個(gè)條型槽。

在本發(fā)明的其中一些實(shí)施例中，所述框架本體還包括上表面以及與所述上表面相對(duì)的下表面，所述安裝部自所述上表面向所述下表面開(kāi)設(shè)，所述背面開(kāi)設(shè)有至少兩個(gè)頂針槽，每組頂針槽與一組所述安裝部相對(duì)應(yīng)且相連通。

在本發(fā)明的其中一些實(shí)施例中，所述頂針槽的寬度小于對(duì)應(yīng)的安裝部的寬度。

在本發(fā)明的其中一些實(shí)施例中，所述掩膜版框架還包括與所述框架本體固定的支撐肋條，所述支撐肋條垮設(shè)于所述開(kāi)窗的相對(duì)側(cè)。

在本發(fā)明的其中一些實(shí)施例中，所述掩膜版框架還包括環(huán)繞所述開(kāi)窗且與所述開(kāi)窗相連通的凹設(shè)部。

一種掩膜版組件，其包括：

掩膜版框架，且所述掩膜版框架是如上任意一項(xiàng)所述的掩膜版框架；以及；以及

至少一個(gè)掩膜版，至少一個(gè)所述掩膜版能可拆卸地安裝于所述掩膜版框架包括的至少兩個(gè)所述安裝部中的其中一組安裝部中。

在本發(fā)明的其中一些實(shí)施例中，至少一個(gè)所述掩膜版包括版體部以及對(duì)版體部張網(wǎng)固定的固定座，所述固定座位于所述掩膜版框架包括的至少兩個(gè)安裝部中的其中一組安裝部中。

在本發(fā)明的其中一些實(shí)施例中，至少一個(gè)所述掩膜版的數(shù)量為兩個(gè)，且兩個(gè)所述掩膜版包括的版體部沿所述掩膜版框架的高度方向設(shè)置。

在本發(fā)明的其中一些實(shí)施例中，兩個(gè)所述掩膜版分別包括的所述版體部沿所述掩膜版框架的高度方向上層疊設(shè)置。

在本發(fā)明的其中一些實(shí)施例中，每個(gè)所述掩膜版的版體部包括有開(kāi)口，兩個(gè)所述掩膜版開(kāi)設(shè)的所述開(kāi)口尺寸不相同；且開(kāi)口尺寸較大的版體部更靠近所述框架本體包括的背面設(shè)置。

在本發(fā)明的其中一些實(shí)施例中，層疊設(shè)置的兩個(gè)所述掩膜版中的每個(gè)掩膜版包括至少一個(gè)所述開(kāi)口，且不同掩膜版相對(duì)應(yīng)位置的所述開(kāi)口的中心同心設(shè)置。