[發明專利]一種用于半導體元件加工成型設備

在審

• 申請號: 202210040199.5
• 申請日: 2022-01-14
• 公開（公告）號: CN114420603A
• 公開（公告）日: 2022-04-29
• 發明（設計）人: 李征;聶劍凱;史俊龍
• 申請（專利權）人: 蘇州肯美特設備集成有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/673;H01L21/677
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于半導體元件加工成型設備，其特征在于，包括，

底座（1），支撐裝置；

中心傳輸帶（2），從所述底座（1）上的中心穿過；

石墨舟（3），放置在所述中心傳輸帶（2）上進行傳輸，所述石墨舟（3）上開設有能夠沿中心傳輸帶（2）的行進方向均勻放置多個基座的安裝槽；

支架（4），架設在底座（1）上方；

橫桿（5），兩根所述橫桿（5）相互平行地設在支架（4）上方，且與所述中心傳輸帶（2）垂直；

注膠組件（6），固定架設在兩根橫桿（5）間的中心傳輸帶（2）的上方；

固定座組件（7），設置在底座（1）中心，將中心傳輸帶（2）分隔成兩部分，且位于注膠組件（6）的正下方。

2.根據權利要求1所述的一種用于半導體元件加工成型設備，其特征在于，在所述中心傳輸帶（2）行進方向前端的橫桿（5）下方的中心傳輸帶（2）兩側對稱地設置有一起垂直的兩條橫傳輸帶（11），在中心傳輸帶（2）行進方向前端的橫桿（5）下方的中心傳輸帶（2）一側設置有一條橫傳輸帶（11）。

3.根據權利要求2所述的一種用于半導體元件加工成型設備，其特征在于，每根所述橫桿（5）對應每條橫傳輸帶（11）的位置中分別設置有伺服驅動的絲杠滑塊（8），每塊所述絲杠滑塊（8）中連接有豎直的直線模組（9），所述直線模組（9）的輸出端設置有吸盤（10）；

所述中心傳輸帶（2）兩側與橫傳輸帶（11）的間隙中分別設置有側傳輸帶（12）。

4.根據權利要求1所述的一種用于半導體元件加工成型設備，其特征在于，每根所述橫桿（5）上對應中心傳輸帶（2）的位置固定有視覺模組（13），所述視覺模組（13）能夠反饋控制中心傳輸帶（2）使吸盤（10）對準石墨舟（3）的安裝槽。

5.根據權利要求1所述的一種用于半導體元件加工成型設備，其特征在于，所述注膠組件（6）包括，

三軸機械臂（61），固定架設在中心傳輸帶（2）的上方，能夠伺服分別沿XYZ軸移動；

注膠針（62），豎直固定在三軸機械臂（61）的輸出端，能夠加熱并注出膠體，其上端連接供料導管。

6.根據權利要求5所述的一種用于半導體元件加工成型設備，其特征在于，所述固定座組件（7）包括，

中心柱（71），豎直固定在底座（1）上作為支撐；

支撐盤（72），固定在中心柱（71）上方，且位于注膠組件（6）的正下方，并將所述中心傳輸帶（2）分隔為兩端獨立運行的傳輸帶，且其與中心傳輸帶（2）間留有一定間隙。

7.根據權利要求6所述的一種用于半導體元件加工成型設備，其特征在于，所述支撐盤（72）中可伺服轉動地設有至少兩根穿過其上表面的傳輸輥（73），所述傳輸輥（73）的轉動方向與中心傳輸帶（2）的行進方向相同；

且，所述傳輸輥（73）與中心傳輸帶（2）的距離小于石墨舟（3）的長度，所述傳輸輥（73）的上表面與中心傳輸帶（2）的上表面在同一平面中。

8.根據權利要求6所述的一種用于半導體元件加工成型設備，其特征在于，所述支撐盤（72）下方的中心柱（71）中可上下滑動且能夠轉動地套設有滑動套（74），滑動套（74）的邊緣固定有“C”型的連接桿（75），所述連接桿（75）的上端從支撐盤（72）的邊緣延伸到支撐盤（72）上方的圓心處，且在圓心處設有固定針（77）。

9.根據權利要求8所述的一種用于半導體元件加工成型設備，其特征在于，所述注膠針（62）上方固定套設有水平的下壓磁鐵（63），所述連接桿（75）在傳輸輥（73）上方的位置中固定有從動磁鐵（76），所述下壓磁鐵（63）下表面與從動磁鐵（76）上表面為反向磁極；

且，所述滑動套（74）與底座（1）間設有支撐彈簧（78），所述支撐彈簧（78）提供使固定針（77）遠離支撐盤（72）的彈力。

10.根據權利要求9所述的一種用于半導體元件加工成型設備，其特征在于，所述下壓磁鐵（63）下方圓周分布有多個導向磁鐵（64），所述導向磁鐵（64）外圍的磁極與從動磁鐵（76）側邊的磁極相反。