[發(fā)明專利]電子級三氟化氯的純化系統(tǒng)及其溫差動力控制方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210043269.2
• 申請日: 2021-01-29
• 公開（公告）號: CN114538380B
• 公開（公告）日: 2022-10-14
• 發(fā)明（設計）人: 李向如;李嘉磊;申黎明;陳施華
• 申請（專利權(quán)）人: 福建德爾科技股份有限公司
• 主分類號: C01B7/24
• 分類號: C01B7/24;B01D3/14;B01D3/32;B01D3/42
• 代理公司: 廈門原創(chuàng)專利事務所(普通合伙) 35101
• 代理人: 黃巧香

本發(fā)明提供了一種電子級三氟化氯的純化系統(tǒng)及溫差動力控制方法。所述純化系統(tǒng)包括：順序連接的第一哈氏合金冷凝器、第一哈氏合金升溫罐體、哈氏合金耐壓升溫罐體、3級金屬吸附劑層床、2級低溫精餾裝置、液化罐體以及穩(wěn)壓罐體；其中，所述第一哈氏合金冷凝器的進料端設置于其頂端且與反應器相連通，所述第一哈氏合金冷凝器的出料端設置于其底端且與所述第一哈氏合金升溫罐體的進料端連接；所述第一哈氏合金冷凝器用于將所述反應器產(chǎn)生的三氟化氯粗產(chǎn)品進行冷凝，從而通過溫度差來給所述反應器出口氣體提供動力。

分案申請聲明

本申請為2021-01-29日遞交的申請?zhí)枮?02110127961.9發(fā)明名稱為“電子級三氟化氯的精餾純化系統(tǒng)控制方法”的中國發(fā)明專利申請的分案申請。

技術(shù)領域

本發(fā)明涉及一種電子級三氟化氯的純化系統(tǒng)及其溫差動力控制方法。

背景技術(shù)

目前國內(nèi)雖有工業(yè)級三氟化氯的工藝合成方法，但尚不能制備電子級三氟化氯。為了解決我國芯片制造中“卡脖子”的問題，研發(fā)電子級三氟化氯成為了重中之重。而電子級三氟化氯制備工藝過程中，多個流程單元需要正壓，精餾是其中必不可少的環(huán)節(jié)。精餾系統(tǒng)前需要提供一定動力，由于三氟化氯本身的氧化性，市面上尚沒有三氟化氯的增壓設備，因此需發(fā)明一種安全的增壓方法解決三氟化氯氣體的動力問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供了一種電子級三氟化氯的純化系統(tǒng)及其溫差動力控制方法，可以有效解決上述問題。

本發(fā)明是這樣實現(xiàn)的：

本發(fā)明提供一種電子級三氟化氯的純化系統(tǒng)，包括：順序連接的第一哈氏合金冷凝器、第一哈氏合金升溫罐體、哈氏合金耐壓升溫罐體、3級金屬吸附劑層床、2級低溫精餾裝置、液化罐體以及穩(wěn)壓罐體；其中，所述第一哈氏合金冷凝器的頂端設置有進料端且所述進料端與反應器相連通，所述第一哈氏合金冷凝器的底端設置有出料端且所述出料端與所述第一哈氏合金升溫罐體的進料端連接；所述第一哈氏合金冷凝器用于將所述反應器產(chǎn)生的三氟化氯粗產(chǎn)品進行冷凝，從而通過溫度差來給所述反應器的出口的氣體提供動力。

作為進一步改進的，所述第一哈氏合金冷凝器用于將所述反應器產(chǎn)生的三氟化氯粗產(chǎn)品冷凝到～-30℃～-50℃。

作為進一步改進的，所述第一哈氏合金升溫罐體用于對三氟化氯粗產(chǎn)品升溫，帶動所述第一哈氏合金升溫罐體內(nèi)部的液體氣化，迅速達到飽和蒸氣壓，使得三氟化氯不再進行自分解。

作為進一步改進的，所述哈氏合金耐壓升溫罐體用于對三氟化氯粗產(chǎn)品氣體進行升溫增壓，增大所述哈氏合金耐壓升溫罐體的內(nèi)部壓力，使三氟化氯氣體達到后續(xù)精餾等純化工序需要的正壓力。

作為進一步改進的，所述液化罐體用于降溫冷凝，使所述2級低溫精餾裝置的精餾塔出口的三氟化氯氣體冷凝成液態(tài)，以被收集儲存。

本發(fā)明進一步提供一種上述電子級三氟化氯的純化系統(tǒng)的溫差動力控制方法，利用上述電子級三氟化氯的純化系統(tǒng)執(zhí)行以下步驟：

S1，通過所述第一哈氏合金冷凝器將所述反應器產(chǎn)生的三氟化氯粗產(chǎn)品進行冷凝，形成第一級溫差，從而通過第一級溫差來給所述反應器出口氣體提供動力；

S2，通過所述第一哈氏合金升溫罐體對三氟化氯粗產(chǎn)品升溫，帶動所述第一哈氏合金升溫罐體的內(nèi)部液體氣化形成第二級溫差，使三氟化氯迅速達到飽和蒸氣壓，不再進行自分解；

S3，通過所述哈氏合金耐壓升溫罐體對三氟化氯粗產(chǎn)品氣體進行升溫增壓形成第三級溫差，增大所述哈氏合金耐壓升溫罐體的內(nèi)部壓力，使三氟化氯氣體達到后續(xù)精餾等純化工序需要的正壓力；

S4，通過所述液化罐體降溫冷凝形成第四級溫差，使所述2級低溫精餾裝置的精餾塔出口的三氟化氯氣體冷凝成液態(tài)，以被收集儲存。