[發明專利]探針板卡、探針測試系統以及探針測試方法在審
| 申請號： | 202210049198.7 | 申請日： | 2022-01-17 |
| 公開（公告）號： | CN114384287A | 公開（公告）日： | 2022-04-22 |
| 發明（設計）人： | 李文敬;余琨;吳一;徐倩云 | 申請（專利權）人： | 上海華嶺集成電路技術股份有限公司 |
| 主分類號： | G01R1/073 | 分類號： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京睿馳通程知識產權代理事務所(普通合伙) 11604 | 代理人： | 方丁一 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 探針 板卡 測試 系統 以及 方法 | ||
一種探針板卡、探針測試系統以及探針測試方法，所述探針板卡包括：電路板，呈平板狀；多個針板，分別通過多個可伸縮柱體連接在所述電路板的一側，所述多個針板中的每一個遠離所述電路板的一側設置有至少一根探針，所述探針沿基本上垂直于所述電路板的方向延伸；以及微控制器，設置在電路板上，配置為控制所述多個可伸縮柱體在垂直于所述電路板的方向上伸縮，使得所述多個針板在垂直于所述電路板的方向上可移動。
技術領域
本公開涉及集成電路測試技術領域，具體而言，涉及一種探針板卡、探針測試系統以及探針測試方法。
背景技術
集成電路測試技術領域屬于新一代信息技術產業的核心產業，具有極其重要的戰略地位，是推動國民經濟和社會信息化發展的最主要的高新技術之一。集成電路，例如晶圓，需要進行各種測試，來檢測集成電路的工作性能。
發明內容
本公開一些實施例提供一種探針板卡，所述探針板卡包括：
電路板，呈平板狀；
多個針板，分別通過多個可伸縮柱體連接在所述電路板的一側，所述多個針板中的每一個遠離所述電路板的一側設置有至少一根探針，所述探針沿基本上垂直于所述電路板的方向延伸；以及
微控制器，設置在電路板上，配置為控制所述多個可伸縮柱體在垂直于所述電路板的方向上伸縮，使得所述多個針板在垂直于所述電路板的方向上可移動。
在一些實施例中，所述多個針板均平行于所述電路板，所述多個針板上的所述探針的長度基本相同。
本公開一些實施例提供一種探針測試系統，包括：
前述實施例所述的探針板卡；
探針測試機臺，承載所述探針板卡，所述探針測試機臺還包括承載臺，配置為承載測試部件；以及
自動測試機，配置為向所述探針板卡提供測試信號，
其中，所述微控制器、探針測試機臺以及自動測試機通訊連接，
所述測試部件包括規則排布的多個測試區域，每個測試區域內設置有多個測試元件，響應于所述探針板卡執行一次探針探測，所述探針板卡與所述多個測試區域中的一個測試區域相同對準，所述多個針板與所述一個測試區域中的多個測試元件分別對準。
本公開一些實施例提供一種探針測試方法，采用前述實施例所述的探針測試系統，所述探針測試方法包括：
在平行于所述電路板的平面內移動所述承載臺，使得所述探針板卡與需要復測的測試區域對準；
基于所述需要復測的測試區域的前次測試結果，調節所述的可伸縮柱體的伸縮長度，使得所述多個針板中的至少一個針板處于測試位置，其他針板處于空置位置；以及
朝向所述探針板卡移動所述承載臺使得所述探針板卡對所述需要復測的測試區域執行探針測試。
在一些實施例中，基于所述需要復測的測試區域的前次測試結果，調節所述的可伸縮柱體的伸縮長度，使得所述多個針板中的至少一個針板處于測試位置，其他針板處于空置位置包括：
基于所述需要復測的測試區域的前次測試結果，調節所述的可伸縮柱體的伸縮長度，使得前次測試結果為未通過的測試元件對應的針板處于測試位置，前次測試結果為通過的測試元件對應的針板處于空置位置。
在一些實施例中，在移動所述承載臺，使得所述探針板卡與需要復測的測試區域對準之前，所述探測測試方法還包括：
利用探針板卡對測試部件的多個測試區域依次執行探針測試。
在一些實施例中，利用探針板卡對測試部件的多個測試區域依次執行探針測試包括：
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