[發(fā)明專利]一種大尺寸包裝片盒清洗后的保護(hù)方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202210053728.5
• 申請日: 2022-01-18
• 公開（公告）號: CN114535213A
• 公開（公告）日: 2022-05-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張宏杰;楊路肖;劉建偉;武衛(wèi);劉姣龍;祝斌;袁祥龍;雍琪浩
• 申請（專利權(quán)）人: 中環(huán)領(lǐng)先半導(dǎo)體材料有限公司
• 主分類號: B08B5/02
• 分類號: B08B5/02;B08B7/00;B08B13/00
• 代理公司: 蘇州高專知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 32474
• 代理人: 冷泠

1.一種大尺寸包裝片盒清洗后的保護(hù)方法，其特征在于：其保護(hù)方法包括以下步驟：

S1、首先將待清洗片盒經(jīng)過高溫清洗、高溫烘干清洗后，對清潔后的片盒內(nèi)環(huán)境進(jìn)行初步顆粒環(huán)境穩(wěn)定和片盒降溫，對清潔后片盒在設(shè)備內(nèi)冷卻一定時間，根據(jù)實(shí)際需求進(jìn)行選擇，員工需要更換新的手套，防止人員的二次沾污，取出設(shè)備上的清潔后的片盒；

S2、然后進(jìn)行開蓋模式：將清洗后的主體片盒放置在專用片盒架上，合盒蓋虛掩蓋在片盒主體上，保持未封閉狀態(tài)，專用片盒架需要配置包括專門的離子棒輻射范圍內(nèi)，用于消除片盒的靜電，防止靜電導(dǎo)致的顆粒粒子和金屬粒子的吸附，專門的氮?dú)馔饪祝鳛楸Ｗo(hù)氣體，用于保護(hù)和凈化片盒內(nèi)環(huán)境，進(jìn)行片盒的二次降溫，防止片盒內(nèi)部環(huán)境溫度高，立即合上盒蓋會提前導(dǎo)致片盒內(nèi)外環(huán)境壓強(qiáng)不一致，由于熱脹冷縮會造成片盒盒蓋的開啟困難，也會對開啟盒蓋的設(shè)備造成損壞風(fēng)險，此過程進(jìn)行一定時間，根據(jù)實(shí)際需求進(jìn)行選擇；

S3、最后進(jìn)行合蓋模式：將盒蓋輕柔的合在片盒主體上，防止暴力作業(yè)導(dǎo)致盒蓋旋鈕硬件損壞，及時合上盒蓋防止環(huán)境顆粒對清洗后的片盒二次沾污，完成合蓋動作后片盒可以放入流水線進(jìn)行包裝產(chǎn)品。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大尺寸包裝片盒清洗后的保護(hù)方法，其特征在于：所述清潔后片盒需要單獨(dú)放置在一個潔凈的微環(huán)境中，且微環(huán)境需要配置單獨(dú)的風(fēng)機(jī)過濾單元。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大尺寸包裝片盒清洗后的保護(hù)方法，其特征在于：所述片盒的二次降溫的時間為5-15分鐘，且對清潔后片盒在設(shè)備內(nèi)冷卻的時間為5-30分鐘。