[發明專利]一種掩膜版框架及掩膜版組件

在審

• 申請號: 202210076291.7
• 申請日: 2022-01-24
• 公開（公告）號: CN114438444A
• 公開（公告）日: 2022-05-06
• 發明（設計）人: 匡友元
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56
• 代理公司: 深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570
• 代理人: 方世棟

1.一種掩膜版框架，其特征在于，包括：

框架本體，所述框架本體開設有開窗，所述框架本體開設有至少兩個間隔設置的安裝部，所述安裝部用于固定掩膜版，所述開窗位于至少兩個所述安裝部的最內側的所述安裝部的內側。

2.根據權利要求1所述的掩膜版框架，其特征在于，所述安裝部為凹槽。

3.根據權利要求2所述的掩膜版框架，其特征在于，所述框架本體還包括上表面以及與所述上表面相對的下表面，所述凹槽自所述上表面向所述下表面開設。

4.根據權利要求3所述的掩膜版框架，其特征在于，所述下表面開設有至少兩個頂針槽，每組頂針槽與一組所述安裝部相對應且相連通。

5.根據權利要求4所述的掩膜版框架，其特征在于，所述頂針槽的寬度小于對應的安裝部的寬度。

6.根據權利要求1所述的掩膜版框架，其特征在于，所述掩膜版框架還包括與所述框架本體固定的支撐肋條，所述支撐肋條垮設于所述開窗的相對側。

7.根據權利要求1所述的掩膜版框架，其特征在于，所述掩膜版框架還包括環繞所述開窗且與所述開窗相連通的凹設部。

8.一種掩膜版組件，其特征在于，包括：

掩膜版框架，且所述掩膜版框架是如權利要求1-7任意一項所述的掩膜版框架；以及；以及

至少一個掩膜版，至少一個所述掩膜版能可拆卸地安裝于所述掩膜版框架包括的至少兩個所述安裝部中的其中一個安裝部中。

9.根據權利要求8所述的掩膜版組件，其特征在于，至少一個所述掩膜版包括版體部以及對版體部張網固定的固定座，所述固定座能與所述掩膜版框架包括的至少兩個安裝部中的其中一組安裝部組裝配合。

10.根據權利要求8所述的掩膜版組件，其特征在于，至少一個所述掩膜版的數量為兩個，且兩個所述掩膜版包括的版體部沿所述掩膜版框架的高度方向設置。

11.根據權利要求10所述的掩膜版組件，其特征在于，兩個所述掩膜版分別包括的所述版體部沿所述掩膜版框架的高度方向上層疊設置。

12.根據權利要求11所述的掩膜版組件，其特征在于，每個所述掩膜版的版體部包括有開口，兩個所述掩膜版開設的所述開口尺寸不相同；且開口尺寸較大的版體部更靠近所述框架本體包括的背面設置。

13.根據權利要求12所述的掩膜版組件，其特征在于，層疊設置的兩個所述掩膜版中的每個掩膜版包括至少一個所述開口，且不同掩膜版相對應位置的所述開口的中心同心設置。