[發(fā)明專利]再生蝕刻機(jī)或PECVD設(shè)備的襯里的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210031877.1
• 申請(qǐng)日: 2022-01-12
• 公開（公告）號(hào): CN114405918B
• 公開（公告）日: 2023-03-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉曉剛;黃來國;劉超;李仁杰;蔡廣云;方斌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 合肥微睿光電科技有限公司
• 主分類號(hào): B08B3/08
• 分類號(hào): B08B3/08;B24B23/02;B24B55/02;C23C16/50;C23C16/54;H01J37/32
• 代理公司: 安徽知問律師事務(wù)所 34134
• 代理人: 王亞軍

本申請(qǐng)涉及再生蝕刻機(jī)或PECVD設(shè)備的襯里的方法，該方法包括以下連續(xù)步驟：（a）用軟質(zhì)擦拭物對(duì)所述襯里的表面進(jìn)行濕式研磨；（b）任選地，在40?60℃下，用中性脫脂劑清洗所述襯里的表面；（c）任選地，在40?60℃下，用濃度為0.05重量%?5重量%的檸檬酸溶液清洗所述襯里的表面；和（d）干燥所述襯里的表面。本申請(qǐng)能夠?qū)崿F(xiàn)簡化蝕刻機(jī)或PECVD設(shè)備的襯里的再生工藝、提高其再生次數(shù)并有效降低生產(chǎn)成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及蝕刻機(jī)或PECVD設(shè)備的襯里的表面處理技術(shù)領(lǐng)域，更特別涉及再生蝕刻機(jī)或PECVD設(shè)備的襯里的方法。

背景技術(shù)

蝕刻機(jī)或PECVD設(shè)備的襯里（又稱LINER）是用于保護(hù)蝕刻機(jī)腔體內(nèi)部免受等離子腐蝕的裝置。實(shí)際應(yīng)用中，由于鋁合金具備質(zhì)量輕和含性能良好的氧化膜的優(yōu)點(diǎn)，通常使用鋁合金材質(zhì)并進(jìn)行精密的陽極氧化處理（形成氧化膜，又稱皮膜）以用作蝕刻機(jī)或PECVD設(shè)備的襯里。然而，由于蝕刻機(jī)腔體內(nèi)部腐蝕性的氣體作用，會(huì)導(dǎo)致蝕刻機(jī)或PECVD設(shè)備的襯里皮膜被持續(xù)刻蝕，以致逐漸失去保護(hù)作用。

因此，當(dāng)蝕刻機(jī)或PECVD設(shè)備的襯里使用壽命到期后，就需要重新進(jìn)行表面工程，生成全新的陽極皮膜，此過程稱之為蝕刻機(jī)或PECVD設(shè)備的襯里的再生?，F(xiàn)有技術(shù)中，該再生過程一般由剝離皮膜、研磨、遮蔽、陽極氧化、烘干等步驟組成，其實(shí)際上與新品蝕刻機(jī)或PECVD設(shè)備的襯里的生產(chǎn)工藝基本相同，僅僅是增加了剝離氧化膜的工序。然而，由于蝕刻機(jī)或PECVD設(shè)備的襯里對(duì)其厚度穩(wěn)定性以及其所含的孔（一般為數(shù)個(gè)或數(shù)十個(gè)）的尺寸穩(wěn)定性（防止造成裝配間隙）有較高的要求，隨著上述再生次數(shù)的增加，襯里厚度會(huì)不斷變薄且孔的尺寸會(huì)不斷擴(kuò)張，直到不符合安裝標(biāo)準(zhǔn)并報(bào)廢。一般地，使用上述現(xiàn)有技術(shù)的再生方法，會(huì)逐步導(dǎo)致蝕刻機(jī)或PECVD設(shè)備的襯里的厚度或孔尺寸的較大幅度的變化，因此再生次數(shù)一般最多僅為10次左右且使用成本很高。

因此，非常需要開發(fā)一種新的再生蝕刻機(jī)或PECVD設(shè)備的襯里的方法和設(shè)備，以簡化再生工藝、提高再生次數(shù)并有效降低生產(chǎn)成本。

發(fā)明內(nèi)容

通過提供一種新的再生蝕刻機(jī)或PECVD設(shè)備的襯里的方法和設(shè)備，其能夠?qū)崿F(xiàn)簡化再生工藝、提高再生次數(shù)并有效降低生產(chǎn)成本。

根據(jù)本申請(qǐng)的第一方面，其提供再生蝕刻機(jī)或PECVD設(shè)備的襯里的方法，該方法包括以下連續(xù)步驟：

（a）用軟質(zhì)擦拭物對(duì)所述襯里的表面進(jìn)行濕式研磨；

（b）任選地，在40-60℃下，用中性脫脂劑清洗所述襯里的表面；

（c）任選地，在40-60℃下，用濃度為0.05重量%-5重量%的檸檬酸溶液清洗所述襯里的表面；和

（d）干燥所述襯里的表面。

在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方案中，所述步驟（a）中的軟質(zhì)擦拭物為目數(shù)不小于1000#的多孔織物。

在一個(gè)更優(yōu)選實(shí)施方案中，所述多孔織物為百潔布或羊絨布或海綿砂。

在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方案中，所述步驟（a）中的濕式研磨采用手動(dòng)和/或機(jī)械驅(qū)動(dòng)進(jìn)行，優(yōu)選采用機(jī)械驅(qū)動(dòng)進(jìn)行，更優(yōu)選采用手持式高速氣動(dòng)研磨機(jī)進(jìn)行。

在一個(gè)更優(yōu)選實(shí)施方案中，所述手持式高速氣動(dòng)研磨機(jī)的空載轉(zhuǎn)速為8000-13000轉(zhuǎn)/分鐘和/或工作壓力為7-8kg，進(jìn)一步優(yōu)選為12000轉(zhuǎn)/分鐘和/或工作壓力為7.5kg。

在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方案中，所述步驟（a）中的濕式研磨使用去離子水進(jìn)行。

在一個(gè)更優(yōu)選實(shí)施方案中，所述步驟（a）中的濕式研磨使用超純水進(jìn)行。

在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方案中，所述步驟（a）進(jìn)行3-8分鐘。

在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方案中，所述步驟（b）在50-55℃下進(jìn)行。