[發明專利]一種WBGA電磁屏蔽封裝結構及其制備方法在審
| 申請號: | 202210033983.3 | 申請日: | 2022-01-12 |
| 公開(公告)號: | CN114300366A | 公開(公告)日: | 2022-04-08 |
| 發明(設計)人: | 周健威;胡金花 | 申請(專利權)人: | 華天科技(南京)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/50 | 分類號: | H01L21/50;H01L21/56;H01L23/552;H01L23/31 |
| 代理公司: | 西安通大專利代理有限責任公司 61200 | 代理人: | 朱海臨 |
| 地址: | 211805 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 wbga 電磁 屏蔽 封裝 結構 及其 制備 方法 | ||
本發明屬于半導體封裝技術領域,公開了一種WBGA電磁屏蔽封裝結構的制備方法,包括以下步驟:S1、在有開窗的WBGA基板的正面上貼上芯片;S2、在WBGA基板開窗處引出引線,芯片與WBGA基板背面通過引線形成電連接;S3、在塑封模具上預先安置金屬片,塑封時同時在WBGA基板開窗處塑封體表面形成第一電磁屏蔽層;S4、在塑封體的上表面采用金屬濺射形成第二電磁屏蔽層;S5、進行后續處理,得到WBGA電磁屏蔽封裝結構。本發明通過在塑封模具中預先安置金屬片,塑封同時在基板開窗處塑封體表面形成電磁屏蔽層,可對整條WBGA產品各顆芯片起到全方位電磁屏蔽作用,有效避免了芯片間及外部電磁干擾源的電磁干擾作用。
技術領域
本發明屬于半導體封裝技術領域,特別涉及一種WBGA電磁屏蔽封裝結構及其制備方法。
背景技術
隨著Memory芯片、可移動設備、消費電子類產品的應用日益增長,Window BallGrid Array(WBGA)封裝產品也日益增加。不可避免地,該類封裝產品需考慮電磁干擾的影響。
目前采用WBGA封裝形式的產品,包含以下幾個特點:
(1)芯片粘在基板正面,通過穿過基板開窗處的引線與基板背面形成電連接;
(2)對電磁干擾較敏感;
(3)結構復雜,封裝結構緊湊;
在高頻電子通過引線時將形成強烈電磁干擾,從而干擾大規模集成電路,其導致不能正常工作或在錯誤狀態下工作。
發明內容
本發明的目的在于提供一種WBGA電磁屏蔽封裝結構及其制備方法,解決了傳統封裝結構存在強烈電磁干擾的問題。
本發明是通過以下技術方案來實現:
一種WBGA電磁屏蔽封裝結構的制備方法,包括以下步驟:
S1、在有開窗的WBGA基板的正面上貼上芯片;
S2、在WBGA基板開窗處引出引線,芯片與WBGA基板背面通過引線形成電連接;
S3、在塑封模具上預先鋪設金屬片,塑封時同時在WBGA基板開窗處塑封體下表面形成第一電磁屏蔽層;
S4、在塑封體的上表面貼裝金屬蓋,形成第二電磁屏蔽層;
S5、進行后續處理,得到WBGA電磁屏蔽封裝結構。
進一步,S1中,芯片通過膠水粘貼在WBGA基板上。
進一步,S5中的后續處理依次包括植球及切割;
植球的過程為:在WBGA基板的背面焊盤植上錫球;
切割的過程為:將整條WBGA基板切割成一顆一顆的封裝顆粒。
進一步,S1中,WBGA基板的正面預制有第三電磁屏蔽層。
本發明還公開了一種WBGA電磁屏蔽封裝結構,包括有開窗的WBGA基板,在WBGA基板的正面上貼上芯片;
芯片與WBGA基板背面通過引線形成電連接;在芯片的正面填充有上塑封層,在WBGA基板開窗一側填充有下塑封層;
在下塑封層的表面包覆有第一電磁屏蔽層,在上塑封層的表面包覆有第二電磁屏蔽層。
進一步,第一電磁屏蔽層采用金屬片。
進一步,金屬片采用銅或鋁。
進一步,WBGA基板上覆蓋有第三電磁屏蔽層。
進一步,在WBGA基板的背面焊盤上植有錫球。
與現有技術相比,本發明具有以下有益的技術效果:
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





