[發(fā)明專利]探針板卡、探針測試系統(tǒng)以及探針測試方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210049198.7
• 申請(qǐng)日: 2022-01-17
• 公開（公告）號(hào): CN114384287A
• 公開（公告）日: 2022-04-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李文敬;余琨;吳一;徐倩云
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海華嶺集成電路技術(shù)股份有限公司
• 主分類號(hào): G01R1/073
• 分類號(hào): G01R1/073
• 代理公司: 北京睿馳通程知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11604
• 代理人: 方丁一

1.一種探針板卡，其特征在于,所述探針板卡包括：

電路板，呈平板狀；

多個(gè)針板，分別通過多個(gè)可伸縮柱體連接在所述電路板的一側(cè)，所述多個(gè)針板中的每一個(gè)遠(yuǎn)離所述電路板的一側(cè)設(shè)置有至少一根探針，所述探針沿基本上垂直于所述電路板的方向延伸；以及

微控制器，設(shè)置在電路板上，配置為控制所述多個(gè)可伸縮柱體在垂直于所述電路板的方向上伸縮，使得所述多個(gè)針板在垂直于所述電路板的方向上可移動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針板卡，其中，所述多個(gè)針板均平行于所述電路板，所述多個(gè)針板上的所述探針的長度基本相同。

3.一種探針測試系統(tǒng)，包括：

權(quán)利要求1或2中所述的探針板卡；

探針測試機(jī)臺(tái)，承載所述探針板卡，所述探針測試機(jī)臺(tái)還包括承載臺(tái)，配置為承載測試部件；以及

自動(dòng)測試機(jī)，配置為向所述探針板卡提供測試信號(hào)，

其中，所述微控制器、探針測試機(jī)臺(tái)以及自動(dòng)測試機(jī)通訊連接，

所述測試部件包括規(guī)則排布的多個(gè)測試區(qū)域，每個(gè)測試區(qū)域內(nèi)設(shè)置有多個(gè)測試元件，響應(yīng)于所述探針板卡執(zhí)行一次探針探測，所述探針板卡與所述多個(gè)測試區(qū)域中的一個(gè)測試區(qū)域相同對(duì)準(zhǔn)，所述多個(gè)針板與所述一個(gè)測試區(qū)域中的多個(gè)測試元件分別對(duì)準(zhǔn)。

4.一種探針測試方法，采用權(quán)利要求3中所述的探針測試系統(tǒng)，所述探針測試方法包括：

在平行于所述電路板的平面內(nèi)移動(dòng)所述承載臺(tái)，使得所述探針板卡與需要復(fù)測的測試區(qū)域?qū)?zhǔn)；

基于所述需要復(fù)測的測試區(qū)域的前次測試結(jié)果，調(diào)節(jié)所述的可伸縮柱體的伸縮長度，使得所述多個(gè)針板中的至少一個(gè)針板處于測試位置，其他針板處于空置位置；以及

朝向所述探針板卡移動(dòng)所述承載臺(tái)使得所述探針板卡對(duì)所述需要復(fù)測的測試區(qū)域執(zhí)行探針測試。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的探針測試方法,其中，基于所述需要復(fù)測的測試區(qū)域的前次測試結(jié)果，調(diào)節(jié)所述的可伸縮柱體的伸縮長度，使得所述多個(gè)針板中的至少一個(gè)針板處于測試位置，其他針板處于空置位置包括：

基于所述需要復(fù)測的測試區(qū)域的前次測試結(jié)果，調(diào)節(jié)所述的可伸縮柱體的伸縮長度，使得前次測試結(jié)果為未通過的測試元件對(duì)應(yīng)的針板處于測試位置，前次測試結(jié)果為通過的測試元件對(duì)應(yīng)的針板處于空置位置。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的探針測試方法,其中，在移動(dòng)所述承載臺(tái)，使得所述探針板卡與需要復(fù)測的測試區(qū)域?qū)?zhǔn)之前，所述探測測試方法還包括：

利用探針板卡對(duì)測試部件的多個(gè)測試區(qū)域依次執(zhí)行探針測試。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的探針測試方法，其中，利用探針板卡對(duì)測試部件的多個(gè)測試區(qū)域依次執(zhí)行探針測試包括：

在平行于所述電路板的平面內(nèi)移動(dòng)所述承載臺(tái)，使得所述探針板卡與需要測試的測試區(qū)域?qū)?zhǔn)；以及

朝向所述探針板卡移動(dòng)所述承載臺(tái)使得所述探針板卡對(duì)所述需要測試的測試區(qū)域執(zhí)行探針測試。

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的探針測試方法,其中，利用探針板卡對(duì)測試部件的多個(gè)測試區(qū)域依次執(zhí)行探針測試之前還包括：

控制所述多個(gè)可伸縮柱體在垂直于所述電路板的方向上的伸縮長度以執(zhí)行對(duì)針操作。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的探針測試方法,其中，控制所述多個(gè)可伸縮柱體在垂直于所述電路板的方向上的伸縮長度以執(zhí)行對(duì)針操作包括：

控制所述多個(gè)可伸縮柱體在垂直于所述電路板的方向上自最短長度伸長至預(yù)定長度；

檢測所述探針的針尖至所述電路板之間的距離，響應(yīng)于同一針板中的探針對(duì)應(yīng)的距離不同，探針測試機(jī)臺(tái)發(fā)出警報(bào)，響應(yīng)于所述同一針板中的探針對(duì)應(yīng)的距離相同且不同針板中的探針對(duì)應(yīng)的距離不同，調(diào)整所述多個(gè)可伸縮柱體的伸縮長度，使得所述多個(gè)針板中的探針對(duì)應(yīng)的距離均相同，記錄所述多個(gè)針板的位置分別作為所述多個(gè)針板的測試位置。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的探針測試方法,其中，所述多個(gè)可伸縮柱體在垂直于所述電路板的方向上的最短長度對(duì)應(yīng)的所述多個(gè)針板的位置分別作為所述多個(gè)針板的空置位置。