[發明專利]一種芯片電子超純水系統工藝及其系統裝置

在審

• 申請號: 202210033089.6
• 申請日: 2022-01-12
• 公開（公告）號: CN114368858A
• 公開（公告）日: 2022-04-19
• 發明（設計）人: 沈海軍;任曉哲;顧家嶸;胡昊;李成彬;沈錦鵬
• 申請（專利權）人: 浙江東洋環境科技有限公司
• 主分類號: C02F9/04
• 分類號: C02F9/04
• 代理公司: 湖州果得知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 33365
• 代理人: 湯荷芬

本發明涉及廢水處理與回收利用設備，特別涉及芯片電子超純水系統工藝及其系統裝置。它包括芯片電子廢水收集箱和增壓泵、增壓泵的出水端連通有疊片過濾器的進水端，疊片過濾器的出水端連通有耐污染UF裝置的進水端，耐污染UF裝置的出水端連通有中間水箱的進水端，中間水箱的出水端連通有RO增壓泵的進水端，RO增壓泵的出水端連通有超濾水凈化裝置的進水端，超濾水凈化裝置的出水端連通有保安過濾器的進水端，保安過濾器的出水端連通有高壓泵的進水端，高壓泵的出水端連通有抗污染RO裝置的進水端，抗污染RO裝置的出水端連通有RO產水水箱；耐污染UF裝置的濃水端連接有硅粉回收集成裝置，本發明設備可利用芯片研磨廢水進行回用制備芯片電子超純水。

技術領域

本發明涉及廢水處理與回收利用設備，特別涉及芯片電子超純水系統工藝及其系統裝置。

背景技術

電子芯片大力發展，市場大，產生的廢水多，固體懸浮物SS高，但廢水中只含有硅粉、少量表面活性劑、含鹽量極低等，污染并不大，有良好的可回收利用價值。

發明內容

本發明的第一目的是提供一種可解決高SS問題且能同時有效回收硅粉的利用芯片研磨廢水進行回用的芯片電子超純水系統工藝。

本發明的第二目的是提供一種可解決高SS問題且能同時有效回收硅粉的利用芯片研磨廢水進行回用的芯片電子超純水系統工藝用系統裝置。

本發明的第一技術目的是通過以下技術方案得以實現的：

一種芯片電子超純水系統工藝，其芯片電子超純水系統包括芯片電子廢水收集箱，芯片電子廢水收集箱的出水端連通有增壓泵的進水端、增壓泵的出水端連通有疊片過濾器的進水端，疊片過濾器的出水端連通有耐污染UF裝置的進水端，耐污染UF裝置的出水端連通有中間水箱的進水端；

芯片電子廢水通過增壓泵提升后經過疊片過濾器過濾，然后進入超濾裝置進行過濾；所述超濾裝置為聚砜材質的有機內壓管式超濾裝置，有機內壓管式超濾裝置過濾方式為死端過濾或錯流過濾，有機內壓管式超濾裝置濃水端采用濃水循環方式，以加大管式膜內流速，防止沉積堵塞。

本發明芯片電子超純水系統工藝采用有機內壓管式超濾裝置對研磨廢水進行回收處理，充分保證了水中直徑較大的顆粒，如膠體、固體顆粒、病菌、隱性孢子等被完全過濾掉，進而保證了出水不含懸浮物，可以直接使用，過濾效果較好。而且，有機內壓管式超濾裝置采用聚砜材質，具有優異的耐化學腐蝕的性能，因此可以在廣泛的pH值范圍內進行操作，并且耐氧化，可以用來處理加氯處理后的水，以及用強氧化劑進行清洗。

作為優選，所述耐污染UF裝置進水量為產水量的2-4倍，耐污染UF裝置連接的循環泵的循環量為總進水量60-70%，耐污染UF裝置濃水量約為總進水量2-4%；

過濾精度≤30nm；

出水濁度≤0.2 NTU；

出水SDI2.5；

懸浮物0.5mg/L。

本發明的第二技術目的是通過以下技術方案得以實現的：

中間水箱的出水端還連接有反洗泵，反洗泵的出水端連接有耐污染UF裝置的進水端，耐污染UF裝置的出水端還連接有循環泵，循環泵的出水端與疊片過濾器和耐污染UF裝置之間的連接管路連通。

作為優選，中間水箱的出水端連通有RO增壓泵的進水端，RO增壓泵的出水端連通有超濾水凈化裝置的進水端，超濾水凈化裝置的出水端連通有保安過濾器的進水端，保安過濾器的出水端連通有高壓泵的進水端，高壓泵的出水端連通有抗污染RO裝置的進水端，抗污染RO裝置的出水端連通有RO產水水箱；所述超濾水凈化裝置與所述保安過濾器之間的連接管路連通有氫氧化鈉加藥管；耐污染UF裝置的濃水端連接有硅粉回收集成裝置。