[發明專利]一種芯片電子超純水系統工藝及其系統裝置

在審

• 申請號: 202210033089.6
• 申請日: 2022-01-12
• 公開（公告）號: CN114368858A
• 公開（公告）日: 2022-04-19
• 發明（設計）人: 沈海軍;任曉哲;顧家嶸;胡昊;李成彬;沈錦鵬
• 申請（專利權）人: 浙江東洋環境科技有限公司
• 主分類號: C02F9/04
• 分類號: C02F9/04
• 代理公司: 湖州果得知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 33365
• 代理人: 湯荷芬

1.一種芯片電子超純水系統工藝，其特征在于：

芯片電子超純水系統包括芯片電子廢水收集箱（1），芯片電子廢水收集箱（1）的出水端連通有增壓泵（2）的進水端、增壓泵（2）的出水端連通有疊片過濾器（3）的進水端，疊片過濾器（3）的出水端連通有耐污染UF裝置（4）的進水端，耐污染UF裝置（4）的出水端連通有中間水箱（5）的進水端；

芯片電子廢水通過增壓泵（2）提升后經過疊片過濾器（3）過濾，然后進入耐污染UF裝置（4）進行過濾；所述耐污染UF裝置（4）為聚砜材質的有機內壓管式超濾裝置，有機內壓管式超濾裝置過濾方式為死端過濾或錯流過濾，有機內壓管式超濾裝置濃水端采用濃水循環方式。

2.根據權利要求1所述的一種芯片電子超純水系統工藝，其特征在于：所述耐污染UF裝置（4）進水量為產水量的2-4倍，超濾裝置（4）連接的循環泵（13）的循環量為總進水量60-70%，超濾裝置（4）濃水量約為總進水量2-4%；

過濾精度≤30nm；

出水濁度≤0.2 NTU；

出水SDI2.5；

懸浮物0.5 mg/L。

3.根據權利要求1-2任一項所述的一種芯片電子超純水系統工藝用系統裝置，其特征在于：中間水箱（5）的出水端還連接有反洗泵（15），反洗泵（15）的出水端連接有耐污染UF裝置（4）的進水端，耐污染UF裝置（4）的出水端還連接有循環泵（13），循環泵（13）的出水端與疊片過濾器（3）和耐污染UF裝置（4）之間的連接管路連通。

4.根據權利要求3所述的一種芯片電子超純水系統工藝用系統裝置，其特征在于：中間水箱（5）的出水端連通有RO增壓泵（6）的進水端，RO增壓泵（6）的出水端連通有超濾水凈化裝置（7）的進水端，超濾水凈化裝置（7）的出水端連通有保安過濾器（8）的進水端，保安過濾器（8）的出水端連通有高壓泵（9）的進水端，高壓泵（9）的出水端連通有抗污染RO裝置（10）的進水端，抗污染RO裝置（10）的出水端連通有RO產水水箱（11）；所述超濾水凈化裝置（7）與所述保安過濾器（8）之間的連接管路連通有氫氧化鈉加藥管（14）；耐污染UF裝置（4）的濃水端連接有硅粉回收集成裝置（12）。

5.根據權利要求4所述的一種芯片電子超純水系統工藝用系統裝置，其特征在于：所述硅粉回收集成裝置（12）包括濃水收集箱（121）、氣動隔膜泵（122）、壓濾機（123）、濾液水箱（124）、濾液水泵（125）和硅泥外運機（126）；所述壓濾機（123）包括壓濾機出水端（1231）和壓濾機出泥端（1232）。

6.根據權利要求5所述的一種芯片電子超純水系統工藝用系統裝置，其特征在于：所述濃水收集箱（121）的進水端與耐污染UF裝置（4）的濃水端連通，濃水收集箱（121）的出水端與氣動隔膜泵（122）的進水端連通，氣動隔膜泵（122）的出水端與壓濾機（123）的進水端連通，壓濾機出水端（1231）與濾液水箱（124）的進水端連通，濾液水箱（124）的出水端與濾液水泵（125）的進水端連通，濾液水泵（125）的出水端與芯片電子廢水收集箱（1）的進水端相連通，壓濾機出泥端（1232）連接有硅泥外運機（126）。

7.根據權利要求6所述的一種芯片電子超純水系統工藝用系統裝置，其特征在于：抗污染RO裝置（10）的出水端連接有2B3T設備，所述的2B3T設備為陽離子交換床、陰離子交換床及脫氣塔設備，所述陽離子交換床和陰離子交換床采用雙室浮動床結構，陽樹脂采用Marathon-C，陰樹脂采用Marathon-A，混床樹脂顆粒為550±50um，填充密度為750±50g/L；

雙室浮動床（16）包括罐體，所述罐體的內腔中設有三個多孔板（167），靠上的二個所述多孔板（167）與所述罐體側壁之間形成上浮動室，所述上浮動室內裝填有強性樹脂；靠下的二個所述多孔板（167）與所述罐體的側壁之間形成下浮動室，所述下浮動室內裝填有弱性樹脂。