[發(fā)明專利]一種高速運(yùn)動(dòng)平臺(tái)快速主動(dòng)減振方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210074157.3
• 申請(qǐng)日: 2022-01-21
• 公開（公告）號(hào): CN114370476B
• 公開（公告）日: 2022-11-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張攬宇;張少軒;高健;陳云;陳新;張凱
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣東工業(yè)大學(xué)
• 主分類號(hào): F16F15/02
• 分類號(hào): F16F15/02
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 許慶勝

本申請(qǐng)公開了一種高速運(yùn)動(dòng)平臺(tái)快速主動(dòng)減振方法，包括：獲取運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)體當(dāng)次運(yùn)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)參數(shù)，并根據(jù)運(yùn)動(dòng)參數(shù)來確定減振裝置的減振模式；基于減振模式控制減振裝置的動(dòng)作端與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)體接觸或與驅(qū)動(dòng)運(yùn)動(dòng)體運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置接觸，以產(chǎn)生用于抑制運(yùn)動(dòng)體振動(dòng)的接觸摩擦力。采用這種主動(dòng)摩擦的手段來實(shí)現(xiàn)減振，可以對(duì)運(yùn)動(dòng)體特定需要減振的階段進(jìn)行減振，而且減振前減振裝置的動(dòng)作端不用接觸運(yùn)動(dòng)體或不用接觸驅(qū)動(dòng)裝置，從而不會(huì)對(duì)運(yùn)動(dòng)體的運(yùn)動(dòng)形成干擾。再者，將運(yùn)動(dòng)體的運(yùn)動(dòng)參數(shù)與減振裝置的控制進(jìn)行關(guān)聯(lián)，通過調(diào)節(jié)接觸摩擦力大小，即可實(shí)現(xiàn)對(duì)運(yùn)動(dòng)體的慣性振動(dòng)進(jìn)行快速抑制。該設(shè)計(jì)的主動(dòng)減振方法能夠?qū)崿F(xiàn)靈活且良好的振動(dòng)抑制效果。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及機(jī)械裝置技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種高速運(yùn)動(dòng)平臺(tái)快速主動(dòng)減振方法。

背景技術(shù)

高速運(yùn)動(dòng)平臺(tái)裝置是微電子制造中的核心裝置之一，由于高速運(yùn)動(dòng)平臺(tái)裝置中的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)在其定位過程通常伴隨有慣性振動(dòng)，因此，如何實(shí)現(xiàn)對(duì)慣性振動(dòng)的快速抑制是提升操作效率與微電子制造發(fā)展的關(guān)鍵問題。

目前，面對(duì)高速運(yùn)動(dòng)平臺(tái)裝置的振動(dòng)問題，常采用控制方法或添加減振結(jié)構(gòu)進(jìn)行減振。控制方法對(duì)于高速運(yùn)動(dòng)條件下的平臺(tái)減振問題仍具有調(diào)參復(fù)雜、適應(yīng)性差的問題。而添加減振結(jié)構(gòu)的方式通常為被動(dòng)減振方式，其對(duì)高速運(yùn)動(dòng)平臺(tái)裝置的振動(dòng)抑制效果并不理想。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本申請(qǐng)的目的是提供一種高速運(yùn)動(dòng)平臺(tái)快速主動(dòng)減振方法，具有靈活且良好的振動(dòng)抑制效果。

為達(dá)到上述技術(shù)目的，本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N高速運(yùn)動(dòng)平臺(tái)快速主動(dòng)減振方法，包括步驟：

S1，獲取運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)體當(dāng)次運(yùn)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)參數(shù)，并根據(jù)所述運(yùn)動(dòng)參數(shù)來確定減振裝置的減振模式；

S2，基于所述減振模式控制所述減振裝置的動(dòng)作端與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)體接觸或與驅(qū)動(dòng)運(yùn)動(dòng)體運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置接觸，以產(chǎn)生用于抑制所述運(yùn)動(dòng)體振動(dòng)的接觸摩擦力；

其中，所述減振裝置設(shè)置于所述運(yùn)動(dòng)體外，且所述減振裝置的動(dòng)作端可伸縮控制，該動(dòng)作端在所述運(yùn)動(dòng)體處于運(yùn)動(dòng)狀態(tài)時(shí)不與所述運(yùn)動(dòng)體或不與所述驅(qū)動(dòng)裝置接觸。

進(jìn)一步地，所述S2具體為：

基于所述減振模式控制所述減振裝置的動(dòng)作端與所述運(yùn)動(dòng)體接觸，以產(chǎn)生用于抑制所述運(yùn)動(dòng)體振動(dòng)的接觸摩擦力；

其中，所述減振裝置的動(dòng)作端的動(dòng)作方向與所述運(yùn)動(dòng)體的運(yùn)動(dòng)方向正交。

進(jìn)一步地，所述S2具體包括：

S21，控制位置檢測裝置獲取運(yùn)動(dòng)體的位移信息；

S22，當(dāng)根據(jù)所述位移信息判斷到所述運(yùn)動(dòng)體移動(dòng)至距離目標(biāo)位置預(yù)設(shè)距離的準(zhǔn)備位置時(shí)，基于所述減振模式控制所述減振裝置的動(dòng)作端動(dòng)作，以使得所述運(yùn)動(dòng)體移動(dòng)至目標(biāo)位置的同時(shí)所述減振裝置的動(dòng)作端與所述運(yùn)動(dòng)體或與所述驅(qū)動(dòng)裝置接觸；

S23，控制所述減振裝置的動(dòng)作端與所述運(yùn)動(dòng)體或所述驅(qū)動(dòng)裝置接觸直至所述運(yùn)動(dòng)體的慣性振動(dòng)幅值小于預(yù)設(shè)幅值，其中，所述慣性震動(dòng)幅值為根據(jù)位置檢測裝置的檢測數(shù)據(jù)進(jìn)行確定。

進(jìn)一步地，所述位置檢測裝置為絕對(duì)式光柵尺。

進(jìn)一步地，所述減振裝置包括伸縮驅(qū)動(dòng)裝置；

所述驅(qū)動(dòng)裝置的伸縮部一端可與所述運(yùn)動(dòng)體接觸或與所述驅(qū)動(dòng)裝置接觸。

進(jìn)一步地，所述減振裝置還包括緩沖結(jié)構(gòu)；

所述緩沖結(jié)構(gòu)安裝于所述伸縮驅(qū)動(dòng)裝置的伸縮端，用于與所述運(yùn)動(dòng)體或與所述驅(qū)動(dòng)裝置接觸。

進(jìn)一步地，所述伸縮驅(qū)動(dòng)裝置為直線電機(jī)裝置、壓電陶瓷裝置、磁致伸縮裝置、電動(dòng)推桿裝置、液壓推桿裝置或其它直線伸縮裝置。